真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点，形成气相，然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括：
1. **电阻加热元件**：通常采用镍铬合金或钨等材料，能在通电时产生高温，将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**：通过抽真空来降低气压，减少气体分子之间的碰撞，确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**：用于冷却基材或其他组件，防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**：用于监测和控制蒸镀过程中的参数，如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等，但也存在一些限制，如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中，电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备，比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
束源炉是一种特殊类型的核反应堆，主要用于研究和医学应用。它的特点包括：
1. **中子源**：束源炉能够产生大量的中子，这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**：与传统的核反应堆相比，束源炉通常较小，设计上更为紧凑，适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**：束源炉的运行功率相对较低，一般在几千瓦到几兆瓦之间，适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**：由于功率较低，束源炉的设计通常具有更高的安全性，反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**：除了用于基础科学研究外，束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域，显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**：束源炉一般设计得更加便捷，方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**：由于其低功率的特性，所产生的放射性废物相对较少，处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。
手套箱一体机是一种结合了手套箱和其他实验设备的综合性实验装置，主要用于处理在惰性气氛（如氮气、氦气等）下进行的实验或操作。其功能通常包括：
1. **惰性气体保护**：手套箱内可以充入惰性气体，避免实验材料与空气中的水分和氧气反应，保护样品的纯净性。
2. **手套操作**：设备通常配有手套，可以在不暴露于外部环境的情况下进行实验操作，如取样、装置组装等。
3. **样品存储**：手套箱内部可以用于存放敏感材料和试剂，确保其不受外界污染。
4. **气体监控**：一些手套箱一体机配备气体监控系统，可以实时监测箱内环境，确保气体浓度和成分的稳定。
5. **温度和湿度控制**：可以调节和控制箱内的温度和湿度，为实验提供理想环境。
6. **接口扩展**：某些手套箱一体机设计有多种接口，可以与其他实验设备联动，如真空泵、反应釜等。
7. **数据记录与控制**：部分设备能够连接计算机或其他控制系统，实现数据记录和实验过程的自动化监控。
手套箱一体机广泛应用于材料科学、化学反应、制药、生物实验等领域，尤其在对氧敏感或湿敏性的材料处理上具有重要意义。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
有机蒸发镀膜机主要用于在基材上沉积有机薄膜，广泛应用于以下领域：
1. **显示器行业**：用于制造OLED（有机发光二极管）显示屏，包括电视、手机和其他电子设备。
2. **光伏产业**：在太阳能电池制造中用于沉积薄膜，有助于提高光电转化效率。
3. **光学涂层**：用于制作光学器件的抗反射涂层，增强光学性能。
4. **传感器**：制造气体传感器、温度传感器等，利用有机材料的特性进行性能优化。
5. **薄膜电容器**：用于电子元件中，以提高电容器的性能和稳定性。
6. **包装行业**：用于食品包装材料的表面处理，改善阻隔性和耐久性。
7. **艺术及装饰**：在一些艺术作品或装饰品上，使用有机薄膜达到特定的视觉和触感效果。
有机蒸发镀膜机因其高精度和可控性，能够满足不同领域对薄膜性能的多样化需求。
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