温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针座位移平台是一种精密设备,通常用于半导体测试、微电子制造和材料科学等领域。其主要功能是通过高精度的位移控制,确保探针与被测样品之间的正确接触,从而进行电气特性测试或其他类型的非破坏性测试。
这种平台通常具备以下特点:
1. **高精度定位**:能够在微米或亚微米级别进行定位,使得测试结果更加准确。
2. **多维度移动**:一般支持X、Y、Z三个方向的移动,以便对样品进行全面的探测。
3. **自动化功能**:一些现代的探针座平台可能配备自动化控制系统,能够实现自动对焦、自动接触以及数据记录等功能,提高工作效率。
4. **兼容性**:能够与多种类型的探针头和测试设备兼容,以满足不同测试需求。
5. **用户友好的界面**:通常配备图形用户界面(GUI),方便操作人员进行设置和监控测试过程。
探针座位移平台在半导体器件的研发和制造过程中起着关键作用,帮助工程师评估器件的电气性能,进行质量控制和故障分析。
真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器,其主要功能包括:
1. **电学测试**:能够对半导体器件进行电性能测试,如IV(电流-电压)特性测试、CV(电容-电压)特性测试等。
2. **高真空环境**:提供高真空或真空环境,减少气体分子对测试结果的干扰,特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**:由于其高精度的定位功能,能够对微小结构进行接触和扫描,适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**:部分真空探针台配备温控系统,可以在低温或高温条件下进行测试,以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**:能够对薄膜、纳米材料等进行表征,分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**:可以与其他仪器(如扫描电子显微镜、原子力显微镜等)联用,进行更深入的材料或器件分析。
总之,真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。

真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。

同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件,主要的功能包括:
1. **信号传输**:用于在真空环境中传输或微波信号,确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**:通过密封设计,能够在真空环境下工作,避免外界环境对设备的影响,保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**:设计优化以减少信号在传输过程中的损耗,确保信号的质量。
4. **相位稳定性**:在不同温度和真空条件下,保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**:可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容,适应多种不同的应用场合。
6. **性能**:能在率下正常工作,通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域,能够满足信号在特殊环境下的传输需求。

探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备,主要功能包括:
1. **定位**:能够地移动探针到*的测试点,确保测量的准确性。
2. **多轴控制**:通常具有多个自由度(如X、Y、Z轴),可以在三维空间中灵活移动,以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**:支持自动化操作,提高测试效率,减少人为误差。
4. **扫描功能**:可以进行扫描操作,逐点测量,以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**:可与测试仪器(如示波器、LCR表等)连接,进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**:记录测试过程中的数据,并可进行后续分析,以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**:可根据不同的测试需求和样品特性,调整探针的位置和压力,以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。
探针台是一种广泛应用于微电子、半导体和材料科学等领域的测试设备。其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **半导体测试**:探针台用于对半导体器件进行电性能测试,如晶体管、二极管、集成电路等。
2. **材料分析**:可以用于测试和分析材料的电学、热学和光学特性,特别是在材料研发阶段。
3. **微纳米技术**:探针台在微纳米器件的制造和测试中扮演着重要角色,用于研究和开发微机电系统(MEMS)和纳米技术相关产品。
4. **研发与生产测试**:在产品研发阶段和生产线上,探针台可以快速地对产品进行测试和验证,确保其性能指标符合设计要求。
5. **故障分析**:在电路故障分析中,通过探针台可以定位问题部件,进行电气测试和故障排查。
6. **教学与科研**:在高校和研究机构,探针台常用于实验教学和科研项目,为学生和研究人员提供实践机会。
总之,探针台是一个多功能、高精度的测试平台,适用于多个领域的研究与应用。
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