温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
真空探针台是一种用于微电子器件测试和特性分析的设备,广泛应用于半导体研究和研发领域。它的主要功能是将探针对准被测试样品,同时在真空环境下进行的电气测试。
真空探针台的工作原理是通过在高真空状态下,将探针与芯片或其他样品直接接触,以测量其电气特性。在真空环境中,能够减少空气干扰,降低氧化和污染的风险,从而提供更准确和重复的测试结果。
主要用途包括:
1. **半导体器件的特性测试**:如 MOSFET、二极管等。
2. **材料研究**:在材料科学中,对特定材料的电性和热性进行研究。
3. **微纳米技术的研发**:在 MEMS(微电机械系统)和纳米尺度器件的开发和测试中。
真空探针台通常配备高精度的定位系统,以确保探针能够准确地对准待测样品,此外,有些设备还可与其他测试仪器(如示波器、源测量单元等)集成,以实现更复杂的测试需求。
探针台(Probe Station)是一种用于半导体和微电子测试的设备,主要用于在实验室环境中对芯片或材料进行电学性能测试。它的主要功能包括:
1. **电气测试**:探针台配备有探针,可以直接接触到芯片上的电气接点,进行电性能测试,比如电流、电压、阻抗等。
2. **温度控制**:许多探针台具有温度控制功能,可以在高温或低温下进行测试,以评估材料或器件在不同温度下的特性。
3. **真空环境**:某些探针台可以在真空环境下操作,以减少空气对测试结果的影响,尤其是在某些敏感实验中。
4. **图像捕捉与分析**:探针台通常配备有显微镜,可以对芯片进行观察,帮助技术人员准确定位探针和分析测试结果。
5. **自动化测试**:一些探针台能够与计算机系统配合,实现自动化操作和数据采集,提高测试效率和准确性。
6. **多功能扩展**:探针台可以与其他设备(如信号发生器、示波器等)联动,进行更复杂的电气测试和分析。
探针台广泛应用于半导体制造、材料科学、电子工程等领域,是研究和开发新型电子元件的重要工具。

探针座位移平台是一种用于精密测试和测量的设备,常用于半导体、光电子和精密制造等领域。其主要特点包括:
1. **高精度**:探针座位移平台能够在微米甚至纳米级别进行高精度的位置控制,以确保测量的准确性。
2. **多轴运动**:许多探针座位移平台设计为多轴系统,能够实现X、Y、Z三个维度的立移动,以适应复杂的测量需求。
3. **稳定性**:平台结构通常经过优化设计,以提供高度的机械稳定性,减少外部震动对测量结果的影响。
4. **自动化控制**:现代探针座位移平台通常配备计算机控制系统,支持自动化操作和数据采集,提高工作效率。
5. **兼容性强**:探针座可以与多种探针、传感器和测量设备相结合,提供灵活的应用方案。
6. **快速响应**:的驱动系统使得平台能够快速响应控制指令,实现快速定位和测量。
7. **易于操作**:许多平台设有用户友好的界面,使操作人员能够轻松进行设置和调整。
8. **可调节性**:探针座位移平台通常允许用户根据特定需求来调整工作参数,例如探针的接触力、移动速度等。
这些特点使得探针座位移平台在电子元器件测试、材料分析和微型装配等领域得到了广泛应用。

探针台(Probe Station)是一种用于测试和分析微电子器件(如集成电路、传感器等)的设备。其主要特点包括:
1. **高精度定位**:探针台能够定位待测样品,通常配备精密机械手臂和高分辨率的光学显微镜。
2. **多样化探针**:探针台配备多种探针,可以用于不同类型的测试,如直流、交流或测试。
3. **温控能力**:许多探针台具备温度控制功能,可以在极低或极高的温度条件下进行测试,以模拟实际工作环境。
4. **可扩展性**:探针台通常可以与其他测试设备(如示波器、信号发生器)进行连接,实现更复杂的测试方案。
5. **软件控制**:现代探针台配备了计算机控制系统,可以通过软件进行操作,实时收集和分析测试数据。
6. **兼容性**:探针台可以处理多种尺寸和形状的样品,包括晶圆、芯片和其他微电子器件。
7. **环境监控**:一些探针台具有气候控制系统,可以在洁净室或受控环境中进行测试,确保测试结果的可靠性。
这些特点使得探针台在半导体开发、质量控制和研究等领域中扮演着重要角色。

同轴真空馈通件是一种用于电子设备的连接器,主要用于在真空环境中传输信号。其特点包括:
1. **优良的信号传输性能**:同轴结构能够有效地减少信号的损耗和反射,保证信号的质量。
2. **良好的屏蔽性能**:同轴设计可提供较好的电磁干扰屏蔽,防止外部干扰信号影响传输质量。
3. **耐高真空特性**:专门设计用于在真空环境中工作,不易受到气体和水分的影响,适用于真空设备,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能够承受较高的功率水平,适合用于高功率射频应用。
5. **机械稳定性**:结构坚固,能够经受一定的机械应力和温度变化。
6. **便于安装和维护**:设计通常考虑到易于安装和维护,便于与其他设备连接。
7. **多种接口类型**:可根据需要提供不同类型的连接器接口,以适应应用场景。
以上这些特点使得同轴真空馈通件在通信、射频设备及实验物理等领域具有广泛的应用前景。
光学探针台是一种精密测量和表征材料及器件的设备,广泛应用于多个领域。其适用范围主要包括:
1. **半导体行业**:用于测试和表征半导体材料和器件的光学特性,例如光电流、发光特性和光谱响应等。
2. **材料科学**:用于研究材料(如纳米材料、薄膜等)的光学性质,包括反射、折射、吸收和散射等。
3. **生物医学**:用于生物样品的光学成像、荧光检测和细胞分析等,帮助研究细胞行为和生物反应。
4. **光电子学**:用于开发和测试光电子器件(如激光器、光探测器等)的性能,评估它们在不同波长下的响应。
5. **光学学研究**:用于基础光学实验和高精度测量,研究光的传播、干涉、衍射等现象。
6. **照明工程**:用于分析光源的光谱特性和光分布,以优化照明设计。
光学探针台通过其高精度和高稳定性,能够为上述领域的研究和开发提供重要支持。
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