真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，主要利用电阻加热的方式将材料转化为蒸气，然后在基材表面沉积形成薄膜。其工作原理通常包括以下几个步骤：
1. **材料准备**：将待蒸发的材料放置在电阻加热器上，通常是金属或合金材料。
2. **加热**：通过电阻加热器通电，材料在高温下蒸发，形成气态的原材料。
3. **沉积**：蒸汽扩散到基材表面，并冷凝形成薄膜。基材可以是玻璃、塑料、金属等。
4. **控制**：设备通常配备温度和压力传感器，以确保蒸镀过程的稳定性和均匀性。
电阻蒸镀机广泛应用于光学膜、电子元件、太阳能电池等领域，其优势包括较高的沉积速率、良好的膜质量和较大的适用材料范围。
束源炉是一种特殊类型的核反应堆，主要用于研究和医学应用。它的特点包括：
1. **中子源**：束源炉能够产生大量的中子，这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**：与传统的核反应堆相比，束源炉通常较小，设计上更为紧凑，适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**：束源炉的运行功率相对较低，一般在几千瓦到几兆瓦之间，适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**：由于功率较低，束源炉的设计通常具有更高的安全性，反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**：除了用于基础科学研究外，束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域，显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**：束源炉一般设计得更加便捷，方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**：由于其低功率的特性，所产生的放射性废物相对较少，处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备，主要用于材料表面的薄膜沉积，其特点包括：
1. **小巧便携**：设计紧凑，适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用，便于搬运和安装。
2. **操作简便**：通常配备直观的操作界面和控制系统，便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**：利用热蒸发原理，能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**：可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜，适应性强。
5. **膜层质量好**：能够沉积出均匀、致密的薄膜，满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**：配置高真空系统，可以有效防止污染，提高膜层纯度。
7. **温度控制**：具备的温度控制功能，能够调节蒸发源的温度，以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**：相比于大型镀膜设备，投资成本较低，适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**：部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能，以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**：现代设备在设计上往往考虑能耗，运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备，主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括：
1. **薄膜沉积**：通过加热有机材料，使其蒸发并沉积在基板表面，形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**：可以控制沉积的膜厚度，以满足应用需求。
3. **大面积涂层**：适用于大尺寸基板的涂层工艺，满足工业生产需求。
4. **高真空环境**：在高真空条件下进行镀膜，减少杂质，提升膜层质量。
5. **材料适应性**：可用于多种有机材料的镀膜，如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**：能够实现多层膜的沉积，适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**：现代设备通常配备的控制系统，可以自动调节参数，提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能，有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。
钙钛矿镀膜机主要适用于以下几个领域：
1. **光伏产业**：用于制造钙钛矿太阳能电池，钙钛矿材料具有优良的光电转换效率，适合用于的光伏设备。
2. **光电器件**：用于生产光电器件，如发光二极管（LED）、激光器和光探测器等。
3. **显示技术**：钙钛矿材料可应用于新型显示器件，比如量子点显示器和OLED显示器。
4. **传感器**：在传感器生产中，钙钛矿材料因其的电学特性而被应用于气体传感器、生物传感器等。
5. **薄膜电池和电容器**：钙钛矿镀膜技术也可用于制造薄膜电池和电容器等储能装置。
6. **纳米技术**：在纳米材料的研究和应用中也可能涉及到钙钛矿镀膜。
钙钛矿镀膜机可以实现高精度的薄膜沉积，满足不同材料和结构的需求，从而广泛应用于以上研究与产业领域。
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