温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台(Probing Station)是一种用于半导体测试和测量的设备,主要用于对集成电路(IC)进行电气测试。它允许工程师在开发和生产过程中评估电路的性能,确定是否满足设计规格。探针台通常配备高度的探针,可以在微小的封装上进行接触,以测量电流、电压和其他电气特性。
探针台的主要特点包括:
1. **高精度定位**:能够定位到纳米级别,以确保探针能准确接触到芯片上的测试点。
2. **可调操作温度**:有些探针台设计可以在不同的温度条件下进行测试,以模拟不同的工作环境。
3. **自动化与手动操作**:现代探针台通常集成了自动化系统,能够提高测试效率,减少人为错误。
4. **多探针设计**:可以同时使用多个探针进行测试,从而加快测试速度并提高测试覆盖率。
探针台广泛应用于半导体行业的研发、生产测试以及质量控制等环节。
高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在极端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

同轴真空馈通件是一种用于电子设备的连接器,主要用于在真空环境中传输信号。其特点包括:
1. **优良的信号传输性能**:同轴结构能够有效地减少信号的损耗和反射,保证信号的质量。
2. **良好的屏蔽性能**:同轴设计可提供较好的电磁干扰屏蔽,防止外部干扰信号影响传输质量。
3. **耐高真空特性**:专门设计用于在真空环境中工作,不易受到气体和水分的影响,适用于真空设备,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能够承受较高的功率水平,适合用于高功率射频应用。
5. **机械稳定性**:结构坚固,能够经受一定的机械应力和温度变化。
6. **便于安装和维护**:设计通常考虑到易于安装和维护,便于与其他设备连接。
7. **多种接口类型**:可根据需要提供不同类型的连接器接口,以适应应用场景。
以上这些特点使得同轴真空馈通件在通信、射频设备及实验物理等领域具有广泛的应用前景。

探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备,常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括:
1. **高精度**:探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制,以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**:许多探针座位移平台设计为多轴系统,能够实现X、Y、Z三个维度的立移动,以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**:平台结构通常经过优化设计,以提供高度的机械稳定性,减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**:现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统,支持自动化操作和数据采集,提高工作效率。
5. **兼容性强**:探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合,提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**:的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令,实现快速定位和测量。
7. **易于操作**:许多平台设有用户友好的界面,使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**:探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数,例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。
真空探针台是一种用于半导体、微电子和纳米技术等领域的高精度测试设备,适用于以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对集成电路(IC)、功率器件、传感器等半导体器件进行电性能测试,包括IV曲线测量、CV特性测试等。
2. **材料科学**:用于研究和测试薄膜材料、纳米材料等在不同环境下的电学特性。
3. **微机电系统(MEMS)**:对MEMS器件进行电气测试和性能评估,尤其是在真空环境下进行的测试。
4. **封装测试**:用于对芯片封装后进行的性能测试,确保封装过程影响芯片性能。
5. **研发和实验室应用**:研究机构和高校可以利用真空探针台进行实验室研究,进行新材料和器件的开发。
6. **测试**:一些应用中,真空环境可以减少信号衰减和噪声,适合微波器件和电路的测试。
真空探针台能够提供稳定的测试环境和高精度的测量,有助于研究人员和工程师获取准确的数据和结果。
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