温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
探针台（Probe Station）是一种用于半导体行业的设备，主要用于集成电路（IC）和其他电子器件的电气测试和分析。它能够将微小的探针与芯片上的接触点进行对接，从而测量电流、电压和其他电气特性。
探针台的主要功能和特点包括：
1. **高精度定位**：探针台通常配备高精度的定位系统，能够对准芯片上的测试点。
2. **温度控制**：一些探针台具备温度控制功能，可以在不同的温度条件下进行测试，以模拟实际工作环境。
3. **多探针测试**：许多探针台可以支持多根探针同时使用，以提高测试效率和准确性。
4. **真空环境**：部分探针台还可以在真空环境下进行测试，以减少外界环境对测试结果的影响。
5. **软件集成**：现代探针台通常与测试软件连接，便于数据采集、分析和结果展示。
探针台广泛应用于半导体研发、可靠性测试、故障分析等领域，是芯片设计验证和性能评估的重要工具。
探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备，主要功能包括：
1. **定位**：能够地移动探针到*的测试点，确保测量的准确性。
2. **多轴控制**：通常具有多个自由度（如X、Y、Z轴），可以在三维空间中灵活移动，以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**：支持自动化操作，提高测试效率，减少人为误差。
4. **扫描功能**：可以进行扫描操作，逐点测量，以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**：可与测试仪器（如示波器、LCR表等）连接，进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**：记录测试过程中的数据，并可进行后续分析，以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**：可根据不同的测试需求和样品特性，调整探针的位置和压力，以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器，其主要功能包括：
1. **电学测试**：能够对半导体器件进行电性能测试，如IV（电流-电压）特性测试、CV（电容-电压）特性测试等。
2. **高真空环境**：提供高真空或真空环境，减少气体分子对测试结果的干扰，特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**：由于其高精度的定位功能，能够对微小结构进行接触和扫描，适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**：部分真空探针台配备温控系统，可以在低温或高温条件下进行测试，以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**：能够对薄膜、纳米材料等进行表征，分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**：可以与其他仪器（如扫描电子显微镜、原子力显微镜等）联用，进行更深入的材料或器件分析。
总之，真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器，具备以下几个主要特点：
1. **高低温测试能力**：能够在极低温（如液氮温度）到高温（如400°C以上）范围内进行测试，适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**：探针台设计用于在高真空条件下操作，减少氧化和污染，确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**：配备高精度的探针和测量系统，能够准确获取微小电流、电压等信号，适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**：体积小巧，便于在有限空间内进行操作，适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**：通常具有友好的样品夹具设计，便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**：可能支持多种测试模式，如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等，适用范围广。
7. **易于连接**：可与其他测试设备（如示波器、信号发生器等）快速连接，便于进行综合测试。
总之，微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。
同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件，主要的功能包括：
1. **信号传输**：用于在真空环境中传输或微波信号，确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**：通过密封设计，能够在真空环境下工作，避免外界环境对设备的影响，保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**：设计优化以减少信号在传输过程中的损耗，确保信号的质量。
4. **相位稳定性**：在不同温度和真空条件下，保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**：可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容，适应多种不同的应用场合。
6. **性能**：能在率下正常工作，通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域，能够满足信号在特殊环境下的传输需求。
高低温真空探针台是一种专门用于材料和器件测试的设备，广泛应用于以下领域：
1. **半导体研究**：用于测试半导体材料、器件（如晶体管、二极管等）的电性能和热性能，尤其是在极端温度条件下的表现。
2. **纳米材料**：适合对纳米材料进行电学性能测试，研究其在不同温度和真空条件下的特性。
3. **物理学和材料科学研究**：可用于基本物理实验，如测量材料的电导率、热导率等，以及研究材料在高低温下的相变行为。
4. **太阳能电池**：用于太阳能电池材料的测试，以评估其在不同温度和环境条件下的效率和稳定性。
5. **传感器及MEMS器件**：对传感器和微机电系统（MEMS）的性能进行评估，确保其在实际应用中的可靠性。
6. **实验室研发**：研究人员在新材料开发过程中，可以使用探针台进行电学和热学测试。
总之，高低温真空探针台适用于多种需要在高低温及真空条件下进行测试的高科技领域。
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