真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
有机蒸发镀膜机是一种用于材料薄膜沉积的设备,尤其是在有机材料的薄膜生产中。它广泛应用于有机电子(如有机发光二极管OLED、太阳能电池等)、光电材料和其他相关领域。
其工作原理主要包括以下几个步骤:
1. **材料准备**:将待蒸发的有机材料放置在蒸发源中,通常是一个加热的坩埚或舟。
2. **加热蒸发**:通过加热,使得有机材料达到其蒸发温度,转变为气相。
3. **沉积过程**:蒸发出的有机分子在真空环境中向基板表面移动,并在基板上沉积形成薄膜。真空环境可以减少气体分子的碰撞,提高沉积效率和膜的质量。
4. **薄膜生长**:控制沉积速率和温度,以获得所需厚度和均匀性。
几种关键参数在有机蒸发镀膜中重要,包括真空度、沉积速率、基板温度和材料选择等。这些参数的优化可以显著提高薄膜的性能和均匀性。
有机蒸发镀膜机的优点包括:
- 适用于多种有机材料的沉积。
- 可以实现量、均匀的薄膜。
- 适合于大面积沉积。
在购买或使用此类设备时,需考虑生产需求、预算、设备的易用性以及维修服务等因素。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备,主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括:
1. **能**:电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上,适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**:该设备通常配备精密的电流和温度控制系统,可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率,从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**:电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料,包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**:为了提高沉积质量,电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行,减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**:相较于其他蒸镀技术,电阻蒸镀机的操作相对简单,易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**:通过控制同时蒸发不同材料,电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积,适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****:相较于其他一些物相沉积技术,电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**:电阻蒸镀过程中产生的废物较少,对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。

束源炉(或称束流反应堆)是一种利用粒子束产生高能粒子的设备,主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括:
1. **粒子加速**:束源炉能够加速粒子到高能状态,为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**:通过产生高能粒子束,束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**:支持核物理研究,例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**:在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**:用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说,束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具,具有多种功能。

蒸发舟(或称为蒸发小舟)在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度,使其转变为气态,通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**:通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜,这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**:蒸发舟可以用于多种材料(如金属、氧化物、聚合物等)的蒸发,适应不同的应用需求。
4. **控制**:通过调整加热功率和蒸发时间,可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**:在真空环境中蒸发,可以减少杂质及氧化反应,得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**:蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能,蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。

电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:电阻蒸镀机能够将材料(如金属、合金、氧化物等)以蒸发形式沉积在基材表面,形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**:设备通常配备的温度控制和蒸发速率监测系统,可以控制薄膜的厚度和均匀性。
3. **多种材料兼容**:电阻蒸镀机可以用于多种类型的材料沉积,包括金属(如铝、金、银)、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空环境**:通过在真空环境中进行沉积,可以减少气体分子对薄膜沉积的影响,从而提高薄膜的品质和性能。
5. **可调参数**:用户可以根据实际需求调整沉积温度、速率、时间等参数,以实现不同的应用效果。
6. **应用广泛**:电阻蒸镀机常用于制造光学元件、半导体器件、传感器、太阳能电池等多种产品。
7. **自动化程度高**:现代电阻蒸镀机通常具备计算机控制系统,可以实现自动化操作,提高生产效率。
总之,电阻蒸镀机是一种重要的薄膜制备工具,其优越的性能使其在科学研究和工业生产中都得到了广泛应用。
手套箱一体机(Glove Box)是一种封闭式操作设备,广泛应用于需要在无尘、无氧、无污染环境下进行实验或操作的领域。其主要适用范围包括:
1. **化学实验室**:用于处理敏感化学品或危险化学品,防止气体泄漏或与空气中的水分和氧气反应。
2. **材料科学**:在合成新材料、存储和制造高敏感性材料(如电池材料、光电材料)时使用,避免与空气接触。
3. **生物医学研究**:在无菌环境下进行细胞培养、基因编辑等实验,确保样品不受外界污染。
4. **制药工业**:用于药物的研发与生产过程,确保符合严格的无菌和无尘要求。
5. **半导体行业**:在集成电路和电子元件的生产过程中,避免灰尘和杂质影响产品质量。
6. **核能和放射性材料研究**:用于安全处理放射性物质,防止泄漏。
7. **环境科学**:用于处理和分析污染物样本,确保实验条件可控。
总之,手套箱一体机适合需要高度控制环境的科研和工业应用。
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