真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点，形成气相，然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括：
1. **电阻加热元件**：通常采用镍铬合金或钨等材料，能在通电时产生高温，将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**：通过抽真空来降低气压，减少气体分子之间的碰撞，确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**：用于冷却基材或其他组件，防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**：用于监测和控制蒸镀过程中的参数，如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等，但也存在一些限制，如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中，电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备，比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：电阻蒸镀机能够将材料（如金属、合金、氧化物等）以蒸发形式沉积在基材表面，形成均匀的薄膜。
2. **高精度控制**：设备通常配备的温度控制和蒸发速率监测系统，可以控制薄膜的厚度和均匀性。
3. **多种材料兼容**：电阻蒸镀机可以用于多种类型的材料沉积，包括金属（如铝、金、银）、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空环境**：通过在真空环境中进行沉积，可以减少气体分子对薄膜沉积的影响，从而提高薄膜的品质和性能。
5. **可调参数**：用户可以根据实际需求调整沉积温度、速率、时间等参数，以实现不同的应用效果。
6. **应用广泛**：电阻蒸镀机常用于制造光学元件、半导体器件、传感器、太阳能电池等多种产品。
7. **自动化程度高**：现代电阻蒸镀机通常具备计算机控制系统，可以实现自动化操作，提高生产效率。
总之，电阻蒸镀机是一种重要的薄膜制备工具，其优越的性能使其在科学研究和工业生产中都得到了广泛应用。
热蒸发镀膜机是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，主要功能包括：
1. **膜层制备**：通过加热蒸发材料，使其转变为气态，并在基材表面沉积形成薄膜。可以用于制备金属、绝缘材料或半导体薄膜。
2. **膜层厚度控制**：通过控制蒸发率和沉积时间，可以调节膜层的厚度。
3. **材料种类选择**：可以使用多种材料进行蒸发，如金、银、铝、氧化物等，以实现不同的光学或电气性能。
4. **真空环境控制**：在真空环境中进行镀膜，降低空气中的杂质对膜层质量的影响，提高膜层的致密性和均匀性。
5. **基材适应性**：可用于多种基材的镀膜，包括玻璃、塑料、金属等。
6. **功能性薄膜的制备**：可以制备不同功能的薄膜，如反射膜、抗反射膜、导电膜、光电膜等，广泛应用于光电子器件、显示器、传感器等领域。
7. **多层膜制备**：可实现多层膜的叠加，制造复杂结构以满足特定的光学或电气特性。
这些功能使得热蒸发镀膜机在材料科学、电子、光学等领域有着广泛的应用。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
蒸发舟（或称蒸发皿）是一种用于化学实验和工业生产中的器具，主要用于蒸发溶剂和浓缩溶液。蒸发舟蒸发颗粒适用范围一般包括：
1. **化学实验**：用于蒸发液体，浓缩溶液，分离化学物质。
2. **生物实验**：在生物样品处理中，常用于蒸发或浓缩生物样品中的溶剂。
3. **制药工业**：用于制备药物浓缩液，去除溶剂，生产药品原料。
4. **食品工业**：在浓缩果汁、调味品等生产中使用。
5. **材料科学**：用于涂层材料的制备，以及材料的合成过程。
6. **环境监测**：在水质分析中，用于浓缩水样中的污染物。
7. **纳米材料制备**：在纳米颗粒的制备过程中，常用于蒸发溶液形成固态颗粒。
在不同的应用中，根据具体需要选用合适材质和规格的蒸发舟，以确保实验的准确性和安全性。
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