真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点,形成气相,然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括:
1. **电阻加热元件**:通常采用镍铬合金或钨等材料,能在通电时产生高温,将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**:通过抽真空来降低气压,减少气体分子之间的碰撞,确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**:用于冷却基材或其他组件,防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**:用于监测和控制蒸镀过程中的参数,如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等,但也存在一些限制,如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中,电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备,比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种常用的薄膜沉积设备,具有以下几个显著特点:
1. **紧凑设计**:桌面型热蒸发镀膜仪通常体积较小,适合在实验室或小型生产环境中使用,便于放置和操作。
2. **蒸发**:利用热源加热蒸发材料,使其蒸发并沉积在基底上,能够实现的薄膜沉积。
3. **材料多样性**:可以使用多种类型的蒸发材料,如金属、氧化物等,适应不同的应用需求。
4. **真空系统**:一般配备有真空泵,能够在相对较低的压力下工作,提高膜层的纯度和均匀性。
5. **易于控制**:搭载有控制系统,能调节蒸发速率和沉积厚度,方便用户根据实验要求进行参数设置。
6. **适应性强**:可用于不同尺寸和形状的基底,如平片、胶卷等,满足不同实验或生产需求。
7. **品质监测**:一些型号可能配备有膜厚监测系统,实时监控沉积过程,确保膜厚的一致性。
8. **维护简单**:相对而言,桌面型热蒸发镀膜仪的维护和操作相对简单,适合研究人员和技术人员使用。
总之,桌面型热蒸发镀膜仪以其灵活性、便捷性和性,在材料科学、光电器件制造及其他相关领域得到了广泛应用。

束源炉(或称束流反应堆)是一种利用粒子束产生高能粒子的设备,主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括:
1. **粒子加速**:束源炉能够加速粒子到高能状态,为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**:通过产生高能粒子束,束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**:支持核物理研究,例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**:在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**:用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说,束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具,具有多种功能。

手套箱一体机是一种集成多种功能于一体的设备,主要用于提供无尘、无污染的环境,以便在严格控制条件下进行实验或操作。其特点包括:
1. **封闭环境**:手套箱一体机通常是密封的,可以有效防止外界空气和污染物进入,适合处理敏感材料或化学物质。
2. **手套操作**:设备配备有手套,操作人员可以在箱内安全地处理物品,无需直接接触。
3. **气氛控制**:许多手套箱一体机可以调节内部气氛,例如控制氧气、湿度、温度等,以适应不同实验的需求。
4. **集成化设计**:设备通常将多种功能集成在一起,可能包括净化系统、气体监测、温控系统等,提供一体化的解决方案。
5. **高安全性**:手套箱一体机设计上考虑了操作安全,通常具备泄压、报警等安全机制,以应对潜在的危险。
6. **灵活性**:可以根据实验需求进行定制,适应不同类型的实验和操作。
7. **易于清洁维护**:设备表面一般采用光滑、耐腐蚀材料,方便清洁和维护。
8. **可视化系统**:一些手套箱一体机配备有观察窗口或摄像系统,使操作人员可以监控内部情况,确保实验顺利进行。
这些特点使手套箱一体机在材料科学、化学研究、生物实验等领域广泛应用。

桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于材料科学、光学、电子工程以及其他领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过热蒸发的方法,将材料加热到其蒸发点,使其以蒸气形式喷发并在基材表面凝结形成薄膜。
2. **膜厚控制**:设备通常配备有膜厚监测系统(如晶体振荡器),可实时监测沉积膜的厚度,确保膜厚达到预期要求。
3. **材料选择**:可以使用多种材料进行沉积,如金属、氧化物、氮化物等,适应不同的应用需求。
4. **真空环境**:设备在高真空环境中操作,以减少气体分子对沉积薄膜的干扰,提高膜的质量。
5. **基材加热**:某些设备可以加热基材,提高材料的附着力和薄膜的均匀性,改善薄膜质量。
6. **多层沉积**:能够进行多层膜的沉积,适用于需要不同功能层叠加的应用。
7. **阀门控制和气体引入**:可以控制沉积环境中的气体成分,以便进行特定的化学反应或改善膜的性能。
8. **用户界面**:一般配备有友好的用户界面,方便操作人员设置参数、监控过程和记录数据。
这种设备通常适合实验室研究和小规模生产,因其体积小、操作简单而受到广泛欢迎。
电阻蒸镀机是一种用于材料蒸发沉积的设备,广泛应用于领域。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体行业**:用于制造集成电路、传感器等器件的金属电极和薄膜。
2. **光电设备**:在太阳能电池、显示器(如LCD和OLED)及光伏组件的制造中,用于沉积导电薄膜和反射膜。
3. **光学涂层**:用于光学器件如镜头、滤光片等的反射或抗反射 coating。
4. **包装材料**:在某些特殊包装材料中,电阻蒸镀可用于增强气密性或加涂保护层。
5. **饰品与工艺品**:在珠宝、手表等消费品的表面处理上,提供金属镀层以增加美观及耐腐蚀性。
6. **管道与设备**:在某些工业应用中,用于管道或设备表面的金属涂层。
总的来说,电阻蒸镀机因其高精度、高均匀性和良好的附着力,广泛应用于需要精细金属沉积的各个行业。
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