真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm,含磁力挡板
屏蔽板不锈钢,便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵,抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高,含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、 optics 等领域。它的基本工作原理是通过电阻加热将材料(通常是金属或合金)加热到蒸发温度,使其从固态转变为气态,然后冷却后在基材上形成薄膜。
以下是电阻蒸镀机的一些关键组成部分和特点:
1. **电阻加热源**:通过电阻丝或钨丝加热蒸发源,相关温度能够控制材料的蒸发速率。
2. **真空室**:在真空环境下进行蒸镀可以减少气体分子的干扰,从而提高薄膜的质量和纯度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的地方,常用的材料有铝、金、银等。
4. **基材夹持系统**:用于固定待涂覆的物体,确保薄膜均匀性。
5. **厚度监测器**:通常使用晶体监测器(如QCM)来实时监测薄膜的厚度,确保达到预定的沉积量。
6. **冷却系统**:在蒸镀过程中,冷却系统可以防止设备过热,保证设备和材料的稳定性。
电阻蒸镀机具有操作简便、控制准确和沉积均匀等优点,适合大面积和高均匀性薄膜的制备。由于其热沉积的特性,相比其他蒸镀方式(例如电子束蒸镀),更适合处理低熔属和合金。
热蒸发手套箱一体机是一种用于材料制备和微纳米技术研究的设备,主要功能包括:
1. **真空环境控制**:手套箱内可维持低压或真空状态,防止材料氧化或水分污染。
2. **热蒸发源**:通过加热材料,使其蒸发并在基片上沉积,以形成薄膜或纳米结构。
3. **气氛控制**:可以根据需要调节手套箱内的气氛,比如惰性气体(氮气、氩气)环境,以保护敏感材料。
4. **样品处理**:提供多种方式处理样品,包括加热、冷却、刻蚀等。
5. **厚度控制**:配备的监测系统,可实时监测并控制薄膜的厚度。
6. **操作安全性**:手套箱设计确保操作人员在处理有害或敏感材料时的安全。
7. **自动化系统**:部分型号具备自动化操作功能,提高实验效率并减少人为误差。
8. **配备监测设备**:可以与仪器(如电子显微镜、X射线衍射仪等)联用,进行材料性质分析。
总之,热蒸发手套箱一体机是多功能且的材料制备设备,广泛应用于半导体、光电材料、薄膜技术等领域。

束源炉是一种用于核聚变研究和实验的设备,其主要特点包括:
1. **高温高压环境**:束源炉能够创造极高的温度和压力,以促进核聚变反应的发生。
2. **等离子体控制**:通过强磁场或其他手段,束源炉能够有效控制和维持等离子体的稳定性,这是实现聚变的关键。
3. **粒子束注入**:束源炉通常使用高速粒子束注入技术,将粒子直接注入等离子体中,以提高反应的效率以及能量的密度。
4. **实验灵活性**:束源炉的设计允许对不同的聚变燃料(如、氚等)进行实验,这为研究聚变反应提供了灵活性。
5. **能量输出**:如果成功实现聚变反应,束源炉有潜力成为一种的能量来源,对未来的能源解决方案具有重要意义。
6. **研究应用**:束源炉不仅用于基础科学研究,还可应用于医学、材料科学及核能开发等多个领域。
总体而言,束源炉是一种的科学仪器,为核聚变技术的发展提供了重要的实验平台。

热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光学、材料科学等领域。其主要特点包括:
1. **高纯度材料沉积**:通过热蒸发可以有效地沉积高纯度的薄膜,减少杂质的影响。
2. **良好的膜质量**:热蒸发镀膜技术能够形成均匀且致密的薄膜,具备较好的光学和电气性能。
3. **高沉积速率**:相较于其他镀膜技术,热蒸发具有较高的沉积速率,适合大规模生产。
4. **温度控制灵活**:设备通常配备精密的温度控制系统,可以根据不同材料的特性调整加热温度。
5. **适用广泛**:可以镀覆多种材料,如金属、合金、半导体及绝缘材料等,适用性强。
6. **工艺简单**:热蒸发镀膜工艺相对简单,易于操作和控制。
7. **真空环境**:通常在真空环境中进行,有效减少气体污染,提高膜层质量。
8. **设备投资较低**:相对于其他镀膜设备(如磁控溅射镀膜机),热蒸发镀膜机的设备成本相对较低。
9. **可控性强**:可以通过改变蒸发源的距离、功率和基片温度等来调节膜层的厚度和属性。
总之,热蒸发镀膜机是一种、灵活且经济的薄膜沉积设备,适合应用需求。

电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光电、材料科学等领域。它的主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过电阻加热将材料蒸发,然后在基材上形成薄膜。
2. **高精度控制**:可以控制沉积速率和膜厚,使其适应不同需求的薄膜特性。
3. **气氛控制**:在真空或特定气氛下进行蒸镀,以提高薄膜的质量和性能。
4. **多材料蒸镀**:可同时或不同时间段内蒸发多种材料,以实现多层薄膜的沉积。
5. **适用于多种材料**:能够处理多种金属、合金及一些陶瓷材料。
6. **高均匀性**:通过优化设备设计,沉积的薄膜一般具有较高的均匀性和一致性。
7. **温度监控**:设备通常配备温度监控系统,以确保基材和蒸发材料的温度适宜。
电阻蒸镀机因其、以及能够制作量薄膜的优点,成为研究和工业应用中的重要工具。
热蒸发手套箱一体机主要用于以下几个方面:
1. **材料科学研究**:用于薄膜材料的沉积,广泛应用于半导体、光电子及太阳能电池等领域。
2. **光学涂层**:可用于光学元件的镀膜,提高其反射率和透光率。
3. **表面处理**:适用于金属、塑料及玻璃等材料的表面修饰,改善其性能和外观。
4. **化学实验**:在无尘和惰性气体环境中进行化学反应和合成,避免样品氧化或污染。
5. **生物医学**:在生物材料制备和细胞培养等方面,也可以利用该设备进行相关实验。
6. **制造**:在、及高科技产品的制造中,确保高纯度和高性能的材料沉积。
热蒸发手套箱一体机通过创造一个控制的环境,提高了实验的性和安全性,适用于研究和工业应用。
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