真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点,形成气相,然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括:
1. **电阻加热元件**:通常采用镍铬合金或钨等材料,能在通电时产生高温,将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**:通过抽真空来降低气压,减少气体分子之间的碰撞,确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**:用于冷却基材或其他组件,防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**:用于监测和控制蒸镀过程中的参数,如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等,但也存在一些限制,如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中,电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备,比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
钙钛矿镀膜机是一种专门用于制造钙钛矿材料的设备,通常涉及薄膜沉积技术。这种机器的主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过化学气相沉积(CVD)、物相沉积(PVD)或溶胶-凝胶法等技术,将钙钛矿材料沉积在基材上,形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**:能够控制沉积过程中的温度、压力和气体流量,以确保薄膜的厚度和均匀性符合要求。
3. **材料多样性**:支持多种钙钛矿材料的沉积,包括不同的组成和结构,以适应不同应用需求。
4. **表面处理**:可以对镀膜后处理表面进行刻蚀或清洗,以改善薄膜的性能和附着力。
5. **实时监测**:配备传感器和监测系统,可以实时监测沉积状态和薄膜质量,确保生产过程的稳定性和可重复性。
6. **自动化操作**:许多钙钛矿镀膜机具有自动化功能,能够减少人工干预,提高生产效率和减少人为错误。
钙钛矿材料被广泛应用于太阳能电池、光电器件、催化剂等领域,因此,钙钛矿镀膜机在新材料研发和产业化方面具有重要意义。

蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备,特别是在物相沉积(PVD)技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态,以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **均匀性**:蒸发过程中,颗粒的蒸发速率较为均匀,能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**:通过调节加热温度和加热时间,可以控制蒸发速率,从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**:蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发,如金属、氧化物和高分子材料等,适应性较强。
4. **颗粒尺寸**:蒸发颗粒的尺寸通常较小,有助于加快蒸发速度,提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**:蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度,以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**:蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性,以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**:蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行,以避免反应杂质的影响,确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。

小型热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:能够在基材表面沉积金属、氧化物、氮化物等材料,以形成薄膜。
2. **控制膜厚**:通过调节蒸发时间和速率,可以控制薄膜的厚度,满足不同应用的需要。
3. **高真空环境**:通常配备真空系统,能够在高真空条件下进行蒸发,有效减少气体分子对薄膜的影响,提高膜层质量。
4. **多种材料兼容**:支持多种蒸发材料的使用,包括铝、银、金、硅等,适应不同的应用需求。
5. **均匀沉积**:通过合理设计蒸发源的布局,实现薄膜在基材上的均匀沉积。
6. **小型化设计**:体积小、重量轻,适合实验室、小规模生产等场合,便于搬运和操作。
7. **自动化控制**:一些设备配备了计算机控制系统,可以实现自动化操作,提率和重复性。
8. **多种基材兼容**:能够处理不同材料和形状的基材,如玻璃、塑料、陶瓷等。
总之,小型热蒸发镀膜机是一种 versatile 的设备,适用于科学研究和工业应用中的薄膜制备。

手套箱一体机是一种集成多种功能于一体的设备,主要用于提供无尘、无污染的环境,以便在严格控制条件下进行实验或操作。其特点包括:
1. **封闭环境**:手套箱一体机通常是密封的,可以有效防止外界空气和污染物进入,适合处理敏感材料或化学物质。
2. **手套操作**:设备配备有手套,操作人员可以在箱内安全地处理物品,无需直接接触。
3. **气氛控制**:许多手套箱一体机可以调节内部气氛,例如控制氧气、湿度、温度等,以适应不同实验的需求。
4. **集成化设计**:设备通常将多种功能集成在一起,可能包括净化系统、气体监测、温控系统等,提供一体化的解决方案。
5. **高安全性**:手套箱一体机设计上考虑了操作安全,通常具备泄压、报警等安全机制,以应对潜在的危险。
6. **灵活性**:可以根据实验需求进行定制,适应不同类型的实验和操作。
7. **易于清洁维护**:设备表面一般采用光滑、耐腐蚀材料,方便清洁和维护。
8. **可视化系统**:一些手套箱一体机配备有观察窗口或摄像系统,使操作人员可以监控内部情况,确保实验顺利进行。
这些特点使手套箱一体机在材料科学、化学研究、生物实验等领域广泛应用。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种广泛应用于材料科学、电子、光电和薄膜技术等领域的设备。其主要适用范围包括:
1. **光学镀膜**:用于制作抗反射涂层、增透膜、反射镜等光学元件。
2. **电子器件**:可用于制备半导体器件中的金属层、绝缘层和其他功能膜,比如太阳能电池、发光二极管(LED)等。
3. **硬涂层**:在工具、模具等表面镀膜,以提高其耐磨性、抗腐蚀性和整体性能。
4. **传感器**:在气体传感器、湿度传感器等的开发中,利用镀膜技术提高传感器的灵敏度和选择性。
5. **薄膜材料研究**:用于基础研究,探索材料的薄膜生长行为及其物理性质。
6. **实验室应用**:适合小批量生产和实验室研究,可以在实验室环境中进行多种不同材料的蒸发镀膜。
7. **装饰镀膜**:用于生产装饰性薄膜,如金属光泽涂层等。
桌面型热蒸发镀膜仪以其操作简便、成本相对较低,适合科研、教学和小规模生产等多种场合。
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