真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
蒸发舟是一种用于物相沉积（PVD）技术的设备，广泛应用于薄膜材料的制备。在这种过程中，固体材料（如金属或化合物）被加热到高温，使其蒸发，并在真空中沉积到基材表面，从而形成薄膜。
当材料在蒸发舟中加热到其蒸发温度时，会产生颗粒或原子，这些颗粒会随蒸气流动，终在冷却的基材上凝结，形成所需的薄膜。蒸发舟的主要优点是可以在相对低的温度下进行沉积，同时能够获得较高的沉积速率和良好的膜质量。
在蒸发过程中产生的颗粒可以是单原子层、分子或小颗粒，具体取决于蒸发的材料和条件。这些颗粒在沉积过程中会根据其动能和温度条件，形成不同的厚度和结构。
需要注意的是，蒸发的效率和膜的性质与蒸发舟的材料、温度、压力、基材的选择等多种因素密切相关。
小型热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备，广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其主要功能包括：
1. **薄膜沉积**：能够在基材表面沉积金属、氧化物、氮化物等材料，以形成薄膜。
2. **控制膜厚**：通过调节蒸发时间和速率，可以控制薄膜的厚度，满足不同应用的需要。
3. **高真空环境**：通常配备真空系统，能够在高真空条件下进行蒸发，有效减少气体分子对薄膜的影响，提高膜层质量。
4. **多种材料兼容**：支持多种蒸发材料的使用，包括铝、银、金、硅等，适应不同的应用需求。
5. **均匀沉积**：通过合理设计蒸发源的布局，实现薄膜在基材上的均匀沉积。
6. **小型化设计**：体积小、重量轻，适合实验室、小规模生产等场合，便于搬运和操作。
7. **自动化控制**：一些设备配备了计算机控制系统，可以实现自动化操作，提率和重复性。
8. **多种基材兼容**：能够处理不同材料和形状的基材，如玻璃、塑料、陶瓷等。
总之，小型热蒸发镀膜机是一种 versatile 的设备，适用于科学研究和工业应用中的薄膜制备。
桌面型热蒸发镀膜仪是一种常用的薄膜沉积设备，具有以下几个显著特点：
1. **紧凑设计**：桌面型热蒸发镀膜仪通常体积较小，适合在实验室或小型生产环境中使用，便于放置和操作。
2. **蒸发**：利用热源加热蒸发材料，使其蒸发并沉积在基底上，能够实现的薄膜沉积。
3. **材料多样性**：可以使用多种类型的蒸发材料，如金属、氧化物等，适应不同的应用需求。
4. **真空系统**：一般配备有真空泵，能够在相对较低的压力下工作，提高膜层的纯度和均匀性。
5. **易于控制**：搭载有控制系统，能调节蒸发速率和沉积厚度，方便用户根据实验要求进行参数设置。
6. **适应性强**：可用于不同尺寸和形状的基底，如平片、胶卷等，满足不同实验或生产需求。
7. **品质监测**：一些型号可能配备有膜厚监测系统，实时监控沉积过程，确保膜厚的一致性。
8. **维护简单**：相对而言，桌面型热蒸发镀膜仪的维护和操作相对简单，适合研究人员和技术人员使用。
总之，桌面型热蒸发镀膜仪以其灵活性、便捷性和性，在材料科学、光电器件制造及其他相关领域得到了广泛应用。
有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备，主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括：
1. **薄膜沉积**：通过加热有机材料，使其蒸发并沉积在基板表面，形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**：可以控制沉积的膜厚度，以满足应用需求。
3. **大面积涂层**：适用于大尺寸基板的涂层工艺，满足工业生产需求。
4. **高真空环境**：在高真空条件下进行镀膜，减少杂质，提升膜层质量。
5. **材料适应性**：可用于多种有机材料的镀膜，如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**：能够实现多层膜的沉积，适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**：现代设备通常配备的控制系统，可以自动调节参数，提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能，有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。
蒸发舟（或称为蒸发小舟）在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括：
1. **材料蒸发**：蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度，使其转变为气态，通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**：通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜，这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**：蒸发舟可以用于多种材料（如金属、氧化物、聚合物等）的蒸发，适应不同的应用需求。
4. **控制**：通过调整加热功率和蒸发时间，可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**：在真空环境中蒸发，可以减少杂质及氧化反应，得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**：蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能，蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。
束源炉（也称为束流炉或束流反应堆）是一种利用加速器产生的粒子束进行核反应的设备。它主要用于以下几个领域：
1. **基础科学研究**：束源炉可用于粒子物理学和核物理学的基础研究，探索粒子的基本性质和相互作用。
2. **材料科学**：束源炉可以用于开发和测试新材料，尤其是在极端条件下（如高温、高压）下的材料性能。
3. **应用**：束源炉在医学成像、（如质子）等领域具有重要应用。
4. **核废料处理**：束源炉可以用于研究和开发核废料处置和转化技术，降低其长期放射性。
5. **新型能源开发**：在聚变能源研究中，束源炉也被应用于研究高温等离子体的行为，以探索可持续的能源解决方案。
束源炉的适用范围不断拓展，随着技术进步和研究的发展，可能会有新的应用领域出现。
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