真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
蒸发舟是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，广泛应用于薄膜材料的制备。在这种过程中，固体材料（如金属或化合物）被加热到高温，使其蒸发，并在真空中沉积到基材表面，从而形成薄膜。
当材料在蒸发舟中加热到其蒸发温度时，会产生颗粒或原子，这些颗粒会随蒸气流动，终在冷却的基材上凝结，形成所需的薄膜。蒸发舟的主要优点是可以在相对低的温度下进行沉积，同时能够获得较高的沉积速率和良好的膜质量。
在蒸发过程中产生的颗粒可以是单原子层、分子或小颗粒，具体取决于蒸发的材料和条件。这些颗粒在沉积过程中会根据其动能和温度条件，形成不同的厚度和结构。
需要注意的是，蒸发的效率和膜的性质与蒸发舟的材料、温度、压力、基材的选择等多种因素密切相关。
有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备，主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括：
1. **薄膜沉积**：通过加热有机材料，使其蒸发并沉积在基板表面，形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**：可以控制沉积的膜厚度，以满足应用需求。
3. **大面积涂层**：适用于大尺寸基板的涂层工艺，满足工业生产需求。
4. **高真空环境**：在高真空条件下进行镀膜，减少杂质，提升膜层质量。
5. **材料适应性**：可用于多种有机材料的镀膜，如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**：能够实现多层膜的沉积，适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**：现代设备通常配备的控制系统，可以自动调节参数，提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能，有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备，主要用于材料表面的薄膜沉积，其特点包括：
1. **小巧便携**：设计紧凑，适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用，便于搬运和安装。
2. **操作简便**：通常配备直观的操作界面和控制系统，便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**：利用热蒸发原理，能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**：可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜，适应性强。
5. **膜层质量好**：能够沉积出均匀、致密的薄膜，满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**：配置高真空系统，可以有效防止污染，提高膜层纯度。
7. **温度控制**：具备的温度控制功能，能够调节蒸发源的温度，以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**：相比于大型镀膜设备，投资成本较低，适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**：部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能，以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**：现代设备在设计上往往考虑能耗，运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
蒸发舟（或称蒸发皿）是一种用于化学实验和工业生产中的器具，主要用于蒸发溶剂和浓缩溶液。蒸发舟蒸发颗粒适用范围一般包括：
1. **化学实验**：用于蒸发液体，浓缩溶液，分离化学物质。
2. **生物实验**：在生物样品处理中，常用于蒸发或浓缩生物样品中的溶剂。
3. **制药工业**：用于制备药物浓缩液，去除溶剂，生产药品原料。
4. **食品工业**：在浓缩果汁、调味品等生产中使用。
5. **材料科学**：用于涂层材料的制备，以及材料的合成过程。
6. **环境监测**：在水质分析中，用于浓缩水样中的污染物。
7. **纳米材料制备**：在纳米颗粒的制备过程中，常用于蒸发溶液形成固态颗粒。
在不同的应用中，根据具体需要选用合适材质和规格的蒸发舟，以确保实验的准确性和安全性。
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