真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其基本原理是通过加热材料,使其蒸发成气态,然后在基底表面凝结形成薄膜。热蒸发镀膜机通常由以下几个主要部分组成:
1. **真空腔体**:提供低压环境,以减少气体分子对蒸发材料和沉积薄膜的干扰。
2. **加热源**:通常使用电阻加热丝或电子束加热来加热蒸发材料,达到其蒸发温度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的容器,可以是铸坯、靶材等。
4. **基底夹持系统**:用于固定和加热待涂覆的基底,一般位于蒸发源的上方。
5. **监控系统**:用于监测沉积速度和膜厚,常用的技术有石英晶体振荡器或光学膜厚测量。
6. **冷却系统**:在一些情况下,可能需要冷却基底以改善膜的品质。
热蒸发镀膜机的优点包括沉积速度快、膜层均匀、膜的纯度高等,但也有局限性,如膜的附着力和应力问题。
在选购和使用热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求,例如膜材料、沉积速率、膜厚度及基底材料等制定相应的方案。
钙钛矿镀膜机是一种用于制备钙钛矿材料的设备,广泛应用于光电材料的研究和产业化。以下是钙钛矿镀膜机的一些主要特点:
1. **高精度控制**:钙钛矿镀膜机通常配备高精度的温度、气体流量和压力控制系统,能够实现对膜厚度和质量的控制。
2. **多种成膜技术**:设备可能支持多种成膜技术,如溶液法、真空蒸发、磁控溅射、化学气相沉积(CVD)等,以满足不同材料和应用的需求。
3. **均匀性好**:钙钛矿镀膜机通过优化基板旋转、气体流动等参数,能够实现高均匀性的薄膜沉积,提高材料性能。
4. **适应性强**:可适用于不同类型的基材,包括玻璃、硅片、塑料等,提供更大的设计灵活性。
5. **快速换膜**:许多钙钛矿镀膜机设计有快速换膜功能,方便进行不同材料的快速切换,提高生产效率。
6. **环境友好**:新型钙钛矿镀膜机在材料使用和废气处理方面越来越注重环保,减少对环境的影响。
7. **便于规模化生产**:具备一定自动化程度的设备可以支持大规模生产,满足工业化需求。
8. **实时监控与数据记录**:设备通常配备实时监控系统,可以记录沉积过程中的各项数据,便于后续分析和优化。
这些特点使得钙钛矿镀膜机在光伏、发光二极管(LED)、激光器等领域具有广泛的应用前景。

蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备,特别是在物相沉积(PVD)技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态,以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **均匀性**:蒸发过程中,颗粒的蒸发速率较为均匀,能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**:通过调节加热温度和加热时间,可以控制蒸发速率,从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**:蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发,如金属、氧化物和高分子材料等,适应性较强。
4. **颗粒尺寸**:蒸发颗粒的尺寸通常较小,有助于加快蒸发速度,提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**:蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度,以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**:蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性,以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**:蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行,以避免反应杂质的影响,确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。

电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备,主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括:
1. **能**:电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上,适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**:该设备通常配备精密的电流和温度控制系统,可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率,从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**:电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料,包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**:为了提高沉积质量,电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行,减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**:相较于其他蒸镀技术,电阻蒸镀机的操作相对简单,易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**:通过控制同时蒸发不同材料,电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积,适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****:相较于其他一些物相沉积技术,电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**:电阻蒸镀过程中产生的废物较少,对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。

蒸发舟(或称为蒸发小舟)在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度,使其转变为气态,通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**:通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜,这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**:蒸发舟可以用于多种材料(如金属、氧化物、聚合物等)的蒸发,适应不同的应用需求。
4. **控制**:通过调整加热功率和蒸发时间,可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**:在真空环境中蒸发,可以减少杂质及氧化反应,得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**:蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能,蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备,适用于多种领域和材料。其适用范围主要包括:
1. **光学器件**:用于生产光学薄膜,如抗反射膜、镀膜镜头等。
2. **电子元件**:在半导体、光电子、太阳能电池等领域沉积金属和绝缘层。
3. **装饰性涂层**:用于金属、玻璃、塑料等表面的装饰镀膜,以提升美观和耐腐蚀性。
4. **传感器**:在传感器制造过程中用于沉积薄膜,以实现特定的电学、光学或化学特性。
5. **硬质涂层**:用于工具、模具等表面的硬化处理,提高耐磨性和使用寿命。
6. **器械**:在某些器械中应用特殊薄膜以增强生物相容性或防污染。
7. **照明设备**:用于LED、激光器等照明设备中的薄膜沉积。
总之,热蒸发镀膜机因其操作简单、沉积速度快以及适应不同材料的能力,成为许多行业中的制造设备。
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