真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于材料科学、电子、光学等领域的设备，主要用于在基材上沉积薄膜。其工作原理是通过加热源将固态材料加热至蒸发状态，蒸发的材料在真空环境中沉积在基材表面形成薄膜。下面是一些热蒸发镀膜机的关键要素：
1. **操作原理**：热蒸发镀膜机通过高温加热使材料蒸发，蒸汽冷凝在冷却的基材上，形成所需的薄膜。
2. **真空环境**：通常在真空腔内进行，以避免蒸发材料与空气中分子发生碰撞，影响薄膜质量。
3. **材料**：可用于铝、银、金等金属以及某些绝缘材料，如氧化物、氮化物等。
4. **应用领域**：
- **光学膜**：如反射镜、滤光片等。
- **电子器件**：如集成电路、传感器等的金属连接。
- **防腐保护膜**：提升材料的耐久性。
5. **优点**：
- 设备相对简单，易于操作。
- 可以获得均匀且致密的薄膜。
- 适合大面积沉积。
6. **缺点**：
- 适用于蒸发材料的种类有限。
- 薄膜厚度控制需较高精度。
在选择热蒸发镀膜机时，需要根据具体的应用需求考虑其性能参数，如真空度、加热方式、沉积速率和膜厚均匀性等。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过热蒸发的方法，将材料加热到其蒸发点，使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**：设备通常配备有膜厚监测系统（如晶体振荡器），可实时监测沉积膜的厚度，确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**：可以使用多种材料进行沉积，如金属、氧化物、氮化物等，适应不同的应用需求。
4. **真空环境**：设备在高真空环境中操作，以减少气体分子对沉积薄膜的干扰，提高膜的质量。
5. **基材加热**：某些设备可以加热基材，提高材料的附着力和薄膜的均匀性，改善薄膜质量。
6. **多层沉积**：能够进行多层膜的沉积，适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**：可以控制沉积环境中的气体成分，以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**：一般配备有友好的用户界面，方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产，因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备，特别是在物相沉积（PVD）技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态，以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面：
1. **均匀性**：蒸发过程中，颗粒的蒸发速率较为均匀，能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**：通过调节加热温度和加热时间，可以控制蒸发速率，从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**：蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发，如金属、氧化物和高分子材料等，适应性较强。
4. **颗粒尺寸**：蒸发颗粒的尺寸通常较小，有助于加快蒸发速度，提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**：蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度，以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**：蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性，以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**：蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行，以避免反应杂质的影响，确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。
手套箱一体机是一种结合了手套箱和其他实验设备的综合性实验装置，主要用于处理在惰性气氛（如氮气、氦气等）下进行的实验或操作。其功能通常包括：
1. **惰性气体保护**：手套箱内可以充入惰性气体，避免实验材料与空气中的水分和氧气反应，保护样品的纯净性。
2. **手套操作**：设备通常配有手套，可以在不暴露于外部环境的情况下进行实验操作，如取样、装置组装等。
3. **样品存储**：手套箱内部可以用于存放敏感材料和试剂，确保其不受外界污染。
4. **气体监控**：一些手套箱一体机配备气体监控系统，可以实时监测箱内环境，确保气体浓度和成分的稳定。
5. **温度和湿度控制**：可以调节和控制箱内的温度和湿度，为实验提供理想环境。
6. **接口扩展**：某些手套箱一体机设计有多种接口，可以与其他实验设备联动，如真空泵、反应釜等。
7. **数据记录与控制**：部分设备能够连接计算机或其他控制系统，实现数据记录和实验过程的自动化监控。
手套箱一体机广泛应用于材料科学、化学反应、制药、生物实验等领域，尤其在对氧敏感或湿敏性的材料处理上具有重要意义。
有机蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积有机薄膜的设备，广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括：
1. **能沉积**：有机蒸发镀膜机能够地将有机材料转化为气相并沉积在基材表面，形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**：设备通常采用的真空技术，能够有效去除杂质，从而获得量的有机薄膜，具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**：现代有机蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统，能够控制各个工艺参数，如温度、压力、沉积速率等，提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**：该设备可以处理类型的有机材料，包括小分子有机物和高分子聚合物，适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**：有机蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性，可以根据不同的工艺需求进行调整和改造，适应多种生产环境。
6. **节能环保**：部分有机蒸发镀膜机采用节能设计，降低了能源消耗，同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**：一些型号能够实现大面积基材的沉积，满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述，有机蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点，成为了现代电子和光电产业中的重要设备。
小型热蒸发镀膜机广泛应用于多个领域，主要适用范围包括：
1. **光学元件**：用于制作光学薄膜，如反射镜、抗反射膜、分光膜等，广泛应用于镜头、光学仪器等。
2. **电子器件**：在半导体器件、电路板等制造中，镀膜可以用于形成导电层、绝缘层及其他功能性薄膜。
3. **太阳能电池**：用于太阳能电池的镀膜，提高光电转换效率。
4. **显示器件**：应用于LCD、OLED等显示屏的薄膜制作，提高显示效果和耐用性。
5. **装饰性涂层**：用于制造装饰性涂层，如金属镀层、彩色薄膜等，增强产品的美观性。
6. **传感器**：用于传感器表面的功能性涂层，提高灵敏度和选择性。
7. **研究和实验室**：在材料科学和物理等研究中，用于制备薄膜材料，探索其性质和应用。
由于小型热蒸发镀膜机具有操作简单、灵活性高等优点，适合于小批量生产和科研试验，因此在以上领域得到了广泛使用。
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