温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
同轴真空馈通件是一种用于连接同轴电缆和真空腔体的特殊组件,广泛应用于微波、射频和粒子加速器等领域。其主要作用是通过真空环境将射频信号有效地传输到真空腔内,并且保持真空系统的完整性。
同轴真空馈通件通常由导电材料制造,具备良好的电气性能和机械强度,以确保在信号传输过程中的低损耗和稳定性。该设备的设计需要考虑以下几个方面:
1. **频率特性**:馈通件的设计需要满足特定的工作频率范围,确保信号的有效传输。
2. **真空密封性**:为了保持系统的真空状态,馈通件必须具有良好的密封性能,常见的密封方式包括O型圈密封和焊接等。
3. **热管理**:在高功率应用中,馈通件可能会产生热量,需要进行适当的热管理设计,以防止过热导致性能下降或损坏。
4. **材料选择**:通常使用高导电性材料(如铜或铝)制造导电部分,而外壳可能使用不锈钢等耐腐蚀材料,以适应不同的应用环境。
同轴真空馈通件在无线通信、系统、粒子物理实验等领域有着广泛的应用,是实现信号传输的重要组成部分。
探针台卡盘(probe station chuck)是用于半导体测试和材料研究的重要设备,其特点包括:
1. **高精度**:探针台卡盘通常具有高精度的定位能力,能够确保探针与测试样品之间的对接,从而提高测试的准确性。
2. **温控能力**:许多探针台卡盘配备有温度控制系统,可以在升温或降温的情况下进行测试,帮助研究人员观察材料在不同温度下的性能变化。
3. **真空功能**:某些探针台卡盘具有真空夹紧功能,可以确保样品在测试过程中固定稳定,减少外部干扰。
4. **兼容性强**:探针台卡盘通常设计为兼容多种类型的测试探针和测试仪器,方便用户进行不同类型的实验。
5. **灵活性**:探针台卡盘可以适应不同尺寸和形状的样品,提供多种夹持方式,以满足不同测试需求。
6. **性能**:针对信号测试的需求,一些探针台卡盘具备良好的性能,能够有效降低信号衰减和反射。
7. **用户友好的操作界面**:现代探针台常配备直观的控制系统,便于用户对设备进行调整和设置。
8. **耐用性**:探针台卡盘通常采用量材料制造,以确保设备的耐久性和稳定性,在复杂环境下也能长期使用。
综合以上特点,探针台卡盘在半导体测试、材料研究等领域中扮演着关键角色,极大地推动了相关技术的发展。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在极端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的精密设备,其特点包括:
1. **温度范围广**:能够在极低温(例如液氮温度)到高温(例如700℃以上)之间进行测试,适用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空环境**:提供高真空或真空环境,减少氧化和污染,提高测试数据的准确性和重复性。
3. **高精度探针**:配备高精度的探针,可以对微小区域进行测量,适用于微电子器件和纳米材料的测试。
4. **自动化设置**:许多高低温真空探针台配备自动化控制系统,可以实现温度和压力的准确控制,提高测试效率。
5. **多功能性**:支持多种测试方法,如电学测试、热学测试、光学测试等,适用于不同类型的材料和器件。
6. **良好的热管理**:采用的热传导和绝热技术,确保在高低温环境中设备的稳定性和测试的可靠性。
7. **数据采集系统**:配备的数据采集和分析系统,能够实时监控和记录测试数据,方便后续分析。
8. **模组化设计**:很多探针台采用模组化设计,用户可以根据需要更换不同的探针或附件,提高设备的灵活性。
这些特点使得高低温真空探针台在材料科学、半导体研发及微电子器件测试等领域中被广泛应用。
探针夹具主要用于电子元件测试和测量,其适用范围包括:
1. **半导体测试**:用于芯片、集成电路(IC)等电子元器件的电气特性测试。
2. **电路板测试**:适用于PCB(印刷电路板)的测试,能够帮助检测PCB上的连接和功能。
3. **研发和实验**:在电子产品的研发阶段,探针夹具可以用于快速原型测试和实验验证。
4. **质量控制**:在生产过程中,探针夹具可用于自动化测试以确保产品质量。
5. **维修与故障排查**:在维修过程中,探针夹具可以用来快速测试疑似故障的元器件。
探针夹具的灵活性和性使其成为电子行业广泛使用的重要工具。
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