真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
电阻蒸镀机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、光学薄膜等领域。其工作原理是通过将金属或其他材料加热至蒸发点,形成气相,然后在基材表面凝结形成薄膜。
电阻蒸镀机的主要组成部分包括:
1. **电阻加热元件**:通常采用镍铬合金或钨等材料,能在通电时产生高温,将待蒸镀的材料加热至蒸发。
2. **真空系统**:通过抽真空来降低气压,减少气体分子之间的碰撞,确保蒸发的材料能够有效沉积在基材表面。
3. **冷却系统**:用于冷却基材或其他组件,防止过热和确保沉积质量。
4. **控制系统**:用于监测和控制蒸镀过程中的参数,如温度、蒸发速率、沉积时间等。
电阻蒸镀的优点包括沉积速度快、膜层均匀、附着力好等,但也存在一些限制,如材料的选择限制、设备成本较高等。
在实际应用中,电阻蒸镀技术可以实现多种功能薄膜的制备,比如反射镜、抗反射涂层、导电膜等。
有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备,主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括:
1. **薄膜沉积**:通过加热有机材料,使其蒸发并沉积在基板表面,形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**:可以控制沉积的膜厚度,以满足应用需求。
3. **大面积涂层**:适用于大尺寸基板的涂层工艺,满足工业生产需求。
4. **高真空环境**:在高真空条件下进行镀膜,减少杂质,提升膜层质量。
5. **材料适应性**:可用于多种有机材料的镀膜,如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**:能够实现多层膜的沉积,适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**:现代设备通常配备的控制系统,可以自动调节参数,提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能,有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。

束源炉(或称束流反应堆)是一种利用粒子束产生高能粒子的设备,主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括:
1. **粒子加速**:束源炉能够加速粒子到高能状态,为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**:通过产生高能粒子束,束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**:支持核物理研究,例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**:在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**:用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说,束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具,具有多种功能。

小型热蒸发镀膜机是一种常见的实验室设备,主要用于材料表面的薄膜沉积,其特点包括:
1. **小巧便携**:设计紧凑,适合实验室、研究机构及小规模生产等场所使用,便于搬运和安装。
2. **操作简便**:通常配备直观的操作界面和控制系统,便于用户操作和调节参数。
3. **蒸发效率高**:利用热蒸发原理,能够在较短时间内实现率的镀膜过程。
4. **适用材料广泛**:可以用于多种金属及某些非金属材料的蒸发镀膜,适应性强。
5. **膜层质量好**:能够沉积出均匀、致密的薄膜,满足高要求的光学、电气性能。
6. **真空环境**:配置高真空系统,可以有效防止污染,提高膜层纯度。
7. **温度控制**:具备的温度控制功能,能够调节蒸发源的温度,以优化膜层性能。
8. **成本相对较低**:相比于大型镀膜设备,投资成本较低,适合预算有限的单位。
9. **多样化的附加功能**:部分设备还可以选配如厚度监测、靶材更换等功能,以提高应用的灵活性。
10. **节能环保**:现代设备在设计上往往考虑能耗,运行过程中的能量利用效率较高。
这些特点使得小型热蒸发镀膜机在科学研究、新材料开发和小规模生产中拥有广泛的应用前景。

手套箱一体机是一种集成多种功能于一体的设备,主要用于提供无尘、无污染的环境,以便在严格控制条件下进行实验或操作。其特点包括:
1. **封闭环境**:手套箱一体机通常是密封的,可以有效防止外界空气和污染物进入,适合处理敏感材料或化学物质。
2. **手套操作**:设备配备有手套,操作人员可以在箱内安全地处理物品,无需直接接触。
3. **气氛控制**:许多手套箱一体机可以调节内部气氛,例如控制氧气、湿度、温度等,以适应不同实验的需求。
4. **集成化设计**:设备通常将多种功能集成在一起,可能包括净化系统、气体监测、温控系统等,提供一体化的解决方案。
5. **高安全性**:手套箱一体机设计上考虑了操作安全,通常具备泄压、报警等安全机制,以应对潜在的危险。
6. **灵活性**:可以根据实验需求进行定制,适应不同类型的实验和操作。
7. **易于清洁维护**:设备表面一般采用光滑、耐腐蚀材料,方便清洁和维护。
8. **可视化系统**:一些手套箱一体机配备有观察窗口或摄像系统,使操作人员可以监控内部情况,确保实验顺利进行。
这些特点使手套箱一体机在材料科学、化学研究、生物实验等领域广泛应用。
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备,适用于多种领域和材料。其适用范围主要包括:
1. **光学器件**:用于生产光学薄膜,如抗反射膜、镀膜镜头等。
2. **电子元件**:在半导体、光电子、太阳能电池等领域沉积金属和绝缘层。
3. **装饰性涂层**:用于金属、玻璃、塑料等表面的装饰镀膜,以提升美观和耐腐蚀性。
4. **传感器**:在传感器制造过程中用于沉积薄膜,以实现特定的电学、光学或化学特性。
5. **硬质涂层**:用于工具、模具等表面的硬化处理,提高耐磨性和使用寿命。
6. **器械**:在某些器械中应用特殊薄膜以增强生物相容性或防污染。
7. **照明设备**:用于LED、激光器等照明设备中的薄膜沉积。
总之,热蒸发镀膜机因其操作简单、沉积速度快以及适应不同材料的能力,成为许多行业中的制造设备。
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