温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台(Probing Station)是一种用于半导体测试和测量的设备,主要用于对集成电路(IC)进行电气测试。它允许工程师在开发和生产过程中评估电路的性能,确定是否满足设计规格。探针台通常配备高度的探针,可以在微小的封装上进行接触,以测量电流、电压和其他电气特性。
探针台的主要特点包括:
1. **高精度定位**:能够定位到纳米级别,以确保探针能准确接触到芯片上的测试点。
2. **可调操作温度**:有些探针台设计可以在不同的温度条件下进行测试,以模拟不同的工作环境。
3. **自动化与手动操作**:现代探针台通常集成了自动化系统,能够提高测试效率,减少人为错误。
4. **多探针设计**:可以同时使用多个探针进行测试,从而加快测试速度并提高测试覆盖率。
探针台广泛应用于半导体行业的研发、生产测试以及质量控制等环节。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。

微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在极低(如-196°C,液氮温度)到极高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、量子材料和其它高科技领域实验研究中的工具。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的精密设备,其特点包括:
1. **温度范围广**:能够在极低温(例如液氮温度)到高温(例如700℃以上)之间进行测试,适用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空环境**:提供高真空或真空环境,减少氧化和污染,提高测试数据的准确性和重复性。
3. **高精度探针**:配备高精度的探针,可以对微小区域进行测量,适用于微电子器件和纳米材料的测试。
4. **自动化设置**:许多高低温真空探针台配备自动化控制系统,可以实现温度和压力的准确控制,提高测试效率。
5. **多功能性**:支持多种测试方法,如电学测试、热学测试、光学测试等,适用于不同类型的材料和器件。
6. **良好的热管理**:采用的热传导和绝热技术,确保在高低温环境中设备的稳定性和测试的可靠性。
7. **数据采集系统**:配备的数据采集和分析系统,能够实时监控和记录测试数据,方便后续分析。
8. **模组化设计**:很多探针台采用模组化设计,用户可以根据需要更换不同的探针或附件,提高设备的灵活性。
这些特点使得高低温真空探针台在材料科学、半导体研发及微电子器件测试等领域中被广泛应用。

探针夹具是一种用于电子测试和信号测量的设备,它的主要功能包括:
1. **信号接触**:探针夹具可以地与电路板上的测试点接触,从而获取信号或电源。这对于电路功能测试和调试至关重要。
2. **高精度定位**:探针夹具通常具有高精度的定位功能,可以确保探针准确接触到*的测试点,提高测试的可靠性和准确性。
3. **自动化测试**:随着自动化测试技术的发展,探针夹具常常与自动测试设备(ATE)配合使用,实现的自动化测试,提高测试效率和一致性。
4. **适应性强**:探针夹具通常设计为可以适应不同规格的PCB(印刷电路板),支持多种类型的测试点,如焊盘、引脚等。
5. **减少干扰**:良好的探针夹具设计可以减少在测试过程中可能引入的干扰,提高测量的准确性。
6. **多通道测试**:一些的探针夹具可以支持多通道同时测试,提高测试的效率,特别是在批量生产测试中具有明显的优势。
总的来说,探针夹具在电子产品的研发、测试和生产过程中起到了重要的作用,能够有效提高测试的效率和准确性。
真空探针台是一种用于半导体、微电子和纳米技术等领域的高精度测试设备,适用于以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对集成电路(IC)、功率器件、传感器等半导体器件进行电性能测试,包括IV曲线测量、CV特性测试等。
2. **材料科学**:用于研究和测试薄膜材料、纳米材料等在不同环境下的电学特性。
3. **微机电系统(MEMS)**:对MEMS器件进行电气测试和性能评估,尤其是在真空环境下进行的测试。
4. **封装测试**:用于对芯片封装后进行的性能测试,确保封装过程影响芯片性能。
5. **研发和实验室应用**:研究机构和高校可以利用真空探针台进行实验室研究,进行新材料和器件的开发。
6. **测试**:一些应用中,真空环境可以减少信号衰减和噪声,适合微波器件和电路的测试。
真空探针台能够提供稳定的测试环境和高精度的测量,有助于研究人员和工程师获取准确的数据和结果。
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