温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober chuck)是半导体测试和测量设备中常用的一种组件,主要用于在测试过程中夹持和定位待测芯片或晶圆。探针台通常用于集成电路(IC)的电性能测试,其主要功能包括:
1. **夹持**:确保芯片在测试时稳定不动,避免因震动或移动导致测量误差。
2. **热管理**:某些探针台卡盘设计中考虑了热管理功能,可以有效散热,以保证测试过程中芯片性能的一致性和准确性。
3. **高精度定位**:支持微米级别的高精度定位,以便探针能够接触到芯片上的测试点。
4. **多功能性**:一些的探针台卡盘可以支持多种测试模式,包括直流测试、交流测试、测试等。
5. **集成化设计**:现代探针台卡盘往往与其他测试设备,如信号发生器、示波器等,进行集成,以提高测试效率。
在选择探针台卡盘时,需要考虑待测器件的类型、尺寸,所需的测试精度以及其他特定要求。
探针台卡盘(probe station chuck)是用于半导体测试和材料研究的重要设备,其特点包括:
1. **高精度**:探针台卡盘通常具有高精度的定位能力,能够确保探针与测试样品之间的对接,从而提高测试的准确性。
2. **温控能力**:许多探针台卡盘配备有温度控制系统,可以在升温或降温的情况下进行测试,帮助研究人员观察材料在不同温度下的性能变化。
3. **真空功能**:某些探针台卡盘具有真空夹紧功能,可以确保样品在测试过程中固定稳定,减少外部干扰。
4. **兼容性强**:探针台卡盘通常设计为兼容多种类型的测试探针和测试仪器,方便用户进行不同类型的实验。
5. **灵活性**:探针台卡盘可以适应不同尺寸和形状的样品,提供多种夹持方式,以满足不同测试需求。
6. **性能**:针对信号测试的需求,一些探针台卡盘具备良好的性能,能够有效降低信号衰减和反射。
7. **用户友好的操作界面**:现代探针台常配备直观的控制系统,便于用户对设备进行调整和设置。
8. **耐用性**:探针台卡盘通常采用量材料制造,以确保设备的耐久性和稳定性,在复杂环境下也能长期使用。
综合以上特点,探针台卡盘在半导体测试、材料研究等领域中扮演着关键角色,极大地推动了相关技术的发展。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

探针夹具是一种用于电子测试和信号测量的设备,它的主要功能包括:
1. **信号接触**:探针夹具可以地与电路板上的测试点接触,从而获取信号或电源。这对于电路功能测试和调试至关重要。
2. **高精度定位**:探针夹具通常具有高精度的定位功能,可以确保探针准确接触到*的测试点,提高测试的可靠性和准确性。
3. **自动化测试**:随着自动化测试技术的发展,探针夹具常常与自动测试设备(ATE)配合使用,实现的自动化测试,提高测试效率和一致性。
4. **适应性强**:探针夹具通常设计为可以适应不同规格的PCB(印刷电路板),支持多种类型的测试点,如焊盘、引脚等。
5. **减少干扰**:良好的探针夹具设计可以减少在测试过程中可能引入的干扰,提高测量的准确性。
6. **多通道测试**:一些的探针夹具可以支持多通道同时测试,提高测试的效率,特别是在批量生产测试中具有明显的优势。
总的来说,探针夹具在电子产品的研发、测试和生产过程中起到了重要的作用,能够有效提高测试的效率和准确性。

探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备,主要功能包括:
1. **定位**:能够地移动探针到*的测试点,确保测量的准确性。
2. **多轴控制**:通常具有多个自由度(如X、Y、Z轴),可以在三维空间中灵活移动,以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**:支持自动化操作,提高测试效率,减少人为误差。
4. **扫描功能**:可以进行扫描操作,逐点测量,以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**:可与测试仪器(如示波器、LCR表等)连接,进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**:记录测试过程中的数据,并可进行后续分析,以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**:可根据不同的测试需求和样品特性,调整探针的位置和压力,以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
真空探针台是一种用于半导体、微电子和纳米技术等领域的高精度测试设备,适用于以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对集成电路(IC)、功率器件、传感器等半导体器件进行电性能测试,包括IV曲线测量、CV特性测试等。
2. **材料科学**:用于研究和测试薄膜材料、纳米材料等在不同环境下的电学特性。
3. **微机电系统(MEMS)**:对MEMS器件进行电气测试和性能评估,尤其是在真空环境下进行的测试。
4. **封装测试**:用于对芯片封装后进行的性能测试,确保封装过程影响芯片性能。
5. **研发和实验室应用**:研究机构和高校可以利用真空探针台进行实验室研究,进行新材料和器件的开发。
6. **测试**:一些应用中,真空环境可以减少信号衰减和噪声,适合微波器件和电路的测试。
真空探针台能够提供稳定的测试环境和高精度的测量,有助于研究人员和工程师获取准确的数据和结果。
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