真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其基本原理是通过加热材料,使其蒸发成气态,然后在基底表面凝结形成薄膜。热蒸发镀膜机通常由以下几个主要部分组成:
1. **真空腔体**:提供低压环境,以减少气体分子对蒸发材料和沉积薄膜的干扰。
2. **加热源**:通常使用电阻加热丝或电子束加热来加热蒸发材料,达到其蒸发温度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的容器,可以是铸坯、靶材等。
4. **基底夹持系统**:用于固定和加热待涂覆的基底,一般位于蒸发源的上方。
5. **监控系统**:用于监测沉积速度和膜厚,常用的技术有石英晶体振荡器或光学膜厚测量。
6. **冷却系统**:在一些情况下,可能需要冷却基底以改善膜的品质。
热蒸发镀膜机的优点包括沉积速度快、膜层均匀、膜的纯度高等,但也有局限性,如膜的附着力和应力问题。
在选购和使用热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求,例如膜材料、沉积速率、膜厚度及基底材料等制定相应的方案。
热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备,其主要特点包括:
1. **高纯度镀膜**:由于采用高温加热源,能有效蒸发材料,沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**:通过合理设计源与基片之间的距离,可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**:可以用于多种材料的沉积,包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**:通过调节加热温度和蒸发源的功率,可以实现不同沉积速率,满足不同应用需求。
5. **操作简便**:热蒸发镀膜机的操作相对简单,适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**:可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合,提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**:相较于其他镀膜技术,热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**:可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说,热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作,在科研和工业应用中广泛使用。

桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过热蒸发的方法,将材料加热到其蒸发点,使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**:设备通常配备有膜厚监测系统(如晶体振荡器),可实时监测沉积膜的厚度,确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**:可以使用多种材料进行沉积,如金属、氧化物、氮化物等,适应不同的应用需求。
4. **真空环境**:设备在高真空环境中操作,以减少气体分子对沉积薄膜的干扰,提高膜的质量。
5. **基材加热**:某些设备可以加热基材,提高材料的附着力和薄膜的均匀性,改善薄膜质量。
6. **多层沉积**:能够进行多层膜的沉积,适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**:可以控制沉积环境中的气体成分,以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**:一般配备有友好的用户界面,方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产,因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。

有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备,主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括:
1. **薄膜沉积**:通过加热有机材料,使其蒸发并沉积在基板表面,形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**:可以控制沉积的膜厚度,以满足应用需求。
3. **大面积涂层**:适用于大尺寸基板的涂层工艺,满足工业生产需求。
4. **高真空环境**:在高真空条件下进行镀膜,减少杂质,提升膜层质量。
5. **材料适应性**:可用于多种有机材料的镀膜,如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**:能够实现多层膜的沉积,适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**:现代设备通常配备的控制系统,可以自动调节参数,提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能,有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。

手套箱一体机是一种结合了手套箱和其他实验设备的综合性实验装置,主要用于处理在惰性气氛(如氮气、氦气等)下进行的实验或操作。其功能通常包括:
1. **惰性气体保护**:手套箱内可以充入惰性气体,避免实验材料与空气中的水分和氧气反应,保护样品的纯净性。
2. **手套操作**:设备通常配有手套,可以在不暴露于外部环境的情况下进行实验操作,如取样、装置组装等。
3. **样品存储**:手套箱内部可以用于存放敏感材料和试剂,确保其不受外界污染。
4. **气体监控**:一些手套箱一体机配备气体监控系统,可以实时监测箱内环境,确保气体浓度和成分的稳定。
5. **温度和湿度控制**:可以调节和控制箱内的温度和湿度,为实验提供理想环境。
6. **接口扩展**:某些手套箱一体机设计有多种接口,可以与其他实验设备联动,如真空泵、反应釜等。
7. **数据记录与控制**:部分设备能够连接计算机或其他控制系统,实现数据记录和实验过程的自动化监控。
手套箱一体机广泛应用于材料科学、化学反应、制药、生物实验等领域,尤其在对氧敏感或湿敏性的材料处理上具有重要意义。
钙钛矿镀膜机主要适用于以下几个领域:
1. **光伏产业**:用于制造钙钛矿太阳能电池,钙钛矿材料具有优良的光电转换效率,适合用于的光伏设备。
2. **光电器件**:用于生产光电器件,如发光二极管(LED)、激光器和光探测器等。
3. **显示技术**:钙钛矿材料可应用于新型显示器件,比如量子点显示器和OLED显示器。
4. **传感器**:在传感器生产中,钙钛矿材料因其的电学特性而被应用于气体传感器、生物传感器等。
5. **薄膜电池和电容器**:钙钛矿镀膜技术也可用于制造薄膜电池和电容器等储能装置。
6. **纳米技术**:在纳米材料的研究和应用中也可能涉及到钙钛矿镀膜。
钙钛矿镀膜机可以实现高精度的薄膜沉积,满足不同材料和结构的需求,从而广泛应用于以上研究与产业领域。
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