温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
同轴真空馈通件是一种重要的电子元件,常用于微波和射频(RF)系统中。它的主要作用是将信号从一个传输线(如同轴电缆)传递到另一系统,同时保持良好的电气隔离并防止真空环境中的电气泄漏。
同轴真空馈通件的设计通常包括以下几个关键要素:
1. **结构**:通常由内导体、外导体和绝缘体构成。在真空环境中工作时,外导体需要具有良好的导电性,而绝缘体则需要能够承受真空环境和高电压。
2. **频率特性**:不同的设计会针对不同的工作频率进行优化,以确保在所需频率范围内具有低的插入损耗和反射损耗。
3. **密封性能**:由于在真空环境中工作,馈通件需要有良好的密封性能,以防止空气渗入并引起导电性变化或其他不良影响。
4. **材料选择**:材质通常选用具有良好导电性的金属材料(如铜或铝)和适合高真空环境的绝缘材料(如陶瓷或特定的塑料)。
同轴真空馈通件广泛应用于粒子加速器、真空腔、射频腔及其他实验和工业设备中。在实际应用中,设计和制造这样的馈通件需要考虑到工作环境的特殊要求,以确保其长期稳定的性能。
微型高低温真空探针台是一种重要的实验设备,广泛应用于半导体物理、材料科学和纳米技术等领域。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在极低(如-196°C,液氮温度)到极高(如500°C或更高)温度范围内控制样品的温度。这对于研究材料在不同温度下的性能和行为至关重要。
2. **真空环境**:探针台可以在真空或低气压环境中工作,以减少氧化、污染和其他外部因素对实验结果的影响。这对于敏感材料或纳米结构的测试尤为重要。
3. **电学测试**:探针台通常配备高精度的探针,可以用于对样品进行电性测试,如电导率、霍尔效应等。这些测量可以帮助研究材料的电学特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的电性和热性特性,获取关于材料结构和性能的重要信息。
5. **自动化和集成**:现代探针台常配备有自动化系统,可以实现高通量测试,提高实验效率。此外,它们往往可以与其他表征技术(如AFM、SEM等)集成使用,以获得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低温真空探针台提供多种功能,可以进行不同类型的测量(如电学、热学、光学等),满足科研人员的多样化需求。
这种设备的综合功能使其成为微电子器件、量子材料和其它高科技领域实验研究中的工具。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的精密设备,其特点包括:
1. **温度范围广**:能够在极低温(例如液氮温度)到高温(例如700℃以上)之间进行测试,适用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空环境**:提供高真空或真空环境,减少氧化和污染,提高测试数据的准确性和重复性。
3. **高精度探针**:配备高精度的探针,可以对微小区域进行测量,适用于微电子器件和纳米材料的测试。
4. **自动化设置**:许多高低温真空探针台配备自动化控制系统,可以实现温度和压力的准确控制,提高测试效率。
5. **多功能性**:支持多种测试方法,如电学测试、热学测试、光学测试等,适用于不同类型的材料和器件。
6. **良好的热管理**:采用的热传导和绝热技术,确保在高低温环境中设备的稳定性和测试的可靠性。
7. **数据采集系统**:配备的数据采集和分析系统,能够实时监控和记录测试数据,方便后续分析。
8. **模组化设计**:很多探针台采用模组化设计,用户可以根据需要更换不同的探针或附件,提高设备的灵活性。
这些特点使得高低温真空探针台在材料科学、半导体研发及微电子器件测试等领域中被广泛应用。

光学探针台是一种用于微观尺度上测量和分析样品的仪器,主要应用于材料科学、半导体研究、纳米技术和生物医学等领域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光学探针台配备高精度的运动系统,可以将探针或光学装置在样品表面上进行微米级甚至纳米级的定位,以实现准确的测量和操作。
2. **光学成像**:利用高分辨率的成像系统,可以对样品进行实时观察,提供样品表面的详细信息,帮助研究人员分析结构和特性。
3. **探针测量**:光学探针台通常配有不同类型的探针,可以进行电学、热学、力学等性质的测量,例如扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜(AFM)等。
4. **环境控制**:许多光学探针台可以在控制的环境条件下进行实验(如温度、湿度、气氛等),以观察样品在不同条件下的表现。
5. **数据采集和分析**:通过集成的软件系统,光学探针台可以实时采集数据并进行分析,为研究人员提供有价值的信息。
6. **样品操作**:某些光学探针台还具备对样品进行处理和操作的能力,如刻蚀、沉积等,为材料制备提供。
7. **多功能集成**:现代光学探针台还可以与其他技术结合,如激光光谱、电子显微镜等,以实现更全面的分析与表征。
光学探针台因其和多功能性,成为研究和开发中的重要工具。

真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。
光学探针台是一种精密测量和表征材料及器件的设备,广泛应用于多个领域。其适用范围主要包括:
1. **半导体行业**:用于测试和表征半导体材料和器件的光学特性,例如光电流、发光特性和光谱响应等。
2. **材料科学**:用于研究材料(如纳米材料、薄膜等)的光学性质,包括反射、折射、吸收和散射等。
3. **生物医学**:用于生物样品的光学成像、荧光检测和细胞分析等,帮助研究细胞行为和生物反应。
4. **光电子学**:用于开发和测试光电子器件(如激光器、光探测器等)的性能,评估它们在不同波长下的响应。
5. **光学学研究**:用于基础光学实验和高精度测量,研究光的传播、干涉、衍射等现象。
6. **照明工程**:用于分析光源的光谱特性和光分布,以优化照明设计。
光学探针台通过其高精度和高稳定性,能够为上述领域的研究和开发提供重要支持。
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