吉林磁控溅射镀膜机
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产品描述

真空腔室Ф246×228mm,304优质不锈钢 分子泵进口Pfeiffer分子泵 前级泵机械泵,北仪优成 真空规全量程真空规,上海玉川 溅射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶挡板) 溅射电源500W直流电源1台,300W射频电源1台 流量计20sccm/50sccm进口WARWICK 控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套 冷水机LX-300 前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套 旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套 限流阀DN63mm一套 充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套 放气阀Φ6mm,电磁截止阀1套 基片台Ф100mm,高度:60~120mm可调,旋转:0-20r/min可调,可加热至300℃ 膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头,精度0.1Å(选配) 真空管路波纹管、真空管道等1套 设备机架机电一体化 预留接口CF35法兰一个 备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
磁控溅射(Magnetron Sputtering)是一种薄膜沉积技术,广泛应用于半导体、光电子、光学涂层和传感器等领域。该技术通过以下几个步骤实现材料的沉积:
1. **靶材准备**:磁控溅射系统中通常使用金属、合金或陶瓷作为靶材。
2. **气体引入**:在真空腔内引入惰性气体(如氩气),并将腔体抽真空,以降低气体的分子数量,从而减小气体分子碰撞的影响。
3. **放电与等离子体生成**:通过施加高电压,将靶材和基材之间的气体电离,形成等离子体。等离子体中的气离子会被加速并撞击靶材。
4. **溅射过程**:气离子在靶材表面撞击时,会导致靶材原子脱离表面,并以高能量飞向基材表面,从而在基材上形成薄膜。
5. **薄膜沉积**:脱离靶材的原子在基材上沉积,逐渐形成所需的薄膜结构。
磁控溅射的主要优点包括:能够在较低的温度下进行沉积,适用于多种材料(如金属、陶瓷和复合材料),以及沉积速率快且膜质量高。此外,磁控溅射系统通常配备有磁场,用于增强离子化效率,提高沉积速率和膜质量。
这种技术在光学、电子、装饰等领域拥有广泛的应用,如制造反射镜、抗反射涂层、导电薄膜等。
样品台,通常用于实验室、工业生产和研究等领域,具有以下几个特点:
1. **稳定性**:样品台通常设计得稳定,以确保在进行实验或观察时,样品受到外部震动或干扰的影响。
2. **调整功能**:许多样品台具有高度可调节性,允许用户根据需要调整样品的位置和角度,以便于观察和测量。
3. **易清洁性**:样品台通常采用易于清洗的材料,能够防止样品的污染,同时在使用过程中保持卫生。
4. **多功能性**:某些样品台配备了不同的附件和配件,支持实验需求,例如光学显微镜、测量仪器等。
5. **适应性强**:样品台的设计往往可以根据不同类型的样品(如液体、固体、粉末等)进行调整,以适应不同的实验需求。
6. **材料选用**:样品台通常采用耐腐蚀、耐高温或其他特殊材料,以适应不同实验环境。
7. **标记系统**:许多样品台上会有标记或者刻度,使用户能够定位样品位置。
8. **光学性能**:在光学实验中,样品台可能会考虑透光性和反射性,以确保观测效果的清晰度。
这些特点使得样品台在不同领域的应用中显得尤为重要,能够提高实验的性和效率。
吉林磁控溅射镀膜机
桌面型磁控溅射镀膜仪是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于半导体、光电、光学及材料科学等领域。以下是桌面型磁控溅射镀膜仪的一些主要特点:
1. **紧凑设计**:桌面型设计占用空间小,适合实验室环境,有利于提高实验室的使用效率。
2. **高均匀性**:通过磁场增强溅射过程,提高薄膜的均匀性和致密性,能够在较大面积上达到一致的膜厚。
3. **可控性**:支持控制沉积参数,如气压、溅射功率和沉积时间,便于实现不同材料和膜厚的调节。
4. **多种靶材选择**:支持多种材料的靶材,能够实现金属、氧化物、氮化物等不同类型薄膜的沉积。
5. **低温沉积**:相较于其他镀膜技术,磁控溅射通常可在较低温度下进行,有助于保护基材和改善膜的性能。
6. **清洁环境**:通常配备有真空系统,能够在相对洁净的环境下进行沉积,减少污染。
7. **自动化程度高**:一些型号支持自动化控制和监测,便于实验操作和数据记录,提高了实验效率和重复性。
8. **易于维护**:桌面型设备结构相对简单,便于日常维护和保养,降低了运行成本。
这些特点使得桌面型磁控溅射镀膜仪在科研和工业应用中越来越受到欢迎。
吉林磁控溅射镀膜机
PVD(物相沉积)镀膜机是一种用于在基材表面沉积薄膜的设备。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:通过物相沉积方法,PVD镀膜机可以在基材表面沉积金属、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料,用于改善表面性能。
2. **表面改性**:通过镀膜,可以提高基材的耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性等,延长材料的使用寿命。
3. **功能涂层**:PVD镀膜可以赋予材料特定的功能,例如光学性能(反射、透射)、导电性能、热导性等,适用于电子、光学等行业。
4. **装饰效果**:在一些应用中,PVD镀膜机可用于实现装饰性涂层,提高产品的美观性和附加值。
5. **薄膜**:PVD技术能够在较低的温度下沉积量的薄膜,适合用于一些热敏材料的表面处理。
6. **环境友好**:相比于化学镀膜方法,PVD过程通常不需要使用有毒化学物质,减小了对环境的影响。
7. **可控性强**:PVD镀膜机可以控制膜厚、沉积速率等参数,实现高重复性和一致性的薄膜性能。
总之,PVD镀膜机在现代制造业中发挥着重要作用,广泛应用于电子、光学、汽车、等多个领域。
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离子溅射仪是一种广泛应用于材料科学、半导体制造和表面分析等领域的设备,其主要特点包括:
1. **高精度**:离子溅射仪能够在原子或分子层级上进行物质的去除和沉积,具有的控制精度,适用于微米和纳米级别的加工。
2. **多功能性**:该仪器可用于薄膜的沉积、表面清洗、材料分析等多种用途,适应性强。
3. **层次控制**:可以实现对材料沉积厚度的控制,可以逐层沉积不同材料,适合制备多层膜结构。
4. **较强的适应性**:离子源与靶材的组合可以根据需要进行调整,使得该仪器可以处理多种不同类型的材料。
5. **真空环境**:离子溅射在真空环境中进行,有助于减少气体分子对沉积过程的干扰,提高沉积质量。
6. **可调节能量**:离子源可以调节离子的能量,从而控制溅射过程中的粒子能量,有利于改善沉积膜的性质。
7. **低温沉积**:相较于传统的热沉积方法,离子溅射在较低温度下即可进行,能够减少热敏感材料的损伤。
8. **表面改性**:通过选择合适的离子种类和能量,可以对材料表面进行改性,如提高表面硬度或改变表面化学性质。
总的来说,离子溅射仪因其高精度、多功能和良好的适应性,在现代材料科学和工程中发挥着重要作用。
离子溅射仪是一种广泛应用于材料科学和表面分析的仪器,其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **薄膜制备**:用于沉积金属、氧化物及其他材料的薄膜,广泛应用于电子器件、光电材料等领域。
2. **表面分析**:能够分析材料表面的元素组成和化学状态,适用于材料科学、物理、化学等研究领域。
3. **样品清洗**:可以去除样品表面的污染物和氧化层,提高后续分析的准确性。
4. **材料特性研究**:通过改变离子能量和溅射深度,研究材料的结构、成分及性质。
5. **半导体工业**:在半导体制造过程中,离子溅射用于清洗、蚀刻等步骤,确保良好的表面状态。
6. **光学领域**:在光学器件的制备中,离子溅射用于涂覆光学薄膜,以满足特定的光学性能。
7. **生物材料**:在生物材料的研究中,离子溅射可以用于表面改性,以改善生物相容性和性能。
总之,离子溅射仪是一种多功能的设备,适用于研究与工业应用中。
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