真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
有机蒸发镀膜机是一种用于材料薄膜沉积的设备，尤其是在有机材料的薄膜生产中。它广泛应用于有机电子（如有机发光二极管OLED、太阳能电池等）、光电材料和其他相关领域。
其工作原理主要包括以下几个步骤：
1. **材料准备**：将待蒸发的有机材料放置在蒸发源中，通常是一个加热的坩埚或舟。
2. **加热蒸发**：通过加热，使得有机材料达到其蒸发温度，转变为气相。
3. **沉积过程**：蒸发出的有机分子在真空环境中向基板表面移动，并在基板上沉积形成薄膜。真空环境可以减少气体分子的碰撞，提高沉积效率和膜的质量。
4. **薄膜生长**：控制沉积速率和温度，以获得所需厚度和均匀性。
几种关键参数在有机蒸发镀膜中重要，包括真空度、沉积速率、基板温度和材料选择等。这些参数的优化可以显著提高薄膜的性能和均匀性。
有机蒸发镀膜机的优点包括：
- 适用于多种有机材料的沉积。
- 可以实现量、均匀的薄膜。
- 适合于大面积沉积。
在购买或使用此类设备时，需考虑生产需求、预算、设备的易用性以及维修服务等因素。
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：电阻蒸镀机能够将材料（如金属、合金、氧化物等）以蒸发形式沉积在基材表面，形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**：设备通常配备的温度控制和蒸发速率监测系统，可以控制薄膜的厚度和均匀性。
3. **多种材料兼容**：电阻蒸镀机可以用于多种类型的材料沉积，包括金属（如铝、金、银）、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空环境**：通过在真空环境中进行沉积，可以减少气体分子对薄膜沉积的影响，从而提高薄膜的品质和性能。
5. **可调参数**：用户可以根据实际需求调整沉积温度、速率、时间等参数，以实现不同的应用效果。
6. **应用广泛**：电阻蒸镀机常用于制造光学元件、半导体器件、传感器、太阳能电池等多种产品。
7. **自动化程度高**：现代电阻蒸镀机通常具备计算机控制系统，可以实现自动化操作，提高生产效率。
总之，电阻蒸镀机是一种重要的薄膜制备工具，其优越的性能使其在科学研究和工业生产中都得到了广泛应用。
热蒸发镀膜机是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，主要功能包括：
1. **膜层制备**：通过加热蒸发材料，使其转变为气态，并在基材表面沉积形成薄膜。可以用于制备金属、绝缘材料或半导体薄膜。
2. **膜层厚度控制**：通过控制蒸发率和沉积时间，可以调节膜层的厚度。
3. **材料种类选择**：可以使用多种材料进行蒸发，如金、银、铝、氧化物等，以实现不同的光学或电气性能。
4. **真空环境控制**：在真空环境中进行镀膜，降低空气中的杂质对膜层质量的影响，提高膜层的致密性和均匀性。
5. **基材适应性**：可用于多种基材的镀膜，包括玻璃、塑料、金属等。
6. **功能性薄膜的制备**：可以制备不同功能的薄膜，如反射膜、抗反射膜、导电膜、光电膜等，广泛应用于光电子器件、显示器、传感器等领域。
7. **多层膜制备**：可实现多层膜的叠加，制造复杂结构以满足特定的光学或电气特性。
这些功能使得热蒸发镀膜机在材料科学、电子、光学等领域有着广泛的应用。
小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备，主要用于材料表面的薄膜沉积，其特点包括：
1. **小巧便携**：设计紧凑，适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用，便于搬运和安装。
2. **操作简便**：通常配备直观的操作界面和控制系统，便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**：利用热蒸发原理，能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**：可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜，适应性强。
5. **膜层质量好**：能够沉积出均匀、致密的薄膜，满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**：配置高真空系统，可以有效防止污染，提高膜层纯度。
7. **温度控制**：具备的温度控制功能，能够调节蒸发源的温度，以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**：相比于大型镀膜设备，投资成本较低，适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**：部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能，以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**：现代设备在设计上往往考虑能耗，运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过热蒸发的方法，将材料加热到其蒸发点，使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**：设备通常配备有膜厚监测系统（如晶体振荡器），可实时监测沉积膜的厚度，确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**：可以使用多种材料进行沉积，如金属、氧化物、氮化物等，适应不同的应用需求。
4. **真空环境**：设备在高真空环境中操作，以减少气体分子对沉积薄膜的干扰，提高膜的质量。
5. **基材加热**：某些设备可以加热基材，提高材料的附着力和薄膜的均匀性，改善薄膜质量。
6. **多层沉积**：能够进行多层膜的沉积，适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**：可以控制沉积环境中的气体成分，以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**：一般配备有友好的用户界面，方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产，因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种广泛应用于材料科学、电子、光电和薄膜技术等领域的设备。其主要适用范围包括：
1. **光学镀膜**：用于制作抗反射涂层、增透膜、反射镜等光学元件。
2. **电子器件**：可用于制备半导体器件中的金属层、绝缘层和其他功能膜，比如太阳能电池、发光二极管（LED）等。
3. **硬涂层**：在工具、模具等表面镀膜，以提高其耐磨性、抗腐蚀性和整体性能。
4. **传感器**：在气体传感器、湿度传感器等的开发中，利用镀膜技术提高传感器的灵敏度和选择性。
5. **薄膜材料研究**：用于基础研究，探索材料的薄膜生长行为及其物理性质。
6. **实验室应用**：适合小批量生产和实验室研究，可以在实验室环境中进行多种不同材料的蒸发镀膜。
7. **装饰镀膜**：用于生产装饰性薄膜，如金属光泽涂层等。
桌面型热蒸发镀膜仪以其操作简便、成本相对较低，适合科研、教学和小规模生产等多种场合。
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