温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针座位移平台是一种用于半导体、电子元件以及微机电系统(MEMS)等领域的精密测试和测量设备。它的主要功能是通过移动探针在样品表面进行高精度的接触和测试。以下是探针座位移平台的一些关键特性和功能:
1. **高精度定位**:探针座位移平台通常配备高分辨率的定位系统,可以实现微米级甚至纳米级的位移控制。
2. **多轴运动**:大多数探针座位移平台支持多轴运动(如X、Y、Z轴),以便在三维空间中灵活移动探针,实现复杂的测量任务。
3. **实时控制**:现代探针座位移平台通常与计算机软件相结合,可以实现实时的控制和数据采集,方便操作人员进行实时监测和调整。
4. **稳定性**:平台的设计通常考虑到振动和热变形等因素,以确保在长时间操作中的稳定性和重复性。
5. **自动化能力**:许多探针座位移平台支持自动化操作,可以与自动测试设备结合,进行批量测试。
6. **应用广泛**:探针座位移平台广泛应用于电气测试、失效分析、材料特性评估等领域,能够有效提高测量效率和准确性。
在选择探针座位移平台时,用户需要考虑其技术参数、使用场景以及与现有设备的兼容性等因素。
光学探针台是一种高精度的实验设备,主要用于表征材料的光学性能和研究微观结构。以下是光学探针台的主要特点:
1. **高精度定位**:光学探针台通常具备高精度的运动系统,能够在微米或纳米级别上进行样品定位,以确保实验结果的准确性。
2. **多功能性**:很多光学探针台可以支持多种测量方法,如反射、透射、荧光及拉曼光谱等,适用于不同的研究需求。
3. **环境控制**:有些光学探针台配备有温度、湿度、气氛等环境控制系统,能够在特定条件下进行实验,适应不同材料的测试要求。
4. **光学元件的集成**:探针台通常集成有高性能的光学元件,如透镜、滤光片和光源等,以提高光学测量的灵敏度和信噪比。
5. **图像采集与分析**:许多光学探针台具有图像采集功能,可以实时观察样品表面、形貌及其他特征,并与测量数据结合进行分析。
6. **模块化设计**:一些探针台是模块化的,可以根据实验需要进行升级和扩展,适应不同的研究需求。
7. **用户友好的操作界面**:现代的光学探针台通常配备友好的软件界面,使得用户可以轻松设置实验参数,进行数据采集和分析。
8. **适用性广**:广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域,在基础研究和工业应用中都具有重要价值。
光学探针台因其高度和多功能性,被广泛用于科研与工业领域的光学测量与分析任务。

探针台卡盘(probe station chuck)是用于半导体测试和材料研究的重要设备,其特点包括:
1. **高精度**:探针台卡盘通常具有高精度的定位能力,能够确保探针与测试样品之间的对接,从而提高测试的准确性。
2. **温控能力**:许多探针台卡盘配备有温度控制系统,可以在升温或降温的情况下进行测试,帮助研究人员观察材料在不同温度下的性能变化。
3. **真空功能**:某些探针台卡盘具有真空夹紧功能,可以确保样品在测试过程中固定稳定,减少外部干扰。
4. **兼容性强**:探针台卡盘通常设计为兼容多种类型的测试探针和测试仪器,方便用户进行不同类型的实验。
5. **灵活性**:探针台卡盘可以适应不同尺寸和形状的样品,提供多种夹持方式,以满足不同测试需求。
6. **性能**:针对信号测试的需求,一些探针台卡盘具备良好的性能,能够有效降低信号衰减和反射。
7. **用户友好的操作界面**:现代探针台常配备直观的控制系统,便于用户对设备进行调整和设置。
8. **耐用性**:探针台卡盘通常采用量材料制造,以确保设备的耐久性和稳定性,在复杂环境下也能长期使用。
综合以上特点,探针台卡盘在半导体测试、材料研究等领域中扮演着关键角色,极大地推动了相关技术的发展。

探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备,主要功能包括:
1. **定位**:能够地移动探针到*的测试点,确保测量的准确性。
2. **多轴控制**:通常具有多个自由度(如X、Y、Z轴),可以在三维空间中灵活移动,以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**:支持自动化操作,提高测试效率,减少人为误差。
4. **扫描功能**:可以进行扫描操作,逐点测量,以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**:可与测试仪器(如示波器、LCR表等)连接,进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**:记录测试过程中的数据,并可进行后续分析,以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**:可根据不同的测试需求和样品特性,调整探针的位置和压力,以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。

同轴真空馈通件是一种用于电子设备的连接器,主要用于在真空环境中传输信号。其特点包括:
1. **优良的信号传输性能**:同轴结构能够有效地减少信号的损耗和反射,保证信号的质量。
2. **良好的屏蔽性能**:同轴设计可提供较好的电磁干扰屏蔽,防止外部干扰信号影响传输质量。
3. **耐高真空特性**:专门设计用于在真空环境中工作,不易受到气体和水分的影响,适用于真空设备,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能够承受较高的功率水平,适合用于高功率射频应用。
5. **机械稳定性**:结构坚固,能够经受一定的机械应力和温度变化。
6. **便于安装和维护**:设计通常考虑到易于安装和维护,便于与其他设备连接。
7. **多种接口类型**:可根据需要提供不同类型的连接器接口,以适应应用场景。
以上这些特点使得同轴真空馈通件在通信、射频设备及实验物理等领域具有广泛的应用前景。
同轴真空馈通件广泛应用于许多领域,主要包括:
1. **微波通信**:在卫星通信、无线传输等领域中,用于传输信号。
2. **射频功率放大**:在射频(RF)放大器中,帮助传输和采集高功率信号。
3. **天线系统**:在天线和发射器中,用于信号传输。
4. **高能物理实验**:在粒子加速器等实验设备中,用于传输信号。
5. **实验室设备**:在实验室中用于设备的连接和信号传输。
6. **系统**:用于和民用系统中进行信号传递。
7. **设备**:在某些医学成像和设备中也会用到。
同轴真空馈通件的设计需要考虑频率范围、功率处理能力、插入损耗以及物理尺寸等因素,以确保其在特定应用中的性能和可靠性。
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