真空腔室Ф246×228mm，304优质不锈钢
分子泵进口Pfeiffer分子泵
前级泵机械泵，北仪优成
真空规全量程真空规，上海玉川
溅射靶Ф2英寸永磁靶2支（含靶挡板）
溅射电源500W直流电源1台，300W射频电源1台
流量计20sccm/50sccm进口WARWICK
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套
限流阀DN63mm一套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
放气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃
膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1Å（选配）
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35法兰一个
备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
小型磁控溅射镀膜机是一种用于材料表面处理和薄膜沉积的设备。它利用磁控溅射的原理，将靶材上的原子或分子溅射到基材表面，形成薄膜。该机器适合于科研机构、小型实验室和生产线中的小批量生产。
### 主要特点：
1. **紧凑设计**：小型设备占用空间小，适合不同实验室环境。
2. **率**：能够快速沉积薄膜，提高生产效率。
3. **多功能性**：支持多种靶材，可用于金属、氧化物、氮化物等不同材料的沉积。
4. **控制**：具备气体流量、压强、功率等参数的控制，便于优化沉积条件。
5. **良好的膜质量**：能沉积出量的薄膜，适用于光学、电子、硬膜等领域。
### 应用领域：
- 半导体工业
- 光学薄膜
- 太阳能电池
- 储能材料
- 防护涂层等。
### 注意事项：
- 操作前需熟悉设备手册，确保安全使用。
- 定期维护设备，保持良好的工作状态。
如果你有具体的功能要求或使用场景，可以提供更多信息，以便于给出更详细的建议。
PVD（物相沉积）镀膜机是一种用于在基材表面沉积薄膜的设备。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过物相沉积方法，PVD镀膜机可以在基材表面沉积金属、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料，用于改善表面性能。
2. **表面改性**：通过镀膜，可以提高基材的耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性等，延长材料的使用寿命。
3. **功能涂层**：PVD镀膜可以赋予材料特定的功能，例如光学性能（反射、透射）、导电性能、热导性等，适用于电子、光学等行业。
4. **装饰效果**：在一些应用中，PVD镀膜机可用于实现装饰性涂层，提高产品的美观性和附加值。
5. **薄膜**：PVD技术能够在较低的温度下沉积量的薄膜，适合用于一些热敏材料的表面处理。
6. **环境友好**：相比于化学镀膜方法，PVD过程通常不需要使用有毒化学物质，减小了对环境的影响。
7. **可控性强**：PVD镀膜机可以控制膜厚、沉积速率等参数，实现高重复性和一致性的薄膜性能。
总之，PVD镀膜机在现代制造业中发挥着重要作用，广泛应用于电子、光学、汽车、等多个领域。
靶材是指在实验或工业生产中用于材料分析、研究或加工的材料。靶材的特点主要包括以下几个方面：
1. **成分纯度**：靶材通常需要具备高纯度，以确保实验结果的准确性和重复性。
2. **均匀性**：靶材应具备良好的均匀性，以避免在物理或化学反应过程中产生不均匀现象，导致测试结果的偏差。
3. **机械性能**：靶材的机械强度、硬度和韧性等性能要求较高，以适应不同的加工和使用条件。
4. **热稳定性**：靶材的热稳定性影响其在高温环境下的性能，尤其是在气相沉积等高温工艺中，需要良好的耐热性。
5. **反应活性**：靶材的表面性质和化学反应性对材料的沉积或反应过程有重要影响，通常需要设计出合适的表面处理以优化性能。
6. **可加工性**：靶材需易于加工成所需的形状和尺寸，方便在实验和生产中使用。
7. **成本**：靶材的经济性也是一个关键因素，需要在性能和价格之间找到平衡。
靶材的选择会根据具体应用的需求有所不同，例如在半导体制造、涂层技术和材料科学研究中，靶材的特性往往会影响到终产品的质量和性能。
磁控溅射镀膜机是一种常用的薄膜制备设备，广泛应用于半导体、光电器件、光学涂层等领域。其主要特点包括：
1. **高沉积速率**：磁控溅射技术能够在较短时间内实现较高的薄膜沉积速率，适用于大规模生产。
2. **优良的膜层均匀性**：由于采用磁场增强了离子的密度，膜层的厚度均匀性和思想性得到了显著提升。
3. **良好的膜质**：磁控溅射沉积的膜层通常具有较高的致密性和优良的物理性质，如低内应力和高附着力。
4. **适用性广**：可以对多种材料进行沉积，包括金属、绝缘体和半导体等，适用范围广泛。
5. **可控性强**：通过调节气体压力、功率、目标材料和沉积时间等参数，可以控制膜层的厚度和组成。
6. **环境友好**：相比于其他镀膜技术，磁控溅射常用的气体（如氩气）对环境危害较小，过程相对环保。
7. **良好的应变控制**：磁控溅射可以在较低的温度下进行，这对于热敏感材料尤为重要，可以有效控制膜层的应变和缺陷。
8. **多功能性**：可通过不同的配置实现多种功能，如多层膜的沉积或不同材料的复合沉积。
这些特点使得磁控溅射镀膜机成为现代薄膜技术中重要的工具。
磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，具有以下几个特点：
1. **高沉积速率**：由于使用了磁场增强了等离子体的密度，从而提高了溅射粒子的产生率，能够实现较高的沉积速率。
2. **均匀性**：磁控溅射能够在较大面积上实现均匀的薄膜沉积，适用于大面积涂层和均匀薄膜的要求。
3. **良好的附着力**：由于溅射过程中粒子能量较高，薄膜与基底之间的附着力较好，减少了薄膜剥离的风险。
4. **低温沉积**：相比于其他沉积技术，磁控溅射可以在相对较低的温度下进行，适合于对温度敏感的材料。
5. **多材料沉积**：能够实现多种材料的复合沉积，包括金属、绝缘体和半导体等，实现材料的多样性。
6. **可控性强**：沉积过程中的参数（如气体压力、功率、基板温度等）对薄膜的性质有较大影响，因此可以通过控制这些参数来调节薄膜的厚度和质量。
7. **环保性**：相较于某些化学气相沉积（CVD）技术，磁控溅射通常不涉及毒性气体，环境友好。
这些特点使得磁控溅射在电子、光电、硬涂层等领域得到了广泛应用。
桌面型磁控溅射镀膜仪广泛应用于多个领域，主要包括：
1. **电子元件制造**：在半导体器件、传感器、光电器件的生产中，用于沉积薄膜。
2. **光学器件**：用于光学涂层的制备，如镜头、光学滤光片等，以优化光的传输和反射特性。
3. **太阳能电池**：在光伏材料的生产中，沉积导电和光吸收层。
4. **防腐涂层**：用于金属表面的保护性涂层，提升耐磨性和防腐蚀性。
5. **功能性薄膜**：例如，电池、电容器及其他储能器件中的功能薄膜。
6. **研究和开发**：高校和科研机构用于材料科学、物理、化学等领域的研究，探索新材料和新技术。
7. **生物医用材料**：用于制备生物相容性涂层，如器械表面的生物处理。
由于其高精度和可控性，桌面型磁控溅射镀膜仪在上述领域均有着重要的应用价值。
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