温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober Chuck)是一种用于半导体测试和研究的设备,主要应用于晶圆探针测试(wafer probing)过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置,以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面:
1. **固定能力**:卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆,防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**:在测试过程中,卡盘可能会发热,因此其材料和设计需具备良好的热导性,以避免影响测试结果。
3. **平面度**:确保卡盘的表面平整,以便与探针对接,减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**:许多卡盘都是设计为与探针台(prober)和测试设备兼容,便于集成使用。
5. **微调功能**:一些的探针台卡盘具备微调功能,可通过机械或电动方式微调晶圆的位置,以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
探针台(Probe Station)是一种用于测试和分析微电子器件(如集成电路、传感器等)的设备。其主要特点包括:
1. **高精度定位**:探针台能够定位待测样品,通常配备精密机械手臂和高分辨率的光学显微镜。
2. **多样化探针**:探针台配备多种探针,可以用于不同类型的测试,如直流、交流或测试。
3. **温控能力**:许多探针台具备温度控制功能,可以在极低或极高的温度条件下进行测试,以模拟实际工作环境。
4. **可扩展性**:探针台通常可以与其他测试设备(如示波器、信号发生器)进行连接,实现更复杂的测试方案。
5. **软件控制**:现代探针台配备了计算机控制系统,可以通过软件进行操作,实时收集和分析测试数据。
6. **兼容性**:探针台可以处理多种尺寸和形状的样品,包括晶圆、芯片和其他微电子器件。
7. **环境监控**:一些探针台具有气候控制系统,可以在洁净室或受控环境中进行测试,确保测试结果的可靠性。
这些特点使得探针台在半导体开发、质量控制和研究等领域中扮演着重要角色。

探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备,常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括:
1. **高精度**:探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制,以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**:许多探针座位移平台设计为多轴系统,能够实现X、Y、Z三个维度的立移动,以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**:平台结构通常经过优化设计,以提供高度的机械稳定性,减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**:现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统,支持自动化操作和数据采集,提高工作效率。
5. **兼容性强**:探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合,提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**:的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令,实现快速定位和测量。
7. **易于操作**:许多平台设有用户友好的界面,使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**:探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数,例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的精密设备,其特点包括:
1. **温度范围广**:能够在极低温(例如液氮温度)到高温(例如700℃以上)之间进行测试,适用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空环境**:提供高真空或真空环境,减少氧化和污染,提高测试数据的准确性和重复性。
3. **高精度探针**:配备高精度的探针,可以对微小区域进行测量,适用于微电子器件和纳米材料的测试。
4. **自动化设置**:许多高低温真空探针台配备自动化控制系统,可以实现温度和压力的准确控制,提高测试效率。
5. **多功能性**:支持多种测试方法,如电学测试、热学测试、光学测试等,适用于不同类型的材料和器件。
6. **良好的热管理**:采用的热传导和绝热技术,确保在高低温环境中设备的稳定性和测试的可靠性。
7. **数据采集系统**:配备的数据采集和分析系统,能够实时监控和记录测试数据,方便后续分析。
8. **模组化设计**:很多探针台采用模组化设计,用户可以根据需要更换不同的探针或附件,提高设备的灵活性。
这些特点使得高低温真空探针台在材料科学、半导体研发及微电子器件测试等领域中被广泛应用。

微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在极低(如-196°C,液氮温度)到极高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、量子材料和其它高科技领域实验研究中的工具。
微型高低温真空探针台主要用于材料科学、半导体器件、纳米技术等领域的研究和测试,其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体器件测试**:用于测量半导体材料和器件在高低温环境下的电学性质。
2. **材料分析**:能够分析不同材料在极端温度和真空条件下的性能变化,例如导电性、热导性等。
3. **纳米材料研究**:用于研究纳米材料在不同温度和环境下的行为,适合纳米电子学研究。
4. **物理和化学实验**:在物理和化学实验中,对样品进行高低温和真空下的测试和观察。
5. **生物材料测试**:能够测试生物材料在极端环境下的稳定性和性能变化。
6. **仪器研发**:在新型仪器和设备研发过程中,对材料的性能进行高低温测试。
综上所述,微型高低温真空探针台是一种多功能的实验设备,适用于多种研究领域,特别是在要求控制温度和气氛条件的实验中显得尤为重要。
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