温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
探针座位移平台是一种精密设备，通常用于半导体测试、微电子制造和材料科学等领域。其主要功能是通过高精度的位移控制，确保探针与被测样品之间的正确接触，从而进行电气特性测试或其他类型的非破坏性测试。
这种平台通常具备以下特点：
1. **高精度定位**：能够在微米或亚微米级别进行定位，使得测试结果更加准确。
2. **多维度移动**：一般支持X、Y、Z三个方向的移动，以便对样品进行全面的探测。
3. **自动化功能**：一些现代的探针座平台可能配备自动化控制系统，能够实现自动对焦、自动接触以及数据记录等功能，提高工作效率。
4. **兼容性**：能够与多种类型的探针头和测试设备兼容，以满足不同测试需求。
5. **用户友好的界面**：通常配备图形用户界面（GUI），方便操作人员进行设置和监控测试过程。
探针座位移平台在半导体器件的研发和制造过程中起着关键作用，帮助工程师评估器件的电气性能，进行质量控制和故障分析。
真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备，主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括：
1. **高真空环境**：真空探针台能够在高真空条件下工作，减少气体分子对测试过程
