真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
蒸发舟是一种用于物相沉积(PVD)技术的设备,广泛应用于薄膜材料的制备。在这种过程中,固体材料(如金属或化合物)被加热到高温,使其蒸发,并在真空中沉积到基材表面,从而形成薄膜。
当材料在蒸发舟中加热到其蒸发温度时,会产生颗粒或原子,这些颗粒会随蒸气流动,终在冷却的基材上凝结,形成所需的薄膜。蒸发舟的主要优点是可以在相对低的温度下进行沉积,同时能够获得较高的沉积速率和良好的膜质量。
在蒸发过程中产生的颗粒可以是单原子层、分子或小颗粒,具体取决于蒸发的材料和条件。这些颗粒在沉积过程中会根据其动能和温度条件,形成不同的厚度和结构。
需要注意的是,蒸发的效率和膜的性质与蒸发舟的材料、温度、压力、基材的选择等多种因素密切相关。
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:电阻蒸镀机能够将材料(如金属、合金、氧化物等)以蒸发形式沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**:设备通常配备的温度控制和蒸发速率监测系统,可以控制薄膜的厚度和均匀性。
3. **多种材料兼容**:电阻蒸镀机可以用于多种类型的材料沉积,包括金属(如铝、金、银)、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空环境**:通过在真空环境中进行沉积,可以减少气体分子对薄膜沉积的影响,从而提高薄膜的品质和性能。
5. **可调参数**:用户可以根据实际需求调整沉积温度、速率、时间等参数,以实现不同的应用效果。
6. **应用广泛**:电阻蒸镀机常用于制造光学元件、半导体器件、传感器、太阳能电池等多种产品。
7. **自动化程度高**:现代电阻蒸镀机通常具备计算机控制系统,可以实现自动化操作,提高生产效率。
总之,电阻蒸镀机是一种重要的薄膜制备工具,其优越的性能使其在科学研究和工业生产中都得到了广泛应用。

桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过热蒸发的方法,将材料加热到其蒸发点,使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**:设备通常配备有膜厚监测系统(如晶体振荡器),可实时监测沉积膜的厚度,确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**:可以使用多种材料进行沉积,如金属、氧化物、氮化物等,适应不同的应用需求。
4. **真空环境**:设备在高真空环境中操作,以减少气体分子对沉积薄膜的干扰,提高膜的质量。
5. **基材加热**:某些设备可以加热基材,提高材料的附着力和薄膜的均匀性,改善薄膜质量。
6. **多层沉积**:能够进行多层膜的沉积,适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**:可以控制沉积环境中的气体成分,以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**:一般配备有友好的用户界面,方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产,因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。

钙钛矿镀膜机是一种专门用于制造钙钛矿材料的设备,通常涉及薄膜沉积技术。这种机器的主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过化学气相沉积(CVD)、物相沉积(PVD)或溶胶-凝胶法等技术,将钙钛矿材料沉积在基材上,形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**:能够控制沉积过程中的温度、压力和气体流量,以确保薄膜的厚度和均匀性符合要求。
3. **材料多样性**:支持多种钙钛矿材料的沉积,包括不同的组成和结构,以适应不同应用需求。
4. **表面处理**:可以对镀膜后处理表面进行刻蚀或清洗,以改善薄膜的性能和附着力。
5. **实时监测**:配备传感器和监测系统,可以实时监测沉积状态和薄膜质量,确保生产过程的稳定性和可重复性。
6. **自动化操作**:许多钙钛矿镀膜机具有自动化功能,能够减少人工干预,提高生产效率和减少人为错误。
钙钛矿材料被广泛应用于太阳能电池、光电器件、催化剂等领域,因此,钙钛矿镀膜机在新材料研发和产业化方面具有重要意义。

有机蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积有机薄膜的设备,广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括:
1. **能沉积**:有机蒸发镀膜机能够地将有机材料转化为气相并沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**:设备通常采用的真空技术,能够有效去除杂质,从而获得量的有机薄膜,具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**:现代有机蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统,能够控制各个工艺参数,如温度、压力、沉积速率等,提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**:该设备可以处理类型的有机材料,包括小分子有机物和高分子聚合物,适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**:有机蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性,可以根据不同的工艺需求进行调整和改造,适应多种生产环境。
6. **节能环保**:部分有机蒸发镀膜机采用节能设计,降低了能源消耗,同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**:一些型号能够实现大面积基材的沉积,满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述,有机蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点,成为了现代电子和光电产业中的重要设备。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种广泛应用于材料科学、电子、光电和薄膜技术等领域的设备。其主要适用范围包括:
1. **光学镀膜**:用于制作抗反射涂层、增透膜、反射镜等光学元件。
2. **电子器件**:可用于制备半导体器件中的金属层、绝缘层和其他功能膜,比如太阳能电池、发光二极管(LED)等。
3. **硬涂层**:在工具、模具等表面镀膜,以提高其耐磨性、抗腐蚀性和整体性能。
4. **传感器**:在气体传感器、湿度传感器等的开发中,利用镀膜技术提高传感器的灵敏度和选择性。
5. **薄膜材料研究**:用于基础研究,探索材料的薄膜生长行为及其物理性质。
6. **实验室应用**:适合小批量生产和实验室研究,可以在实验室环境中进行多种不同材料的蒸发镀膜。
7. **装饰镀膜**:用于生产装饰性薄膜,如金属光泽涂层等。
桌面型热蒸发镀膜仪以其操作简便、成本相对较低,适合科研、教学和小规模生产等多种场合。
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