温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
微型高低温真空探针台是一种用于材料研究和半导体器件测试的精密设备。它能够在真空环境中提供高温和低温的测试条件,使研究人员能够评估材料和器件在不同温度下的性能。
主要特点包括:
1. **温度范围广**:能够实现从低于室温到高温的调节,通常可以在-196°C到500°C的范围内工作。
2. **真空环境**:通过真空腔体,实现高真空条件,有助于消除氧化和污染,对材料性能影响的研究重要。
3. **高精度探针**:配备高精度的探针系统,用于电学测量、材料表征等。
4. **微型设计**:相较于传统探针台,微型设计使得设备体积更小,更便于实验室使用和搬运。
5. **多功能性**:可以配合多种测试设备使用,如示波器、频谱分析仪等,适应不同的实验需求。
微型高低温真空探针台在材料科学、纳米技术、电子学等领域具有广泛的应用,是研究新材料和器件性能的重要工具。
探针台(Probe Station)是一种用于半导体和微电子测试的设备,主要用于在实验室环境中对芯片或材料进行电学性能测试。它的主要功能包括:
1. **电气测试**:探针台配备有探针,可以直接接触到芯片上的电气接点,进行电性能测试,比如电流、电压、阻抗等。
2. **温度控制**:许多探针台具有温度控制功能,可以在高温或低温下进行测试,以评估材料或器件在不同温度下的特性。
3. **真空环境**:某些探针台可以在真空环境下操作,以减少空气对测试结果的影响,尤其是在某些敏感实验中。
4. **图像捕捉与分析**:探针台通常配备有显微镜,可以对芯片进行观察,帮助技术人员准确定位探针和分析测试结果。
5. **自动化测试**:一些探针台能够与计算机系统配合,实现自动化操作和数据采集,提高测试效率和准确性。
6. **多功能扩展**:探针台可以与其他设备(如信号发生器、示波器等)联动,进行更复杂的电气测试和分析。
探针台广泛应用于半导体制造、材料科学、电子工程等领域,是研究和开发新型电子元件的重要工具。

微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在极端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。
探针台卡盘广泛应用于半导体行业,尤其是在集成电路(IC)测试和微电子设备的研发过程中。其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对晶圆或封装好的芯片进行电气测试,验证其性能和功能。
2. **光电器件测量**:适用于光电传感器、激光器等器件的测试,评估其光电性能。
3. **微机电系统(MEMS)**:在MEMS器件的研发与测试中,探针台卡盘能够帮助实现高精度的电气连接和测试。
4. **材料研究**:用于研究新材料的电学性质,评估其在电子器件中的应用潜力。
5. **教育与研发**:在实验室和高等院校中,用于教学和科研活动,帮助学生和研究人员进行基础实验和技术开发。
探针台卡盘的设计通常强调高精度和可调性,以适应不同尺寸和类型的测试样品,确保测试结果的准确性和重复性。
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