温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
真空探针台（Vacuum Probe Station）是一种用于半导体材料和器件测试的实验设备。它在高真空环境下操作，可以有效降低外部污染和氧化，确保测试结果的准确性。真空探针台通常配备有多组针头探针，用于电气测试、信号传输和表面分析等。
真空探针台的主要应用包括：
1. **半导体器件测试**：用于测试晶体管、二极管、集成电路等器件的电性能。
2. **材料研究**：可用于研究新型半导体材料、纳米材料等的特性。
3. **微纳米技术**：在微米和纳米尺度上进行电学、光学等性能测试。
4. **失效率分析**：通过在真空环境中测试，分析器件的失效率和可靠性。
真空探针台的工作原理是将样品放置在真空环境中，通过探针直接接触样品的电极进行测量。通常配备有精密的定位系统，以保证探针与样品的准确接触。
在使用真空探针台时，操作人员需要对设备进行良好的维护和校准，以确保测试结果的准确性和重复性。
探针台（Probe Station）是一种用于测试和分析微电子器件（如集成电路、传感器等）的设备。其主要特点包括：
1. **高精度定位**：探针台能够定位待测样品，通常配备精密机械手臂和高分辨率的光学显微镜。
2. **多样化探针**：探针台配备多种探针，可以用于不同类型的测试，如直流、交流或测试。
3. **温控能力**：许多探针台具备温度控制功能，可以在极低或极高的温度条件下进行测试，以模拟实际工作环境。
4. **可扩展性**：探针台通常可以与其他测试设备（如示波器、信号发生器）进行连接，实现更复杂的测试方案。
5. **软件控制**：现代探针台配备了计算机控制系统，可以通过软件进行操作，实时收集和分析测试数据。
6. **兼容性**：探针台可以处理多种尺寸和形状的样品，包括晶圆、芯片和其他微电子器件。
7. **环境监控**：一些探针台具有气候控制系统，可以在洁净室或受控环境中进行测试，确保测试结果的可靠性。
这些特点使得探针台在半导体开发、质量控制和研究等领域中扮演着重要角色。
高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的精密设备，其特点包括：
1. **温度范围广**：能够在极低温（例如液氮温度）到高温（例如700℃以上）之间进行测试，适用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空环境**：提供高真空或真空环境，减少氧化和污染，提高测试数据的准确性和重复性。
3. **高精度探针**：配备高精度的探针，可以对微小区域进行测量，适用于微电子器件和纳米材料的测试。
4. **自动化设置**：许多高低温真空探针台配备自动化控制系统，可以实现温度和压力的准确控制，提高测试效率。
5. **多功能性**：支持多种测试方法，如电学测试、热学测试、光学测试等，适用于不同类型的材料和器件。
6. **良好的热管理**：采用的热传导和绝热技术，确保在高低温环境中设备的稳定性和测试的可靠性。
7. **数据采集系统**：配备的数据采集和分析系统，能够实时监控和记录测试数据，方便后续分析。
8. **模组化设计**：很多探针台采用模组化设计，用户可以根据需要更换不同的探针或附件，提高设备的灵活性。
这些特点使得高低温真空探针台在材料科学、半导体研发及微电子器件测试等领域中被广泛应用。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器，具备以下几个主要特点：
1. **高低温测试能力**：能够在极低温（如液氮温度）到高温（如400°C以上）范围内进行测试，适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**：探针台设计用于在高真空条件下操作，减少氧化和污染，确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**：配备高精度的探针和测量系统，能够准确获取微小电流、电压等信号，适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**：体积小巧，便于在有限空间内进行操作，适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**：通常具有友好的样品夹具设计，便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**：可能支持多种测试模式，如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等，适用范围广。
7. **易于连接**：可与其他测试设备（如示波器、信号发生器等）快速连接，便于进行综合测试。
总之，微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。
光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器，主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括：
1. **高精度定位**：光学探针台配备高精度的运动系统，可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位，以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**：利用高分辨率的成像系统，可以对样品进行实时观察，提供样品表面的详细信息，帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**：光学探针台通常配有不同类型的探针，可以进行电学、热学、力学等性质的测量，例如扫描探针显微镜（SPM）和原子力显微镜（AFM）等。
4. **环境控制**：许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验（如温度、湿度、气氛等），以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**：通过集成的软件系统，光学探针台可以实时采集数据并进行分析，为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**：某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力，如刻蚀、沉积等，为材料制备提供。
7. **多功能集成**：现代光学探针台还可以与其他技术结合，如激光光谱、电子显微镜等，以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性，成为研究和开发中的重要工具。
微型高低温真空探针台主要用于材料科学、半导体器件、纳米技术等领域的研究和测试，其适用范围包括但不限于以下几个方面：
1. **半导体器件测试**：用于测量半导体材料和器件在高低温环境下的电学性质。
2. **材料分析**：能够分析不同材料在极端温度和真空条件下的性能变化，例如导电性、热导性等。
3. **纳米材料研究**：用于研究纳米材料在不同温度和环境下的行为，适合纳米电子学研究。
4. **物理和化学实验**：在物理和化学实验中，对样品进行高低温和真空下的测试和观察。
5. **生物材料测试**：能够测试生物材料在极端环境下的稳定性和性能变化。
6. **仪器研发**：在新型仪器和设备研发过程中，对材料的性能进行高低温测试。
综上所述，微型高低温真空探针台是一种多功能的实验设备，适用于多种研究领域，特别是在要求控制温度和气氛条件的实验中显得尤为重要。
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