真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于在材料表面沉积薄膜的设备,广泛应用于光电子、半导体、太阳能电池等领域。它的工作原理是通过加热金属或其他材料,使其蒸发并在待镀膜的基材表面沉积形成薄膜。
### 主要特点:
1. **紧凑设计**:相较于大型镀膜设备,桌面型热蒸发镀膜仪体积小,适合实验室和小规模生产使用。
2. **易于操作**:通常配备用户友好的操作界面,便于研究人员和技术人员使用。
3. **温度控制**:具备的温度控制系统,可以根据不同材料的特性调整加热温度,以实现蒸发效果。
4. **真空环境**:镀膜过程一般在真空环境中进行,以减少气体对蒸发材料的干扰,提高薄膜质量。
5. **薄膜厚度监测**:一些仪器配有实时监测薄膜厚度的功能,确保镀膜过程的控制。
6. **广泛应用**:适用于金属、合金、氧化物等多种材料的镀膜,能够满足不同领域的需求。
### 适用领域:
- **光学镀膜**:用于制造反射镜、抗反射涂层等光学元件。
- **微电子**:用于集成电路、传感器等微电子元件的制造。
- **太阳能**:用于光伏材料的制备,提高太阳能电池的效率。
### 注意事项:
- **物料选择**:不同材料的蒸发温度和特性不同,需根据实际需求选择合适的材料。
- **真空度控制**:保证设备在运行期间的真空度,以提高薄膜质量。
- **安全防护**:高温和真空环境下操作时,需注意安全防护,避免或其他意外。
总之,桌面型热蒸发镀膜仪是一种、便捷的薄膜沉积设备,适合科研和小规模生产的需求。
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:电阻蒸镀机能够将材料(如金属、合金、氧化物等)以蒸发形式沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**:设备通常配备的温度控制和蒸发速率监测系统,可以控制薄膜的厚度和均匀性。
3. **多种材料兼容**:电阻蒸镀机可以用于多种类型的材料沉积,包括金属(如铝、金、银)、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空环境**:通过在真空环境中进行沉积,可以减少气体分子对薄膜沉积的影响,从而提高薄膜的品质和性能。
5. **可调参数**:用户可以根据实际需求调整沉积温度、速率、时间等参数,以实现不同的应用效果。
6. **应用广泛**:电阻蒸镀机常用于制造光学元件、半导体器件、传感器、太阳能电池等多种产品。
7. **自动化程度高**:现代电阻蒸镀机通常具备计算机控制系统,可以实现自动化操作,提高生产效率。
总之,电阻蒸镀机是一种重要的薄膜制备工具,其优越的性能使其在科学研究和工业生产中都得到了广泛应用。

桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过热蒸发的方法,将材料加热到其蒸发点,使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**:设备通常配备有膜厚监测系统(如晶体振荡器),可实时监测沉积膜的厚度,确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**:可以使用多种材料进行沉积,如金属、氧化物、氮化物等,适应不同的应用需求。
4. **真空环境**:设备在高真空环境中操作,以减少气体分子对沉积薄膜的干扰,提高膜的质量。
5. **基材加热**:某些设备可以加热基材,提高材料的附着力和薄膜的均匀性,改善薄膜质量。
6. **多层沉积**:能够进行多层膜的沉积,适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**:可以控制沉积环境中的气体成分,以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**:一般配备有友好的用户界面,方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产,因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。

热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备,其主要特点包括:
1. **高纯度镀膜**:由于采用高温加热源,能有效蒸发材料,沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**:通过合理设计源与基片之间的距离,可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**:可以用于多种材料的沉积,包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**:通过调节加热温度和蒸发源的功率,可以实现不同沉积速率,满足不同应用需求。
5. **操作简便**:热蒸发镀膜机的操作相对简单,适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**:可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合,提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**:相较于其他镀膜技术,热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**:可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说,热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作,在科研和工业应用中广泛使用。

小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备,主要用于材料表面的薄膜沉积,其特点包括:
1. **小巧便携**:设计紧凑,适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用,便于搬运和安装。
2. **操作简便**:通常配备直观的操作界面和控制系统,便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**:利用热蒸发原理,能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**:可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜,适应性强。
5. **膜层质量好**:能够沉积出均匀、致密的薄膜,满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**:配置高真空系统,可以有效防止污染,提高膜层纯度。
7. **温度控制**:具备的温度控制功能,能够调节蒸发源的温度,以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**:相比于大型镀膜设备,投资成本较低,适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**:部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能,以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**:现代设备在设计上往往考虑能耗,运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
小型热蒸发镀膜机广泛应用于多个领域,主要适用范围包括:
1. **光学元件**:用于制作光学薄膜,如反射镜、抗反射膜、分光膜等,广泛应用于镜头、光学仪器等。
2. **电子器件**:在半导体器件、电路板等制造中,镀膜可以用于形成导电层、绝缘层及其他功能性薄膜。
3. **太阳能电池**:用于太阳能电池的镀膜,提高光电转换效率。
4. **显示器件**:应用于LCD、OLED等显示屏的薄膜制作,提高显示效果和耐用性。
5. **装饰性涂层**:用于制造装饰性涂层,如金属镀层、彩色薄膜等,增强产品的美观性。
6. **传感器**:用于传感器表面的功能性涂层,提高灵敏度和选择性。
7. **研究和实验室**:在材料科学和物理等研究中,用于制备薄膜材料,探索其性质和应用。
由于小型热蒸发镀膜机具有操作简单、灵活性高等优点,适合于小批量生产和科研试验,因此在以上领域得到了广泛使用。
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