温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
真空探针台(Vacuum Probe Station)是一种用于半导体材料和器件测试的实验设备。它在高真空环境下操作,可以有效降低外部污染和氧化,确保测试结果的准确性。真空探针台通常配备有多组针头探针,用于电气测试、信号传输和表面分析等。
真空探针台的主要应用包括:
1. **半导体器件测试**:用于测试晶体管、二极管、集成电路等器件的电性能。
2. **材料研究**:可用于研究新型半导体材料、纳米材料等的特性。
3. **微纳米技术**:在微米和纳米尺度上进行电学、光学等性能测试。
4. **失效率分析**:通过在真空环境中测试,分析器件的失效率和可靠性。
真空探针台的工作原理是将样品放置在真空环境中,通过探针直接接触样品的电极进行测量。通常配备有精密的定位系统,以保证探针与样品的准确接触。
在使用真空探针台时,操作人员需要对设备进行良好的维护和校准,以确保测试结果的准确性和重复性。
同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件,主要的功能包括:
1. **信号传输**:用于在真空环境中传输或微波信号,确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**:通过密封设计,能够在真空环境下工作,避免外界环境对设备的影响,保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**:设计优化以减少信号在传输过程中的损耗,确保信号的质量。
4. **相位稳定性**:在不同温度和真空条件下,保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**:可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容,适应多种不同的应用场合。
6. **性能**:能在率下正常工作,通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域,能够满足信号在特殊环境下的传输需求。

探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备,常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括:
1. **高精度**:探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制,以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**:许多探针座位移平台设计为多轴系统,能够实现X、Y、Z三个维度的立移动,以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**:平台结构通常经过优化设计,以提供高度的机械稳定性,减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**:现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统,支持自动化操作和数据采集,提高工作效率。
5. **兼容性强**:探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合,提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**:的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令,实现快速定位和测量。
7. **易于操作**:许多平台设有用户友好的界面,使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**:探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数,例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。

探针台(Probe Station)是一种用于测试和分析微电子器件(如集成电路、传感器等)的设备。其主要特点包括:
1. **高精度定位**:探针台能够定位待测样品,通常配备精密机械手臂和高分辨率的光学显微镜。
2. **多样化探针**:探针台配备多种探针,可以用于不同类型的测试,如直流、交流或测试。
3. **温控能力**:许多探针台具备温度控制功能,可以在极低或极高的温度条件下进行测试,以模拟实际工作环境。
4. **可扩展性**:探针台通常可以与其他测试设备(如示波器、信号发生器)进行连接,实现更复杂的测试方案。
5. **软件控制**:现代探针台配备了计算机控制系统,可以通过软件进行操作,实时收集和分析测试数据。
6. **兼容性**:探针台可以处理多种尺寸和形状的样品,包括晶圆、芯片和其他微电子器件。
7. **环境监控**:一些探针台具有气候控制系统,可以在洁净室或受控环境中进行测试,确保测试结果的可靠性。
这些特点使得探针台在半导体开发、质量控制和研究等领域中扮演着重要角色。

真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器,其主要功能包括:
1. **电学测试**:能够对半导体器件进行电性能测试,如IV(电流-电压)特性测试、CV(电容-电压)特性测试等。
2. **高真空环境**:提供高真空或真空环境,减少气体分子对测试结果的干扰,特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**:由于其高精度的定位功能,能够对微小结构进行接触和扫描,适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**:部分真空探针台配备温控系统,可以在低温或高温条件下进行测试,以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**:能够对薄膜、纳米材料等进行表征,分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**:可以与其他仪器(如扫描电子显微镜、原子力显微镜等)联用,进行更深入的材料或器件分析。
总之,真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。
探针台卡盘广泛应用于半导体行业,尤其是在集成电路(IC)测试和微电子设备的研发过程中。其适用范围主要包括以下几个方面:
1. **半导体测试**:用于对晶圆或封装好的芯片进行电气测试,验证其性能和功能。
2. **光电器件测量**:适用于光电传感器、激光器等器件的测试,评估其光电性能。
3. **微机电系统(MEMS)**:在MEMS器件的研发与测试中,探针台卡盘能够帮助实现高精度的电气连接和测试。
4. **材料研究**:用于研究新材料的电学性质,评估其在电子器件中的应用潜力。
5. **教育与研发**:在实验室和高等院校中,用于教学和科研活动,帮助学生和研究人员进行基础实验和技术开发。
探针台卡盘的设计通常强调高精度和可调性,以适应不同尺寸和类型的测试样品,确保测试结果的准确性和重复性。
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