真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点，形成气相，然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括：
1. **电阻加热元件**：通常采用镍铬合金或钨等材料，能在通电时产生高温，将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**：通过抽真空来降低气压，减少气体分子之间的碰撞，确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**：用于冷却基材或其他组件，防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**：用于监测和控制蒸镀过程中的参数，如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等，但也存在一些限制，如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中，电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备，比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种常用的薄膜沉积设备，具有以下几个显著特点：
1. **紧凑设计**：桌面型热蒸发镀膜仪通常体积较小，适合在实验室或小型生产环境中使用，便于放置和操作。
2. **蒸发**：利用热源加热蒸发材料，使其蒸发并沉积在基底上，能够实现的薄膜沉积。
3. **材料多样性**：可以使用多种类型的蒸发材料，如金属、氧化物等，适应不同的应用需求。
4. **真空系统**：一般配备有真空泵，能够在相对较低的压力下工作，提高膜层的纯度和均匀性。
5. **易于控制**：搭载有控制系统，能调节蒸发速率和沉积厚度，方便用户根据实验要求进行参数设置。
6. **适应性强**：可用于不同尺寸和形状的基底，如平片、胶卷等，满足不同实验或生产需求。
7. **品质监测**：一些型号可能配备有膜厚监测系统，实时监控沉积过程，确保膜厚的一致性。
8. **维护简单**：相对而言，桌面型热蒸发镀膜仪的维护和操作相对简单，适合研究人员和技术人员使用。
总之，桌面型热蒸发镀膜仪以其灵活性、便捷性和性，在材料科学、光电器件制造及其他相关领域得到了广泛应用。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
有机蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积有机薄膜的设备，广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括：
1. **能沉积**：有机蒸发镀膜机能够地将有机材料转化为气相并沉积在基材表面，形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**：设备通常采用的真空技术，能够有效去除杂质，从而获得量的有机薄膜，具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**：现代有机蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统，能够控制各个工艺参数，如温度、压力、沉积速率等，提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**：该设备可以处理类型的有机材料，包括小分子有机物和高分子聚合物，适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**：有机蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性，可以根据不同的工艺需求进行调整和改造，适应多种生产环境。
6. **节能环保**：部分有机蒸发镀膜机采用节能设计，降低了能源消耗，同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**：一些型号能够实现大面积基材的沉积，满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述，有机蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点，成为了现代电子和光电产业中的重要设备。
束源炉（也称为束流炉或束流反应堆）是一种利用加速器产生的粒子束进行核反应的设备。它主要用于以下几个领域：
1. **基础科学研究**：束源炉可用于粒子物理学和核物理学的基础研究，探索粒子的基本性质和相互作用。
2. **材料科学**：束源炉可以用于开发和测试新材料，尤其是在极端条件下（如高温、高压）下的材料性能。
3. **应用**：束源炉在医学成像、（如质子）等领域具有重要应用。
4. **核废料处理**：束源炉可以用于研究和开发核废料处置和转化技术，降低其长期放射性。
5. **新型能源开发**：在聚变能源研究中，束源炉也被应用于研究高温等离子体的行为，以探索可持续的能源解决方案。
束源炉的适用范围不断拓展，随着技术进步和研究的发展，可能会有新的应用领域出现。
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