温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台(Probing Station)是一种用于半导体测试和测量的设备,主要用于对集成电路(IC)进行电气测试。它允许工程师在开发和生产过程中评估电路的性能,确定是否满足设计规格。探针台通常配备高度的探针,可以在微小的封装上进行接触,以测量电流、电压和其他电气特性。
探针台的主要特点包括:
1. **高精度定位**:能够定位到纳米级别,以确保探针能准确接触到芯片上的测试点。
2. **可调操作温度**:有些探针台设计可以在不同的温度条件下进行测试,以模拟不同的工作环境。
3. **自动化与手动操作**:现代探针台通常集成了自动化系统,能够提高测试效率,减少人为错误。
4. **多探针设计**:可以同时使用多个探针进行测试,从而加快测试速度并提高测试覆盖率。
探针台广泛应用于半导体行业的研发、生产测试以及质量控制等环节。
探针夹具是一种用于电子测量和测试的工具,广泛应用于半导体行业、电子元件测试和电路板维修等领域。它的主要特点包括:
1. **性**:探针夹具能够以极高的精度对接触点施加压力,以确保可靠的电气接触,从而提高测试数据的准确性。
2. **多功能性**:不同类型的探针夹具可以适配测试需求,包括不同类型的探针和接触方式,满足不同的测试标准。
3. **可靠性**:的设计和材料选择使得探针夹具在多次使用中保持稳定的性能,降低故障率,提高测试的可靠性。
4. **灵活性**:探针夹具通常具有可调节的结构,可以适应不同尺寸和形状的被测物体,增强了使用的灵活性。
5. **易于操作**:设计时考虑到人机工程学,使得操作者能够方便地进行装配、调节和操作,减少了使用时的复杂性。
6. **兼容性**:探针夹具可以与多种测试设备(如示波器、万用表等)兼容使用,提升测试系统的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工艺确保了探针夹具的耐用性,在率使用的环境下仍能保持良好的性能。
8. **热稳定性**:一些探针夹具设计考虑到了热膨胀的影响,保证在温度变化下仍能提供稳定的测试性能。
总之,探针夹具在电子测试和测量中扮演着重要角色,通过其优良的设计和性能特征,能够显著提高测试效率和可靠性。

真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器,其主要功能包括:
1. **电学测试**:能够对半导体器件进行电性能测试,如IV(电流-电压)特性测试、CV(电容-电压)特性测试等。
2. **高真空环境**:提供高真空或真空环境,减少气体分子对测试结果的干扰,特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**:由于其高精度的定位功能,能够对微小结构进行接触和扫描,适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**:部分真空探针台配备温控系统,可以在低温或高温条件下进行测试,以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**:能够对薄膜、纳米材料等进行表征,分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**:可以与其他仪器(如扫描电子显微镜、原子力显微镜等)联用,进行更深入的材料或器件分析。
总之,真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。

探针座位移平台是一种用于电子测试和测量的设备,主要功能包括:
1. **定位**:能够地移动探针到*的测试点,确保测量的准确性。
2. **多轴控制**:通常具有多个自由度(如X、Y、Z轴),可以在三维空间中灵活移动,以适应不同尺寸和布局的测试样品。
3. **自动化测试**:支持自动化操作,提高测试效率,减少人为误差。
4. **扫描功能**:可以进行扫描操作,逐点测量,以获取样品的电性能数据。
5. **与测试仪器集成**:可与测试仪器(如示波器、LCR表等)连接,进行综合测试与数据分析。
6. **数据记录与分析**:记录测试过程中的数据,并可进行后续分析,以便于评估样品性能。
7. **灵活适应性**:可根据不同的测试需求和样品特性,调整探针的位置和压力,以确保接触。
探针座位移平台在半导体、微电子、材料科学等领域的测试和研究中具有重要的应用价值。

探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备,常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括:
1. **高精度**:探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制,以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**:许多探针座位移平台设计为多轴系统,能够实现X、Y、Z三个维度的立移动,以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**:平台结构通常经过优化设计,以提供高度的机械稳定性,减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**:现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统,支持自动化操作和数据采集,提高工作效率。
5. **兼容性强**:探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合,提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**:的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令,实现快速定位和测量。
7. **易于操作**:许多平台设有用户友好的界面,使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**:探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数,例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。
微型高低温真空探针台主要用于材料科学、半导体器件、纳米技术等领域的研究和测试,其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体器件测试**:用于测量半导体材料和器件在高低温环境下的电学性质。
2. **材料分析**:能够分析不同材料在极端温度和真空条件下的性能变化,例如导电性、热导性等。
3. **纳米材料研究**:用于研究纳米材料在不同温度和环境下的行为,适合纳米电子学研究。
4. **物理和化学实验**:在物理和化学实验中,对样品进行高低温和真空下的测试和观察。
5. **生物材料测试**:能够测试生物材料在极端环境下的稳定性和性能变化。
6. **仪器研发**:在新型仪器和设备研发过程中,对材料的性能进行高低温测试。
综上所述,微型高低温真空探针台是一种多功能的实验设备,适用于多种研究领域,特别是在要求控制温度和气氛条件的实验中显得尤为重要。
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