温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
微型高低温真空探针台是一种用于材料科学、半导体研究和纳米技术等领域的精密测试设备。它能够在真空环境中对样品进行高温或低温测试，从而研究材料的电学、热学和光学特性。以下是一些微型高低温真空探针台的主要特点和功能：
1. **温控范围**：能够在极低温（如液氮温度）到高温（如500°C以上）之间进行调节，满足不同研究需求。
2. **真空环境**：通过真空系统，可以有效减少氧化和污染，确保测试过程中样品的纯净性。
3. **微型设计**：按照微型化的设计，可以方便地与实验设备结合，适用于小尺寸样品的测试。
4. **高精度探针**：配有高精度的探针，可以实现对材料的电性、热性等特性的测量。
5. **多功能性**：一些型号可能具备多种功能，包括四探针电阻测量、霍尔效应测试等。
6. **数据采集与分析**：通常配备相关软件，可以实现数据的实时采集与分析，便于科研人员进行后续研究。
微型高低温真空探针台在半导体器件、超导材料、热电材料等领域有着广泛应用，是科研和实验室的工具。
探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备，主要功能包括：
1. **定位**：能够地移动探针到*的测试点，确保测量的准确性。
2. **多轴控制**：通常具有多个自由度（如X、Y、Z轴），可以在三维空间中灵活移动，以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**：支持自动化操作，提高测试效率，减少人为误差。
4. **扫描功能**：可以进行扫描操作，逐点测量，以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**：可与测试仪器（如示波器、LCR表等）连接，进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**：记录测试过程中的数据，并可进行后续分析，以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**：可根据不同的测试需求和样品特性，调整探针的位置和压力，以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备，主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括：
1. **高真空环境**：真空探针台能够在高真空条件下工作，减少气体分子对测试过程的干扰，提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**：该设备通常配备高精度的定位系统，可以对准探针与样品的接触点，确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**：真空探针台支持多种类型的探针，可根据不同的实验需求进行更换，适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**：许多真空探针台配备了温度控制系统，能够在特定温度下进行测量，对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**：在真空条件下，探针台能够进行更高灵敏度的电气测量，适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**：真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用，如网络分析仪、示波器等，满足多种测试需求。
7. **自动化程度**：现代真空探针台往往具备自动化控制系统，能够实现自动对焦、扫描和数据采集，提高实验效率。
8. **适用范围广泛**：真空探针台不仅可用于半导体行业，还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言，真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具，其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。
高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备，能够在极端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括：
1. **温度控制**：能够在广泛的温度范围内（通常从低于零度到几百度摄氏）控制样品的温度，便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**：提供低压真空环境，以减少气体分子对测量结果的影响，尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**：可以连接测试仪器（如示波器、源测量单元等）进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**：可以灵活配置探针的数量和类型，以适应不同的实验需求，如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**：支持多种类型的样品放置方式，如晶圆、薄膜、纳米结构等，以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**：配合相关软件，可以进行实时数据采集和后续分析，帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中，尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。
探针台（Probe Station）是一种用于半导体和微电子测试的设备，主要用于在实验室环境中对芯片或材料进行电学性能测试。它的主要功能包括：
1. **电气测试**：探针台配备有探针，可以直接接触到芯片上的电气接点，进行电性能测试，比如电流、电压、阻抗等。
2. **温度控制**：许多探针台具有温度控制功能，可以在高温或低温下进行测试，以评估材料或器件在不同温度下的特性。
3. **真空环境**：某些探针台可以在真空环境下操作，以减少空气对测试结果的影响，尤其是在某些敏感实验中。
4. **图像捕捉与分析**：探针台通常配备有显微镜，可以对芯片进行观察，帮助技术人员准确定位探针和分析测试结果。
5. **自动化测试**：一些探针台能够与计算机系统配合，实现自动化操作和数据采集，提高测试效率和准确性。
6. **多功能扩展**：探针台可以与其他设备（如信号发生器、示波器等）联动，进行更复杂的电气测试和分析。
探针台广泛应用于半导体制造、材料科学、电子工程等领域，是研究和开发新型电子元件的重要工具。
探针夹具主要用于电子元件测试和测量，其适用范围包括：
1. **半导体测试**：用于芯片、集成电路(IC)等电子元器件的电气特性测试。
2. **电路板测试**：适用于PCB(印刷电路板)的测试，能够帮助检测PCB上的连接和功能。
3. **研发和实验**：在电子产品的研发阶段，探针夹具可以用于快速原型测试和实验验证。
4. **质量控制**：在生产过程中，探针夹具可用于自动化测试以确保产品质量。
5. **维修与故障排查**：在维修过程中，探针夹具可以用来快速测试疑似故障的元器件。
探针夹具的灵活性和性使其成为电子行业广泛使用的重要工具。
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