真空腔室Ф246×228mm，304优质不锈钢
分子泵进口Pfeiffer分子泵
前级泵机械泵，北仪优成
真空规全量程真空规，上海玉川
溅射靶Ф2英寸永磁靶2支（含靶挡板）
溅射电源500W直流电源1台，300W射频电源1台
流量计20sccm/50sccm进口WARWICK
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套
限流阀DN63mm一套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
放气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃
膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1Å（选配）
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35法兰一个
备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
样品台通常指的是用于展示或测试物品的台面，广泛应用于实验室、展览、商店等场所。在实验室中，样品台可以用来放置化学试剂或生物样本，以便进行观察和实验。在展览中，样品台用于展示产品，以吸引观众的注意。商店中的样品台则用于展示商品，方便顾客查看和选择。
如果你有更具体的问题或者需要了解样品台的某个方面，请告诉我！
靶材通常是在物理、化学和材料科学等领域中使用的一种材料，主要具有以下功能：
1. **靶向作用**：在粒子物理实验中，靶材可用于吸收入射粒子并产生可观测的反应，如在粒子加速器中用作靶。
2. **材料沉积**：在薄膜沉积技术中，靶材用于将材料蒸发或溅射到基底上，形成薄膜。这在电子器件、光学涂层等应用中重要。
3. **反应介质**：在化学反应中，靶材可以作为反应物，产生相应的化学反应或物理变化。
4. **能量传输**：靶材能够接收入射粒子的能量并将其转化为其他形式的能量，或以其他方式传递能量。
5. **示踪和检测**：在放射性同位素研究中，靶材可以用作示踪剂，帮助检测和分析现象。
总之，靶材在科学研究和工业应用中扮演着重要的角色，其具体功能根据应用场景的不同而有所差异。
桌面型磁控溅射镀膜仪是一种广泛应用于材料科学、电子学、光学等领域的设备，其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：可在基材上沉积薄膜，形成不同厚度和成分的薄膜材料。
2. **材料多样性**：支持多种靶材（如金属、合金、氧化物等），能够制作出不同种类的薄膜。
3. **优良的膜质量**：采用磁控溅射技术，可以有效提高薄膜的均匀性和致密性，提高膜的性能。
4. **可调节参数**：可以调节溅射功率、气体流量、基片温度等参数，以满足不同工艺要求。
5. **大面积镀膜**：由于其设计，可以适用于大面积基片的镀膜需求，在科研和工业生产中具有较高的应用价值。
6. **过程控制**：配备监测系统，可以实时监测膜厚度、气氛等，有助于控制沉积过程。
7. **易于操作**：桌面型的设计使得设备更加紧凑，操作相对简单，适合实验室环境使用。
8. **真空技术**：工作过程中保持真空环境，减少污染，提高沉积质量。
这种设备在半导体器件制造、光学涂层、传感器、太阳能电池等多个领域具有重要应用价值。
小型磁控溅射镀膜机是一种常用于材料表面处理的设备，它的主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：能够在基材表面沉积金属、绝缘体或半导体薄膜，广泛应用于电子、光学和材料科学等领域。
2. **均匀性**：通过磁控溅射技术，能够实现良好的膜厚均匀性和致密性，有助于提高薄膜性能。
3. **可调性**：用户可以根据不同的需求调整沉积参数，如功率、气压和气体成分，以获得的沉积效果。
4. **多种材料选择**：支持多种靶材的使用，能够沉积不同材料的薄膜，如铝、铜、氮化硅等。
5. **快速成膜**：小型磁控溅射镀膜机相对快速，适合小批量实验或研发。
6. **低温沉积**：允许在较低温度下进行沉积，有助于减少基材的热负荷，适合对热敏感材料的处理。
7. **简单操作**：由于其结构紧凑且操作相对简单，适合实验室和小规模生产使用。
这些功能使得小型磁控溅射镀膜机在科研、工业和教学等多个领域中得到广泛应用。
离子溅射仪是一种广泛应用于材料科学、半导体制造和表面分析等领域的设备，其主要特点包括：
1. **高精度**：离子溅射仪能够在原子或分子层级上进行物质的去除和沉积，具有的控制精度，适用于微米和纳米级别的加工。
2. **多功能性**：该仪器可用于薄膜的沉积、表面清洗、材料分析等多种用途，适应性强。
3. **层次控制**：可以实现对材料沉积厚度的控制，可以逐层沉积不同材料，适合制备多层膜结构。
4. **较强的适应性**：离子源与靶材的组合可以根据需要进行调整，使得该仪器可以处理多种不同类型的材料。
5. **真空环境**：离子溅射在真空环境中进行，有助于减少气体分子对沉积过程的干扰，提高沉积质量。
6. **可调节能量**：离子源可以调节离子的能量，从而控制溅射过程中的粒子能量，有利于改善沉积膜的性质。
7. **低温沉积**：相较于传统的热沉积方法，离子溅射在较低温度下即可进行，能够减少热敏感材料的损伤。
8. **表面改性**：通过选择合适的离子种类和能量，可以对材料表面进行改性，如提高表面硬度或改变表面化学性质。
总的来说，离子溅射仪因其高精度、多功能和良好的适应性，在现代材料科学和工程中发挥着重要作用。
样品台是一种用于放置和支撑样品的实验设备，广泛应用于多个领域。以下是样品台的主要适用范围：
1. **生物医学研究**：在显微镜下观察细胞、组织切片和其他生物样品。
2. **材料科学**：用于测试金属、聚合物、陶瓷等材料的物理和化学性质。
3. **化学分析**：在化学实验中放置反应瓶、试剂和其他化学物质。
4. **电子显微镜**：在电子显微镜中支撑和固定样品，以便进行高分辨率观察。
5. **光学显微镜**：在光学显微镜中观察细小结构、颗粒和晶体等。
6. **工业检测**：用于质量控制和检测产品样品，如电子元件、机械零件等。
不同类型的样品台（如移动样品台、平面样品台等）可以根据具体需求进行选择，以满足不同实验或检测的需求。
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