真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点，形成气相，然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括：
1. **电阻加热元件**：通常采用镍铬合金或钨等材料，能在通电时产生高温，将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**：通过抽真空来降低气压，减少气体分子之间的碰撞，确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**：用于冷却基材或其他组件，防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**：用于监测和控制蒸镀过程中的参数，如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等，但也存在一些限制，如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中，电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备，比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
有机蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积有机薄膜的设备，广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括：
1. **能沉积**：有机蒸发镀膜机能够地将有机材料转化为气相并沉积在基材表面，形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**：设备通常采用的真空技术，能够有效去除杂质，从而获得量的有机薄膜，具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**：现代有机蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统，能够控制各个工艺参数，如温度、压力、沉积速率等，提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**：该设备可以处理类型的有机材料，包括小分子有机物和高分子聚合物，适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**：有机蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性，可以根据不同的工艺需求进行调整和改造，适应多种生产环境。
6. **节能环保**：部分有机蒸发镀膜机采用节能设计，降低了能源消耗，同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**：一些型号能够实现大面积基材的沉积，满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述，有机蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点，成为了现代电子和光电产业中的重要设备。
手套箱一体机是一种集成多种功能于一体的设备，主要用于提供无尘、无污染的环境，以便在严格控制条件下进行实验或操作。其特点包括：
1. **封闭环境**：手套箱一体机通常是密封的，可以有效防止外界空气和污染物进入，适合处理敏感材料或化学物质。
2. **手套操作**：设备配备有手套，操作人员可以在箱内安全地处理物品，无需直接接触。
3. **气氛控制**：许多手套箱一体机可以调节内部气氛，例如控制氧气、湿度、温度等，以适应不同实验的需求。
4. **集成化设计**：设备通常将多种功能集成在一起，可能包括净化系统、气体监测、温控系统等，提供一体化的解决方案。
5. **高安全性**：手套箱一体机设计上考虑了操作安全，通常具备泄压、报警等安全机制，以应对潜在的危险。
6. **灵活性**：可以根据实验需求进行定制，适应不同类型的实验和操作。
7. **易于清洁维护**：设备表面一般采用光滑、耐腐蚀材料，方便清洁和维护。
8. **可视化系统**：一些手套箱一体机配备有观察窗口或摄像系统，使操作人员可以监控内部情况，确保实验顺利进行。
这些特点使手套箱一体机在材料科学、化学研究、生物实验等领域广泛应用。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备，主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括：
1. **薄膜沉积**：通过加热有机材料，使其蒸发并沉积在基板表面，形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**：可以控制沉积的膜厚度，以满足应用需求。
3. **大面积涂层**：适用于大尺寸基板的涂层工艺，满足工业生产需求。
4. **高真空环境**：在高真空条件下进行镀膜，减少杂质，提升膜层质量。
5. **材料适应性**：可用于多种有机材料的镀膜，如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**：能够实现多层膜的沉积，适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**：现代设备通常配备的控制系统，可以自动调节参数，提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能，有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。
电阻蒸镀机是一种用于材料蒸发沉积的设备，广泛应用于领域。其适用范围包括但不限于以下几个方面：
1. **半导体行业**：用于制造集成电路、传感器等器件的金属电极和薄膜。
2. **光电设备**：在太阳能电池、显示器（如LCD和OLED）及光伏组件的制造中，用于沉积导电薄膜和反射膜。
3. **光学涂层**：用于光学器件如镜头、滤光片等的反射或抗反射 coating。
4. **包装材料**：在某些特殊包装材料中，电阻蒸镀可用于增强气密性或加涂保护层。
5. **饰品与工艺品**：在珠宝、手表等消费品的表面处理上，提供金属镀层以增加美观及耐腐蚀性。
6. **管道与设备**：在某些工业应用中，用于管道或设备表面的金属涂层。
总的来说，电阻蒸镀机因其高精度、高均匀性和良好的附着力，广泛应用于需要精细金属沉积的各个行业。
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