宜昌探针夹具
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产品描述

温度范围零下180~550℃ 变温速度0~10℃/min,升降温线性可控 温度分辨率及稳定性± 0.1℃ 控温方式PID 温度传感器PT100 温度传感器数量2 致冷方式液氮(泵控制) 探针数量4(可增加) 探针材质紫铜镀金 测试通道4 载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准) 冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准) 实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober Chuck)是一种用于半导体测试和研究的设备,主要应用于晶圆探针测试(wafer probing)过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置,以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面:
1. **固定能力**:卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆,防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**:在测试过程中,卡盘可能会发热,因此其材料和设计需具备良好的热导性,以避免影响测试结果。
3. **平面度**:确保卡盘的表面平整,以便与探针对接,减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**:许多卡盘都是设计为与探针台(prober)和测试设备兼容,便于集成使用。
5. **微调功能**:一些的探针台卡盘具备微调功能,可通过机械或电动方式微调晶圆的位置,以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。
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光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。
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探针台卡盘(Probing Station Chuck)在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **样品固定**:探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本,确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**:通过高精度的微调机制,卡盘可以实现样品的定位,以便于探针与样品上的特定点进行接触。
3. **温度控制**:一些的探针台卡盘配备了温度控制功能,可以在不同的温度条件下进行测试,以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**:卡盘通常与探针阵列一起工作,通过探针与样品接触,实现电气信号的传输,允许测试电性能参数。
5. **兼容性**:探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性,可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**:一些探针台卡盘具备气氛控制功能,可以在特定气氛(如氮气或真空环境)中进行测试,以降低氧化和其他环境影响。
总的来说,探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色,它不仅提高了测试的性,还为研究提供了的实验条件。
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微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在极低(如-196°C,液氮温度)到极高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、量子材料和其它高科技领域实验研究中的工具。
探针台卡盘广泛应用于半导体行业,尤其是在集成电路(IC)测试和微电子设备的研发过程中。其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对晶圆或封装好的芯片进行电气测试,验证其性能和功能。
2. **光电器件测量**:适用于光电传感器、激光器等器件的测试,评估其光电性能。
3. **微机电系统(MEMS)**:在MEMS器件的研发与测试中,探针台卡盘能够帮助实现高精度的电气连接和测试。
4. **材料研究**:用于研究新材料的电学性质,评估其在电子器件中的应用潜力。
5. **教育与研发**:在实验室和高等院校中,用于教学和科研活动,帮助学生和研究人员进行基础实验和技术开发。
探针台卡盘的设计通常强调高精度和可调性,以适应不同尺寸和类型的测试样品,确保测试结果的准确性和重复性。
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