真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于材料科学、电子、光学等领域的设备,主要用于在基材上沉积薄膜。其工作原理是通过加热源将固态材料加热至蒸发状态,蒸发的材料在真空环境中沉积在基材表面形成薄膜。下面是一些热蒸发镀膜机的关键要素:
1. **操作原理**:热蒸发镀膜机通过高温加热使材料蒸发,蒸汽冷凝在冷却的基材上,形成所需的薄膜。
2. **真空环境**:通常在真空腔内进行,以避免蒸发材料与空气中分子发生碰撞,影响薄膜质量。
3. **材料**:可用于铝、银、金等金属以及某些绝缘材料,如氧化物、氮化物等。
4. **应用领域**:
- **光学膜**:如反射镜、滤光片等。
- **电子器件**:如集成电路、传感器等的金属连接。
- **防腐保护膜**:提升材料的耐久性。
5. **优点**:
- 设备相对简单,易于操作。
- 可以获得均匀且致密的薄膜。
- 适合大面积沉积。
6. **缺点**:
- 适用于蒸发材料的种类有限。
- 薄膜厚度控制需较高精度。
在选择热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求考虑其性能参数,如真空度、加热方式、沉积速率和膜厚均匀性等。
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:电阻蒸镀机能够将材料(如金属、合金、氧化物等)以蒸发形式沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**:设备通常配备的温度控制和蒸发速率监测系统,可以控制薄膜的厚度和均匀性。
3. **多种材料兼容**:电阻蒸镀机可以用于多种类型的材料沉积,包括金属(如铝、金、银)、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空环境**:通过在真空环境中进行沉积,可以减少气体分子对薄膜沉积的影响,从而提高薄膜的品质和性能。
5. **可调参数**:用户可以根据实际需求调整沉积温度、速率、时间等参数,以实现不同的应用效果。
6. **应用广泛**:电阻蒸镀机常用于制造光学元件、半导体器件、传感器、太阳能电池等多种产品。
7. **自动化程度高**:现代电阻蒸镀机通常具备计算机控制系统,可以实现自动化操作,提高生产效率。
总之,电阻蒸镀机是一种重要的薄膜制备工具,其优越的性能使其在科学研究和工业生产中都得到了广泛应用。

钙钛矿镀膜机是一种用于制备钙钛矿材料的设备,广泛应用于光电材料的研究和产业化。以下是钙钛矿镀膜机的一些主要特点:
1. **高精度控制**:钙钛矿镀膜机通常配备高精度的温度、气体流量和压力控制系统,能够实现对膜厚度和质量的控制。
2. **多种成膜技术**:设备可能支持多种成膜技术,如溶液法、真空蒸发、磁控溅射、化学气相沉积(CVD)等,以满足不同材料和应用的需求。
3. **均匀性好**:钙钛矿镀膜机通过优化基板旋转、气体流动等参数,能够实现高均匀性的薄膜沉积,提高材料性能。
4. **适应性强**:可适用于不同类型的基材,包括玻璃、硅片、塑料等,提供更大的设计灵活性。
5. **快速换膜**:许多钙钛矿镀膜机设计有快速换膜功能,方便进行不同材料的快速切换,提高生产效率。
6. **环境友好**:新型钙钛矿镀膜机在材料使用和废气处理方面越来越注重环保,减少对环境的影响。
7. **便于规模化生产**:具备一定自动化程度的设备可以支持大规模生产,满足工业化需求。
8. **实时监控与数据记录**:设备通常配备实时监控系统,可以记录沉积过程中的各项数据,便于后续分析和优化。
这些特点使得钙钛矿镀膜机在光伏、发光二极管(LED)、激光器等领域具有广泛的应用前景。

蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备,特别是在物相沉积(PVD)技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态,以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **均匀性**:蒸发过程中,颗粒的蒸发速率较为均匀,能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**:通过调节加热温度和加热时间,可以控制蒸发速率,从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**:蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发,如金属、氧化物和高分子材料等,适应性较强。
4. **颗粒尺寸**:蒸发颗粒的尺寸通常较小,有助于加快蒸发速度,提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**:蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度,以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**:蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性,以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**:蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行,以避免反应杂质的影响,确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。

小型热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:能够在基材表面沉积金属、氧化物、氮化物等材料,以形成薄膜。
2. **控制膜厚**:通过调节蒸发时间和速率,可以控制薄膜的厚度,满足不同应用的需要。
3. **高真空环境**:通常配备真空系统,能够在高真空条件下进行蒸发,有效减少气体分子对薄膜的影响,提高膜层质量。
4. **多种材料兼容**:支持多种蒸发材料的使用,包括铝、银、金、硅等,适应不同的应用需求。
5. **均匀沉积**:通过合理设计蒸发源的布局,实现薄膜在基材上的均匀沉积。
6. **小型化设计**:体积小、重量轻,适合实验室、小规模生产等场合,便于搬运和操作。
7. **自动化控制**:一些设备配备了计算机控制系统,可以实现自动化操作,提率和重复性。
8. **多种基材兼容**:能够处理不同材料和形状的基材,如玻璃、塑料、陶瓷等。
总之,小型热蒸发镀膜机是一种 versatile 的设备,适用于科学研究和工业应用中的薄膜制备。
小型热蒸发镀膜机广泛应用于多个领域,主要适用范围包括:
1. **光学元件**:用于制作光学薄膜,如反射镜、抗反射膜、分光膜等,广泛应用于镜头、光学仪器等。
2. **电子器件**:在半导体器件、电路板等制造中,镀膜可以用于形成导电层、绝缘层及其他功能性薄膜。
3. **太阳能电池**:用于太阳能电池的镀膜,提高光电转换效率。
4. **显示器件**:应用于LCD、OLED等显示屏的薄膜制作,提高显示效果和耐用性。
5. **装饰性涂层**:用于制造装饰性涂层,如金属镀层、彩色薄膜等,增强产品的美观性。
6. **传感器**:用于传感器表面的功能性涂层,提高灵敏度和选择性。
7. **研究和实验室**:在材料科学和物理等研究中,用于制备薄膜材料,探索其性质和应用。
由于小型热蒸发镀膜机具有操作简单、灵活性高等优点,适合于小批量生产和科研试验,因此在以上领域得到了广泛使用。
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