温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober Chuck)是一种用于半导体测试和研究的设备,主要应用于晶圆探针测试(wafer probing)过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置,以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面:
1. **固定能力**:卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆,防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**:在测试过程中,卡盘可能会发热,因此其材料和设计需具备良好的热导性,以避免影响测试结果。
3. **平面度**:确保卡盘的表面平整,以便与探针对接,减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**:许多卡盘都是设计为与探针台(prober)和测试设备兼容,便于集成使用。
5. **微调功能**:一些的探针台卡盘具备微调功能,可通过机械或电动方式微调晶圆的位置,以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件,主要的功能包括:
1. **信号传输**:用于在真空环境中传输或微波信号,确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**:通过密封设计,能够在真空环境下工作,避免外界环境对设备的影响,保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**:设计优化以减少信号在传输过程中的损耗,确保信号的质量。
4. **相位稳定性**:在不同温度和真空条件下,保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**:可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容,适应多种不同的应用场合。
6. **性能**:能在率下正常工作,通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域,能够满足信号在特殊环境下的传输需求。

微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在极低(如-196°C,液氮温度)到极高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、量子材料和其它高科技领域实验研究中的工具。

微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在极端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。
探针座位移平台主要用于电子元器件、半导体器件以及其他微电子设备的测试和研发。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体测试**:对芯片的电气特性进行测试,包括晶圆级测试(Wafer Testing)和封装测试(Package Testing)。
2. **微电子器件研发**:在新产品开发过程中,对微小器件的电气和物理特性进行测量。
3. **实验室研究**:用于高校、研究机构的材料科学、物理学等领域的实验。
4. **通信器件测试**:用于测试通信相关的IC(集成电路)和器件。
5. **自动化生产线**:在自动化测试设备中,实现率的在线测试和监控。
6. **设备测试**:用于一些微小设备的性能测试。
探针座位移平台的设计与制造通常考虑的定位和稳定性,以便能够满足高精度测量的需求。
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