真空腔室L400×W440×H450mm，采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm，含磁力挡板
屏蔽板不锈钢，便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵，抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36，抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高，含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
束源炉（也叫束源熔炉或束流反应堆）是一种利用粒子束（如电子束、离子束等）作为能量源进行材料加工或反应的设备。束源炉的工作原理是将高能粒子束聚焦到材料表面，通过粒子与材料的相互作用，产生局部加热、熔化或化学反应，从而实现特定的加工效果。
束源炉在某些工业应用中具有重要的作用，例如：
1. **金属加工**：利用电子束熔化金属材料，进行焊接、熔炼等。
2. **材料表面处理**：提高材料表面的硬度、耐磨性等性能。
3. **合成反应**：利用高能束流促进化学反应，实现新材料的合成。
束源炉的优点包括高精度、率，以及能够适应多种材料的加工需求。
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于电子、光学、材料科学等领域。其主要特点包括：
1. **高纯度材料沉积**：通过热蒸发可以有效地沉积高纯度的薄膜，减少杂质的影响。
2. **良好的膜质量**：热蒸发镀膜技术能够形成均匀且致密的薄膜，具备较好的光学和电气性能。
3. **高沉积速率**：相较于其他镀膜技术，热蒸发具有较高的沉积速率，适合大规模生产。
4. **温度控制灵活**：设备通常配备精密的温度控制系统，可以根据不同材料的特性调整加热温度。
5. **适用广泛**：可以镀覆多种材料，如金属、合金、半导体及绝缘材料等，适用性强。
6. **工艺简单**：热蒸发镀膜工艺相对简单，易于操作和控制。
7. **真空环境**：通常在真空环境中进行，有效减少气体污染，提高膜层质量。
8. **设备投资较低**：相对于其他镀膜设备（如磁控溅射镀膜机），热蒸发镀膜机的设备成本相对较低。
9. **可控性强**：可以通过改变蒸发源的距离、功率和基片温度等来调节膜层的厚度和属性。
总之，热蒸发镀膜机是一种、灵活且经济的薄膜沉积设备，适合应用需求。
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于电子、光电、材料科学等领域。它的主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：通过电阻加热将材料蒸发，然后在基材上形成薄膜。
2. **高精度控制**：可以控制沉积速率和膜厚，使其适应不同需求的薄膜特性。
3. **气氛控制**：在真空或特定气氛下进行蒸镀，以提高薄膜的质量和性能。
4. **多材料蒸镀**：可同时或不同时间段内蒸发多种材料，以实现多层薄膜的沉积。
5. **适用于多种材料**：能够处理多种金属、合金及一些陶瓷材料。
6. **高均匀性**：通过优化设备设计，沉积的薄膜一般具有较高的均匀性和一致性。
7. **温度监控**：设备通常配备温度监控系统，以确保基材和蒸发材料的温度适宜。
电阻蒸镀机因其、以及能够制作量薄膜的优点，成为研究和工业应用中的重要工具。
有机蒸发镀膜机是一种用于将有机材料（如有机半导体、发光材料等）蒸发并沉积到基材上的设备。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**: 可以在基材表面均匀沉积有机薄膜，常用于有机电子设备如OLED显示器、太阳能电池等的制作。
2. **真空蒸发**: 在高真空环境下进行蒸发，避免了材料的氧化和污染，从而提高薄膜的质量。
3. **可控性**: 通过调整蒸发速率、温度和沉积时间，可以控制薄膜的厚度和均匀性。
4. **材料兼容性**: 能够处理多种有机材料，包括聚合物、有机小分子等，适用范围广泛。
5. **多层结构**: 可以实现多层镀膜，从而构建复杂的光电结构，满足不同器件的需求。
6. **批量生产能力**: 适合大规模生产，具备的生产能力。
7. **自动化控制**: 一些设备配备自动化系统，可以实现自动加载、监测和控制，提高生产效率和稳定性。
总的来说，有机蒸发镀膜机在有机光电器件的制造中发挥着至关重要的作用。
蒸发舟是一种用于薄膜沉积和蒸发材料的装置，广泛应用于材料科学、半导体制造以及光学薄膜的生产中。它的主要功能和特点包括：
1. **材料蒸发**：蒸发舟通过加热将固体材料加热到其熔点或蒸发点，使其转变为气态，随后沉积到基材上形成薄膜。
2. **薄膜均匀性**：蒸发舟可以控制蒸发速率和温度，从而在基材上形成均匀厚度的薄膜，这对于光学性能和电学性能至关重要。
3. **控制**：通过调整蒸发舟的加热方式（如电阻加热、激光加热等），可以实现对蒸发速率和沉积材料的控制。
4. **多种材料**：可以使用材料，如金属、氧化物和聚合物，进行蒸发沉积，以满足不同应用的需求。
5. **真空环境**：通常在真空环境中进行操作，以减少氧化和污染，提高薄膜的质量和性能。
6. **应用广泛**：用于光电器件、太阳能电池、传感器等多个领域，通过制备高性能薄膜来提升器件性能。
蒸发舟在薄膜技术中的重要性使其成为现代材料科学和工程中的一种关键工具。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备，主要适用于以下几个领域：
1. **半导体制造**：用于沉积金属薄膜，如铝、铜等，用于集成电路和其他电子元器件的生产。
2. **光电材料**：在太阳能电池、显示器和LED等领域，电阻蒸镀机可以用于沉积透明导电氧化物（如ITO）以及其他功能性薄膜。
3. **光学薄膜**：用于制造光学涂层，如反射镜、滤光片和抗反射涂层等。
4. **装饰性涂层**：在珠宝、手表以及消费电子产品中，用于涂覆金属层，以提高外观和耐腐蚀性能。
5. **传感器和电极**：在传感器和电极的制作中，电阻蒸镀能够提供高均匀性和良好的附着性。
电阻蒸镀机因其优良的沉积质量、较高的均匀性和对薄膜厚度的控制能力，在这些领域得到了广泛应用。
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