温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
探针台（Probe Station）是一种用于半导体行业的设备，主要用于集成电路（IC）和其他电子器件的电气测试和分析。它能够将微小的探针与芯片上的接触点进行对接，从而测量电流、电压和其他电气特性。
探针台的主要功能和特点包括：
1. **高精度定位**：探针台通常配备高精度的定位系统，能够对准芯片上的测试点。
2. **温度控制**：一些探针台具备温度控制功能，可以在不同的温度条件下进行测试，以模拟实际工作环境。
3. **多探针测试**：许多探针台可以支持多根探针同时使用，以提高测试效率和准确性。
4. **真空环境**：部分探针台还可以在真空环境下进行测试，以减少外界环境对测试结果的影响。
5. **软件集成**：现代探针台通常与测试软件连接，便于数据采集、分析和结果展示。
探针台广泛应用于半导体研发、可靠性测试、故障分析等领域，是芯片设计验证和性能评估的重要工具。
光学探针台是一种高精度的实验设备，主要用于表征材料的光学性能和研究微观结构。以下是光学探针台的主要特点：
1. **高精度定位**：光学探针台通常具备高精度的运动系统，能够在微米或纳米级别上进行样品定位，以确保实验结果的准确性。
2. **多功能性**：很多光学探针台可以支持多种测量方法，如反射、透射、荧光及拉曼光谱等，适用于不同的研究需求。
3. **环境控制**：有些光学探针台配备有温度、湿度、气氛等环境控制系统，能够在特定条件下进行实验，适应不同材料的测试要求。
4. **光学元件的集成**：探针台通常集成有高性能的光学元件，如透镜、滤光片和光源等，以提高光学测量的灵敏度和信噪比。
5. **图像采集与分析**：许多光学探针台具有图像采集功能，可以实时观察样品表面、形貌及其他特征，并与测量数据结合进行分析。
6. **模块化设计**：一些探针台是模块化的，可以根据实验需要进行升级和扩展，适应不同的研究需求。
7. **用户友好的操作界面**：现代的光学探针台通常配备友好的软件界面，使得用户可以轻松设置实验参数，进行数据采集和分析。
8. **适用性广**：广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域，在基础研究和工业应用中都具有重要价值。
光学探针台因其高度和多功能性，被广泛用于科研与工业领域的光学测量与分析任务。
探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备，常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括：
1. **高精度**：探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制，以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**：许多探针座位移平台设计为多轴系统，能够实现X、Y、Z三个维度的立移动，以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**：平台结构通常经过优化设计，以提供高度的机械稳定性，减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**：现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统，支持自动化操作和数据采集，提高工作效率。
5. **兼容性强**：探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合，提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**：的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令，实现快速定位和测量。
7. **易于操作**：许多平台设有用户友好的界面，使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**：探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数，例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。
探针台卡盘（probe station chuck）是用于半导体测试和材料研究的重要设备，其特点包括：
1. **高精度**：探针台卡盘通常具有高精度的定位能
