真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
蒸发舟是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，广泛应用于薄膜材料的制备。在这种过程中，固体材料（如金属或化合物）被加热到高温，使其蒸发，并在真空中沉积到基材表面，从而形成薄膜。
当材料在蒸发舟中加热到其蒸发温度时，会产生颗粒或原子，这些颗粒会随蒸气流动，终在冷却的基材上凝结，形成所需的薄膜。蒸发舟的主要优点是可以在相对低的温度下进行沉积，同时能够获得较高的沉积速率和良好的膜质量。
在蒸发过程中产生的颗粒可以是单原子层、分子或小颗粒，具体取决于蒸发的材料和条件。这些颗粒在沉积过程中会根据其动能和温度条件，形成不同的厚度和结构。
需要注意的是，蒸发的效率和膜的性质与蒸发舟的材料、温度、压力、基材的选择等多种因素密切相关。
小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备，主要用于材料表面的薄膜沉积，其特点包括：
1. **小巧便携**：设计紧凑，适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用，便于搬运和安装。
2. **操作简便**：通常配备直观的操作界面和控制系统，便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**：利用热蒸发原理，能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**：可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜，适应性强。
5. **膜层质量好**：能够沉积出均匀、致密的薄膜，满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**：配置高真空系统，可以有效防止污染，提高膜层纯度。
7. **温度控制**：具备的温度控制功能，能够调节蒸发源的温度，以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**：相比于大型镀膜设备，投资成本较低，适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**：部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能，以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**：现代设备在设计上往往考虑能耗，运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过热蒸发的方法，将材料加热到其蒸发点，使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**：设备通常配备有膜厚监测系统（如晶体振荡器），可实时监测沉积膜的厚度，确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**：可以使用多种材料进行沉积，如金属、氧化物、氮化物等，适应不同的应用需求。
4. **真空环境**：设备在高真空环境中操作，以减少气体分子对沉积薄膜的干扰，提高膜的质量。
5. **基材加热**：某些设备可以加热基材，提高材料的附着力和薄膜的均匀性，改善薄膜质量。
6. **多层沉积**：能够进行多层膜的沉积，适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**：可以控制沉积环境中的气体成分，以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**：一般配备有友好的用户界面，方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产，因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。
热蒸发镀膜机是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，主要功能包括：
1. **膜层制备**：通过加热蒸发材料，使其转变为气态，并在基材表面沉积形成薄膜。可以用于制备金属、绝缘材料或半导体薄膜。
2. **膜层厚度控制**：通过控制蒸发率和沉积时间，可以调节膜层的厚度。
3. **材料种类选择**：可以使用多种材料进行蒸发，如金、银、铝、氧化物等，以实现不同的光学或电气性能。
4. **真空环境控制**：在真空环境中进行镀膜，降低空气中的杂质对膜层质量的影响，提高膜层的致密性和均匀性。
5. **基材适应性**：可用于多种基材的镀膜，包括玻璃、塑料、金属等。
6. **功能性薄膜的制备**：可以制备不同功能的薄膜，如反射膜、抗反射膜、导电膜、光电膜等，广泛应用于光电子器件、显示器、传感器等领域。
7. **多层膜制备**：可实现多层膜的叠加，制造复杂结构以满足特定的光学或电气特性。
这些功能使得热蒸发镀膜机在材料科学、电子、光学等领域有着广泛的应用。
钙钛矿镀膜机是一种专门用于制造钙钛矿材料的设备，通常涉及薄膜沉积技术。这种机器的主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过化学气相沉积（CVD）、物相沉积（PVD）或溶胶-凝胶法等技术，将钙钛矿材料沉积在基材上，形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**：能够控制沉积过程中的温度、压力和气体流量，以确保薄膜的厚度和均匀性符合要求。
3. **材料多样性**：支持多种钙钛矿材料的沉积，包括不同的组成和结构，以适应不同应用需求。
4. **表面处理**：可以对镀膜后处理表面进行刻蚀或清洗，以改善薄膜的性能和附着力。
5. **实时监测**：配备传感器和监测系统，可以实时监测沉积状态和薄膜质量，确保生产过程的稳定性和可重复性。
6. **自动化操作**：许多钙钛矿镀膜机具有自动化功能，能够减少人工干预，提高生产效率和减少人为错误。
钙钛矿材料被广泛应用于太阳能电池、光电器件、催化剂等领域，因此，钙钛矿镀膜机在新材料研发和产业化方面具有重要意义。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种广泛应用于材料科学、电子、光电和薄膜技术等领域的设备。其主要适用范围包括：
1. **光学镀膜**：用于制作抗反射涂层、增透膜、反射镜等光学元件。
2. **电子器件**：可用于制备半导体器件中的金属层、绝缘层和其他功能膜，比如太阳能电池、发光二极管（LED）等。
3. **硬涂层**：在工具、模具等表面镀膜，以提高其耐磨性、抗腐蚀性和整体性能。
4. **传感器**：在气体传感器、湿度传感器等的开发中，利用镀膜技术提高传感器的灵敏度和选择性。
5. **薄膜材料研究**：用于基础研究，探索材料的薄膜生长行为及其物理性质。
6. **实验室应用**：适合小批量生产和实验室研究，可以在实验室环境中进行多种不同材料的蒸发镀膜。
7. **装饰镀膜**：用于生产装饰性薄膜，如金属光泽涂层等。
桌面型热蒸发镀膜仪以其操作简便、成本相对较低，适合科研、教学和小规模生产等多种场合。
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