温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober chuck)是半导体测试和测量设备中常用的一种组件,主要用于在测试过程中夹持和定位待测芯片或晶圆。探针台通常用于集成电路(IC)的电性能测试,其主要功能包括:
1. **夹持**:确保芯片在测试时稳定不动,避免因震动或移动导致测量误差。
2. **热管理**:某些探针台卡盘设计中考虑了热管理功能,可以有效散热,以保证测试过程中芯片性能的一致性和准确性。
3. **高精度定位**:支持微米级别的高精度定位,以便探针能够接触到芯片上的测试点。
4. **多功能性**:一些的探针台卡盘可以支持多种测试模式,包括直流测试、交流测试、测试等。
5. **集成化设计**:现代探针台卡盘往往与其他测试设备,如信号发生器、示波器等,进行集成,以提高测试效率。
在选择探针台卡盘时,需要考虑待测器件的类型、尺寸,所需的测试精度以及其他特定要求。
高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的设备,能够在极端温度和真空环境下进行电气特性测量。其主要功能包括:
1. **温度控制**:能够在广泛的温度范围内(通常从低于零度到几百度摄氏)控制样品的温度,便于研究材料在不同温度下的性能变化。
2. **真空环境**:提供低压真空环境,以减少气体分子对测量结果的影响,尤其是在材料表面或界面反应的研究中。
3. **电气测试**:可以连接测试仪器(如示波器、源测量单元等)进行电流、电压等电学特性的测量。
4. **多种探针配置**:可以灵活配置探针的数量和类型,以适应不同的实验需求,如单点探测或多点测量。
5. **样品放置**:支持多种类型的样品放置方式,如晶圆、薄膜、纳米结构等,以开展多样化的实验。
6. **数据采集与分析**:配合相关软件,可以进行实时数据采集和后续分析,帮助科研人员深入理解材料性能。
高低温真空探针台广泛应用于半导体、物理、材料科学等领域的研究和开发中,尤其是在新材料的开发和半导体器件的性能测试方面具有重要意义。

同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件,主要的功能包括:
1. **信号传输**:用于在真空环境中传输或微波信号,确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**:通过密封设计,能够在真空环境下工作,避免外界环境对设备的影响,保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**:设计优化以减少信号在传输过程中的损耗,确保信号的质量。
4. **相位稳定性**:在不同温度和真空条件下,保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**:可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容,适应多种不同的应用场合。
6. **性能**:能在率下正常工作,通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域,能够满足信号在特殊环境下的传输需求。

探针台卡盘(probe station chuck)是用于半导体测试和材料研究的重要设备,其特点包括:
1. **高精度**:探针台卡盘通常具有高精度的定位能力,能够确保探针与测试样品之间的对接,从而提高测试的准确性。
2. **温控能力**:许多探针台卡盘配备有温度控制系统,可以在升温或降温的情况下进行测试,帮助研究人员观察材料在不同温度下的性能变化。
3. **真空功能**:某些探针台卡盘具有真空夹紧功能,可以确保样品在测试过程中固定稳定,减少外部干扰。
4. **兼容性强**:探针台卡盘通常设计为兼容多种类型的测试探针和测试仪器,方便用户进行不同类型的实验。
5. **灵活性**:探针台卡盘可以适应不同尺寸和形状的样品,提供多种夹持方式,以满足不同测试需求。
6. **性能**:针对信号测试的需求,一些探针台卡盘具备良好的性能,能够有效降低信号衰减和反射。
7. **用户友好的操作界面**:现代探针台常配备直观的控制系统,便于用户对设备进行调整和设置。
8. **耐用性**:探针台卡盘通常采用量材料制造,以确保设备的耐久性和稳定性,在复杂环境下也能长期使用。
综合以上特点,探针台卡盘在半导体测试、材料研究等领域中扮演着关键角色,极大地推动了相关技术的发展。

探针台(Probe Station)是一种用于测试和分析微电子器件(如集成电路、传感器等)的设备。其主要特点包括:
1. **高精度定位**:探针台能够定位待测样品,通常配备精密机械手臂和高分辨率的光学显微镜。
2. **多样化探针**:探针台配备多种探针,可以用于不同类型的测试,如直流、交流或测试。
3. **温控能力**:许多探针台具备温度控制功能,可以在极低或极高的温度条件下进行测试,以模拟实际工作环境。
4. **可扩展性**:探针台通常可以与其他测试设备(如示波器、信号发生器)进行连接,实现更复杂的测试方案。
5. **软件控制**:现代探针台配备了计算机控制系统,可以通过软件进行操作,实时收集和分析测试数据。
6. **兼容性**:探针台可以处理多种尺寸和形状的样品,包括晶圆、芯片和其他微电子器件。
7. **环境监控**:一些探针台具有气候控制系统,可以在洁净室或受控环境中进行测试,确保测试结果的可靠性。
这些特点使得探针台在半导体开发、质量控制和研究等领域中扮演着重要角色。
探针座位移平台主要用于电子元器件、半导体器件以及其他微电子设备的测试和研发。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体测试**:对芯片的电气特性进行测试,包括晶圆级测试(Wafer Testing)和封装测试(Package Testing)。
2. **微电子器件研发**:在新产品开发过程中,对微小器件的电气和物理特性进行测量。
3. **实验室研究**:用于高校、研究机构的材料科学、物理学等领域的实验。
4. **通信器件测试**:用于测试通信相关的IC(集成电路)和器件。
5. **自动化生产线**:在自动化测试设备中,实现率的在线测试和监控。
6. **设备测试**:用于一些微小设备的性能测试。
探针座位移平台的设计与制造通常考虑的定位和稳定性,以便能够满足高精度测量的需求。
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