真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点,形成气相,然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括:
1. **电阻加热元件**:通常采用镍铬合金或钨等材料,能在通电时产生高温,将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**:通过抽真空来降低气压,减少气体分子之间的碰撞,确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**:用于冷却基材或其他组件,防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**:用于监测和控制蒸镀过程中的参数,如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等,但也存在一些限制,如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中,电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备,比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
束源炉是一种特殊类型的核反应堆,主要用于研究和医学应用。它的特点包括:
1. **中子源**:束源炉能够产生大量的中子,这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**:与传统的核反应堆相比,束源炉通常较小,设计上更为紧凑,适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**:束源炉的运行功率相对较低,一般在几千瓦到几兆瓦之间,适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**:由于功率较低,束源炉的设计通常具有更高的安全性,反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**:除了用于基础科学研究外,束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域,显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**:束源炉一般设计得更加便捷,方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**:由于其低功率的特性,所产生的放射性废物相对较少,处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。

热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备,其主要特点包括:
1. **高纯度镀膜**:由于采用高温加热源,能有效蒸发材料,沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**:通过合理设计源与基片之间的距离,可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**:可以用于多种材料的沉积,包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**:通过调节加热温度和蒸发源的功率,可以实现不同沉积速率,满足不同应用需求。
5. **操作简便**:热蒸发镀膜机的操作相对简单,适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**:可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合,提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**:相较于其他镀膜技术,热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**:可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说,热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作,在科研和工业应用中广泛使用。

钙钛矿镀膜机是一种用于制备钙钛矿材料的设备,广泛应用于光电材料的研究和产业化。以下是钙钛矿镀膜机的一些主要特点:
1. **高精度控制**:钙钛矿镀膜机通常配备高精度的温度、气体流量和压力控制系统,能够实现对膜厚度和质量的控制。
2. **多种成膜技术**:设备可能支持多种成膜技术,如溶液法、真空蒸发、磁控溅射、化学气相沉积(CVD)等,以满足不同材料和应用的需求。
3. **均匀性好**:钙钛矿镀膜机通过优化基板旋转、气体流动等参数,能够实现高均匀性的薄膜沉积,提高材料性能。
4. **适应性强**:可适用于不同类型的基材,包括玻璃、硅片、塑料等,提供更大的设计灵活性。
5. **快速换膜**:许多钙钛矿镀膜机设计有快速换膜功能,方便进行不同材料的快速切换,提高生产效率。
6. **环境友好**:新型钙钛矿镀膜机在材料使用和废气处理方面越来越注重环保,减少对环境的影响。
7. **便于规模化生产**:具备一定自动化程度的设备可以支持大规模生产,满足工业化需求。
8. **实时监控与数据记录**:设备通常配备实时监控系统,可以记录沉积过程中的各项数据,便于后续分析和优化。
这些特点使得钙钛矿镀膜机在光伏、发光二极管(LED)、激光器等领域具有广泛的应用前景。

束源炉(或称束流反应堆)是一种利用粒子束产生高能粒子的设备,主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括:
1. **粒子加速**:束源炉能够加速粒子到高能状态,为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**:通过产生高能粒子束,束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**:支持核物理研究,例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**:在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**:用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说,束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具,具有多种功能。
手套箱一体机(Glove Box)是一种封闭式操作设备,广泛应用于需要在无尘、无氧、无污染环境下进行实验或操作的领域。其主要适用范围包括:
1. **化学实验室**:用于处理敏感化学品或危险化学品,防止气体泄漏或与空气中的水分和氧气反应。
2. **材料科学**:在合成新材料、存储和制造高敏感性材料(如电池材料、光电材料)时使用,避免与空气接触。
3. **生物医学研究**:在无菌环境下进行细胞培养、基因编辑等实验,确保样品不受外界污染。
4. **制药工业**:用于药物的研发与生产过程,确保符合严格的无菌和无尘要求。
5. **半导体行业**:在集成电路和电子元件的生产过程中,避免灰尘和杂质影响产品质量。
6. **核能和放射性材料研究**:用于安全处理放射性物质,防止泄漏。
7. **环境科学**:用于处理和分析污染物样本,确保实验条件可控。
总之,手套箱一体机适合需要高度控制环境的科研和工业应用。
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