真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
蒸发舟是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，广泛应用于薄膜材料的制备。在这种过程中，固体材料（如金属或化合物）被加热到高温，使其蒸发，并在真空中沉积到基材表面，从而形成薄膜。
当材料在蒸发舟中加热到其蒸发温度时，会产生颗粒或原子，这些颗粒会随蒸气流动，终在冷却的基材上凝结，形成所需的薄膜。蒸发舟的主要优点是可以在相对低的温度下进行沉积，同时能够获得较高的沉积速率和良好的膜质量。
在蒸发过程中产生的颗粒可以是单原子层、分子或小颗粒，具体取决于蒸发的材料和条件。这些颗粒在沉积过程中会根据其动能和温度条件，形成不同的厚度和结构。
需要注意的是，蒸发的效率和膜的性质与蒸发舟的材料、温度、压力、基材的选择等多种因素密切相关。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备，主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括：
1. **薄膜沉积**：通过加热有机材料，使其蒸发并沉积在基板表面，形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**：可以控制沉积的膜厚度，以满足应用需求。
3. **大面积涂层**：适用于大尺寸基板的涂层工艺，满足工业生产需求。
4. **高真空环境**：在高真空条件下进行镀膜，减少杂质，提升膜层质量。
5. **材料适应性**：可用于多种有机材料的镀膜，如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**：能够实现多层膜的沉积，适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**：现代设备通常配备的控制系统，可以自动调节参数，提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能，有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。
热蒸发镀膜机是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，主要功能包括：
1. **膜层制备**：通过加热蒸发材料，使其转变为气态，并在基材表面沉积形成薄膜。可以用于制备金属、绝缘材料或半导体薄膜。
2. **膜层厚度控制**：通过控制蒸发率和沉积时间，可以调节膜层的厚度。
3. **材料种类选择**：可以使用多种材料进行蒸发，如金、银、铝、氧化物等，以实现不同的光学或电气性能。
4. **真空环境控制**：在真空环境中进行镀膜，降低空气中的杂质对膜层质量的影响，提高膜层的致密性和均匀性。
5. **基材适应性**：可用于多种基材的镀膜，包括玻璃、塑料、金属等。
6. **功能性薄膜的制备**：可以制备不同功能的薄膜，如反射膜、抗反射膜、导电膜、光电膜等，广泛应用于光电子器件、显示器、传感器等领域。
7. **多层膜制备**：可实现多层膜的叠加，制造复杂结构以满足特定的光学或电气特性。
这些功能使得热蒸发镀膜机在材料科学、电子、光学等领域有着广泛的应用。
束源炉是一种特殊类型的核反应堆，主要用于研究和医学应用。它的特点包括：
1. **中子源**：束源炉能够产生大量的中子，这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**：与传统的核反应堆相比，束源炉通常较小，设计上更为紧凑，适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**：束源炉的运行功率相对较低，一般在几千瓦到几兆瓦之间，适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**：由于功率较低，束源炉的设计通常具有更高的安全性，反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**：除了用于基础科学研究外，束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域，显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**：束源炉一般设计得更加便捷，方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**：由于其低功率的特性，所产生的放射性废物相对较少，处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。
蒸发舟（或称蒸发皿）是一种用于化学实验和工业生产中的器具，主要用于蒸发溶剂和浓缩溶液。蒸发舟蒸发颗粒适用范围一般包括：
1. **化学实验**：用于蒸发液体，浓缩溶液，分离化学物质。
2. **生物实验**：在生物样品处理中，常用于蒸发或浓缩生物样品中的溶剂。
3. **制药工业**：用于制备药物浓缩液，去除溶剂，生产药品原料。
4. **食品工业**：在浓缩果汁、调味品等生产中使用。
5. **材料科学**：用于涂层材料的制备，以及材料的合成过程。
6. **环境监测**：在水质分析中，用于浓缩水样中的污染物。
7. **纳米材料制备**：在纳米颗粒的制备过程中，常用于蒸发溶液形成固态颗粒。
在不同的应用中，根据具体需要选用合适材质和规格的蒸发舟，以确保实验的准确性和安全性。
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