内江同轴真空馈通件
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产品描述

温度范围零下180~550℃ 变温速度0~10℃/min,升降温线性可控 温度分辨率及稳定性± 0.1℃ 控温方式PID 温度传感器PT100 温度传感器数量2 致冷方式液氮(泵控制) 探针数量4(可增加) 探针材质紫铜镀金 测试通道4 载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准) 冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准) 实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober Chuck)是一种用于半导体测试和研究的设备,主要应用于晶圆探针测试(wafer probing)过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置,以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面:
1. **固定能力**:卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆,防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**:在测试过程中,卡盘可能会发热,因此其材料和设计需具备良好的热导性,以避免影响测试结果。
3. **平面度**:确保卡盘的表面平整,以便与探针对接,减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**:许多卡盘都是设计为与探针台(prober)和测试设备兼容,便于集成使用。
5. **微调功能**:一些的探针台卡盘具备微调功能,可通过机械或电动方式微调晶圆的位置,以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器,其主要功能包括:
1. **电学测试**:能够对半导体器件进行电性能测试,如IV(电流-电压)特性测试、CV(电容-电压)特性测试等。
2. **高真空环境**:提供高真空或真空环境,减少气体分子对测试结果的干扰,特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**:由于其高精度的定位功能,能够对微小结构进行接触和扫描,适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**:部分真空探针台配备温控系统,可以在低温或高温条件下进行测试,以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**:能够对薄膜、纳米材料等进行表征,分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**:可以与其他仪器(如扫描电子显微镜、原子力显微镜等)联用,进行更深入的材料或器件分析。
总之,真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。
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探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备,常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括:
1. **高精度**:探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制,以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**:许多探针座位移平台设计为多轴系统,能够实现X、Y、Z三个维度的立移动,以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**:平台结构通常经过优化设计,以提供高度的机械稳定性,减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**:现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统,支持自动化操作和数据采集,提高工作效率。
5. **兼容性强**:探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合,提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**:的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令,实现快速定位和测量。
7. **易于操作**:许多平台设有用户友好的界面,使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**:探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数,例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。
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探针台卡盘(Probing Station Chuck)在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **样品固定**:探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本,确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**:通过高精度的微调机制,卡盘可以实现样品的定位,以便于探针与样品上的特定点进行接触。
3. **温度控制**:一些的探针台卡盘配备了温度控制功能,可以在不同的温度条件下进行测试,以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**:卡盘通常与探针阵列一起工作,通过探针与样品接触,实现电气信号的传输,允许测试电性能参数。
5. **兼容性**:探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性,可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**:一些探针台卡盘具备气氛控制功能,可以在特定气氛(如氮气或真空环境)中进行测试,以降低氧化和其他环境影响。
总的来说,探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色,它不仅提高了测试的性,还为研究提供了的实验条件。
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微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。
光学探针台是一种精密测量和表征材料及器件的设备,广泛应用于多个领域。其适用范围主要包括:
1. **半导体行业**:用于测试和表征半导体材料和器件的光学特性,例如光电流、发光特性和光谱响应等。
2. **材料科学**:用于研究材料(如纳米材料、薄膜等)的光学性质,包括反射、折射、吸收和散射等。
3. **生物医学**:用于生物样品的光学成像、荧光检测和细胞分析等,帮助研究细胞行为和生物反应。
4. **光电子学**:用于开发和测试光电子器件(如激光器、光探测器等)的性能,评估它们在不同波长下的响应。
5. **光学学研究**:用于基础光学实验和高精度测量,研究光的传播、干涉、衍射等现象。
6. **照明工程**:用于分析光源的光谱特性和光分布,以优化照明设计。
光学探针台通过其高精度和高稳定性,能够为上述领域的研究和开发提供重要支持。
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