温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台(Probing Station)是一种用于半导体测试和测量的设备,主要用于对集成电路(IC)进行电气测试。它允许工程师在开发和生产过程中评估电路的性能,确定是否满足设计规格。探针台通常配备高度的探针,可以在微小的封装上进行接触,以测量电流、电压和其他电气特性。
探针台的主要特点包括:
1. **高精度定位**:能够定位到纳米级别,以确保探针能准确接触到芯片上的测试点。
2. **可调操作温度**:有些探针台设计可以在不同的温度条件下进行测试,以模拟不同的工作环境。
3. **自动化与手动操作**:现代探针台通常集成了自动化系统,能够提高测试效率,减少人为错误。
4. **多探针设计**:可以同时使用多个探针进行测试,从而加快测试速度并提高测试覆盖率。
探针台广泛应用于半导体行业的研发、生产测试以及质量控制等环节。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。

同轴真空馈通件是一种用于电子设备的连接器,主要用于在真空环境中传输信号。其特点包括:
1. **优良的信号传输性能**:同轴结构能够有效地减少信号的损耗和反射,保证信号的质量。
2. **良好的屏蔽性能**:同轴设计可提供较好的电磁干扰屏蔽,防止外部干扰信号影响传输质量。
3. **耐高真空特性**:专门设计用于在真空环境中工作,不易受到气体和水分的影响,适用于真空设备,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能够承受较高的功率水平,适合用于高功率射频应用。
5. **机械稳定性**:结构坚固,能够经受一定的机械应力和温度变化。
6. **便于安装和维护**:设计通常考虑到易于安装和维护,便于与其他设备连接。
7. **多种接口类型**:可根据需要提供不同类型的连接器接口,以适应应用场景。
以上这些特点使得同轴真空馈通件在通信、射频设备及实验物理等领域具有广泛的应用前景。

真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。

探针台卡盘(probe station chuck)是用于半导体测试和材料研究的重要设备,其特点包括:
1. **高精度**:探针台卡盘通常具有高精度的定位能力,能够确保探针与测试样品之间的对接,从而提高测试的准确性。
2. **温控能力**:许多探针台卡盘配备有温度控制系统,可以在升温或降温的情况下进行测试,帮助研究人员观察材料在不同温度下的性能变化。
3. **真空功能**:某些探针台卡盘具有真空夹紧功能,可以确保样品在测试过程中固定稳定,减少外部干扰。
4. **兼容性强**:探针台卡盘通常设计为兼容多种类型的测试探针和测试仪器,方便用户进行不同类型的实验。
5. **灵活性**:探针台卡盘可以适应不同尺寸和形状的样品,提供多种夹持方式,以满足不同测试需求。
6. **性能**:针对信号测试的需求,一些探针台卡盘具备良好的性能,能够有效降低信号衰减和反射。
7. **用户友好的操作界面**:现代探针台常配备直观的控制系统,便于用户对设备进行调整和设置。
8. **耐用性**:探针台卡盘通常采用量材料制造,以确保设备的耐久性和稳定性,在复杂环境下也能长期使用。
综合以上特点,探针台卡盘在半导体测试、材料研究等领域中扮演着关键角色,极大地推动了相关技术的发展。
探针台是一种广泛应用于微电子、半导体和材料科学等领域的测试设备。其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **半导体测试**:探针台用于对半导体器件进行电性能测试,如晶体管、二极管、集成电路等。
2. **材料分析**:可以用于测试和分析材料的电学、热学和光学特性,特别是在材料研发阶段。
3. **微纳米技术**:探针台在微纳米器件的制造和测试中扮演着重要角色,用于研究和开发微机电系统(MEMS)和纳米技术相关产品。
4. **研发与生产测试**:在产品研发阶段和生产线上,探针台可以快速地对产品进行测试和验证,确保其性能指标符合设计要求。
5. **故障分析**:在电路故障分析中,通过探针台可以定位问题部件,进行电气测试和故障排查。
6. **教学与科研**:在高校和研究机构,探针台常用于实验教学和科研项目,为学生和研究人员提供实践机会。
总之,探针台是一个多功能、高精度的测试平台,适用于多个领域的研究与应用。
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