真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，主要利用电阻加热的方式将材料转化为蒸气，然后在基材表面沉积形成薄膜。其工作原理通常包括以下几个步骤：
1. **材料准备**：将待蒸发的材料放置在电阻加热器上，通常是金属或合金材料。
2. **加热**：通过电阻加热器通电，材料在高温下蒸发，形成气态的原材料。
3. **沉积**：蒸汽扩散到基材表面，并冷凝形成薄膜。基材可以是玻璃、塑料、金属等。
4. **控制**：设备通常配备温度和压力传感器，以确保蒸镀过程的稳定性和均匀性。
电阻蒸镀机广泛应用于光学膜、电子元件、太阳能电池等领域，其优势包括较高的沉积速率、良好的膜质量和较大的适用材料范围。
钙钛矿镀膜机是一种专门用于制造钙钛矿材料的设备，通常涉及薄膜沉积技术。这种机器的主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过化学气相沉积（CVD）、物相沉积（PVD）或溶胶-凝胶法等技术，将钙钛矿材料沉积在基材上，形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**：能够控制沉积过程中的温度、压力和气体流量，以确保薄膜的厚度和均匀性符合要求。
3. **材料多样性**：支持多种钙钛矿材料的沉积，包括不同的组成和结构，以适应不同应用需求。
4. **表面处理**：可以对镀膜后处理表面进行刻蚀或清洗，以改善薄膜的性能和附着力。
5. **实时监测**：配备传感器和监测系统，可以实时监测沉积状态和薄膜质量，确保生产过程的稳定性和可重复性。
6. **自动化操作**：许多钙钛矿镀膜机具有自动化功能，能够减少人工干预，提高生产效率和减少人为错误。
钙钛矿材料被广泛应用于太阳能电池、光电器件、催化剂等领域，因此，钙钛矿镀膜机在新材料研发和产业化方面具有重要意义。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备，特别是在物相沉积（PVD）技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态，以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面：
1. **均匀性**：蒸发过程中，颗粒的蒸发速率较为均匀，能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**：通过调节加热温度和加热时间，可以控制蒸发速率，从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**：蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发，如金属、氧化物和高分子材料等，适应性较强。
4. **颗粒尺寸**：蒸发颗粒的尺寸通常较小，有助于加快蒸发速度，提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**：蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度，以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**：蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性，以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**：蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行，以避免反应杂质的影响，确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
手套箱一体机（Glove Box）是一种封闭式操作设备，广泛应用于需要在无尘、无氧、无污染环境下进行实验或操作的领域。其主要适用范围包括：
1. **化学实验室**：用于处理敏感化学品或危险化学品，防止气体泄漏或与空气中的水分和氧气反应。
2. **材料科学**：在合成新材料、存储和制造高敏感性材料（如电池材料、光电材料）时使用，避免与空气接触。
3. **生物医学研究**：在无菌环境下进行细胞培养、基因编辑等实验，确保样品不受外界污染。
4. **制药工业**：用于药物的研发与生产过程，确保符合严格的无菌和无尘要求。
5. **半导体行业**：在集成电路和电子元件的生产过程中，避免灰尘和杂质影响产品质量。
6. **核能和放射性材料研究**：用于安全处理放射性物质，防止泄漏。
7. **环境科学**：用于处理和分析污染物样本，确保实验条件可控。
总之，手套箱一体机适合需要高度控制环境的科研和工业应用。
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