真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，主要利用电阻加热的方式将材料转化为蒸气，然后在基材表面沉积形成薄膜。其工作原理通常包括以下几个步骤：
1. **材料准备**：将待蒸发的材料放置在电阻加热器上，通常是金属或合金材料。
2. **加热**：通过电阻加热器通电，材料在高温下蒸发，形成气态的原材料。
3. **沉积**：蒸汽扩散到基材表面，并冷凝形成薄膜。基材可以是玻璃、塑料、金属等。
4. **控制**：设备通常配备温度和压力传感器，以确保蒸镀过程的稳定性和均匀性。
电阻蒸镀机广泛应用于光学膜、电子元件、太阳能电池等领域，其优势包括较高的沉积速率、良好的膜质量和较大的适用材料范围。
手套箱一体机是一种结合了手套箱和其他实验设备的综合性实验装置，主要用于处理在惰性气氛（如氮气、氦气等）下进行的实验或操作。其功能通常包括：
1. **惰性气体保护**：手套箱内可以充入惰性气体，避免实验材料与空气中的水分和氧气反应，保护样品的纯净性。
2. **手套操作**：设备通常配有手套，可以在不暴露于外部环境的情况下进行实验操作，如取样、装置组装等。
3. **样品存储**：手套箱内部可以用于存放敏感材料和试剂，确保其不受外界污染。
4. **气体监控**：一些手套箱一体机配备气体监控系统，可以实时监测箱内环境，确保气体浓度和成分的稳定。
5. **温度和湿度控制**：可以调节和控制箱内的温度和湿度，为实验提供理想环境。
6. **接口扩展**：某些手套箱一体机设计有多种接口，可以与其他实验设备联动，如真空泵、反应釜等。
7. **数据记录与控制**：部分设备能够连接计算机或其他控制系统，实现数据记录和实验过程的自动化监控。
手套箱一体机广泛应用于材料科学、化学反应、制药、生物实验等领域，尤其在对氧敏感或湿敏性的材料处理上具有重要意义。
束源炉是一种特殊类型的核反应堆，主要用于研究和医学应用。它的特点包括：
1. **中子源**：束源炉能够产生大量的中子，这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**：与传统的核反应堆相比，束源炉通常较小，设计上更为紧凑，适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**：束源炉的运行功率相对较低，一般在几千瓦到几兆瓦之间，适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**：由于功率较低，束源炉的设计通常具有更高的安全性，反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**：除了用于基础科学研究外，束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域，显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**：束源炉一般设计得更加便捷，方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**：由于其低功率的特性，所产生的放射性废物相对较少，处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。
蒸发舟（或称为蒸发小舟）在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括：
1. **材料蒸发**：蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度，使其转变为气态，通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**：通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜，这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**：蒸发舟可以用于多种材料（如金属、氧化物、聚合物等）的蒸发，适应不同的应用需求。
4. **控制**：通过调整加热功率和蒸发时间，可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**：在真空环境中蒸发，可以减少杂质及氧化反应，得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**：蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能，蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
手套箱一体机（Glove Box）是一种封闭式操作设备，广泛应用于需要在无尘、无氧、无污染环境下进行实验或操作的领域。其主要适用范围包括：
1. **化学实验室**：用于处理敏感化学品或危险化学品，防止气体泄漏或与空气中的水分和氧气反应。
2. **材料科学**：在合成新材料、存储和制造高敏感性材料（如电池材料、光电材料）时使用，避免与空气接触。
3. **生物医学研究**：在无菌环境下进行细胞培养、基因编辑等实验，确保样品不受外界污染。
4. **制药工业**：用于药物的研发与生产过程，确保符合严格的无菌和无尘要求。
5. **半导体行业**：在集成电路和电子元件的生产过程中，避免灰尘和杂质影响产品质量。
6. **核能和放射性材料研究**：用于安全处理放射性物质，防止泄漏。
7. **环境科学**：用于处理和分析污染物样本，确保实验条件可控。
总之，手套箱一体机适合需要高度控制环境的科研和工业应用。
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